JPH0344045A - ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法 - Google Patents
ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法Info
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- H10W72/555—Materials of bond wires of outermost layers of multilayered bond wires, e.g. material of a coating
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[産業上の利用分野]
本発明は、ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法
に関する。 さらに詳しくは、半導体素子のチップ電極と外部リード
どを接続する導線等どして用いられるボンディング用被
覆線について、金属線の外周面に絶縁被覆膜を被覆する
方法の被覆効率、被覆精度等に係る改良に関する。 [従来の技術] 従来、ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法どし
ては、例えば、いわゆるローフコ−1〜法が知られてい
る。 この従来のローラコート法からなるボンディング用被覆
線の絶縁被覆膜被覆方法は、絶縁樹脂を貯留した樹脂槽
に絶縁樹脂と5触しながら回転するコータ[]−ルを設
備し、供給される金属線に]−タロー5ルで絶縁樹脂を
付着させ、付着した絶縁樹脂をフェルトで金属線に馴染
まU゛または不要fillを吸収除去してから焼イ4(
プ装置で絶縁樹脂を焼イ4けすることにより、金属線の
外周面に絶縁被覆膜を被覆形成するものである。なお、
この日−ラフト法では、通常絶縁樹脂の何名、焼付(〕
工程を多数回繰返すように構成しており、金属(金属線
〉と樹脂(絶縁樹脂)との巽質材を接触させることの付
着性(ヌレ性)の低さを前記繰返しによるいわゆる塗直
しで補っている。。 [発明が解決しにうどづる課題] 110述の従来のローラーJ−1・法からなるポンプイ
ング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法で
に関する。 さらに詳しくは、半導体素子のチップ電極と外部リード
どを接続する導線等どして用いられるボンディング用被
覆線について、金属線の外周面に絶縁被覆膜を被覆する
方法の被覆効率、被覆精度等に係る改良に関する。 [従来の技術] 従来、ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法どし
ては、例えば、いわゆるローフコ−1〜法が知られてい
る。 この従来のローラコート法からなるボンディング用被覆
線の絶縁被覆膜被覆方法は、絶縁樹脂を貯留した樹脂槽
に絶縁樹脂と5触しながら回転するコータ[]−ルを設
備し、供給される金属線に]−タロー5ルで絶縁樹脂を
付着させ、付着した絶縁樹脂をフェルトで金属線に馴染
まU゛または不要fillを吸収除去してから焼イ4(
プ装置で絶縁樹脂を焼イ4けすることにより、金属線の
外周面に絶縁被覆膜を被覆形成するものである。なお、
この日−ラフト法では、通常絶縁樹脂の何名、焼付(〕
工程を多数回繰返すように構成しており、金属(金属線
〉と樹脂(絶縁樹脂)との巽質材を接触させることの付
着性(ヌレ性)の低さを前記繰返しによるいわゆる塗直
しで補っている。。 [発明が解決しにうどづる課題] 110述の従来のローラーJ−1・法からなるポンプイ
ング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法で
【よ、(d ’f
’; 。 焼イ【」(〕工程を多数回繰返づ−ことから、被覆工作
に1、?間がtiトリ、また多む1の絶縁樹脂がフェル
l〜で吸収除去等されて絶縁樹脂の歩留りが悪くなるた
め、製品コストが嵩むという問題点を右している。 さらに、金属線への絶縁樹脂のイた1着性の不良は絶縁
被鞄膜の膜厚の不均等をもたらづが、イ4着。 焼(=J 4)工程を多数回繰返り手段を講じても、こ
の膜厚の不均等を2°、T修正づることはでさてし完全
に修正し均等化することはできないため、製品仕上りが
不良になるという問題点を右している。 本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、くの目的は、製品]ス1〜が安価で製品性−
[りが良好なボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方
法を提供づることにある。 [課題を解決するための手段] 前述の目的を達成するため、本発明に係るボンディング
用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法は、金属線の外周面に粘
度の低い絶縁樹脂を44着焼付(プして絶縁被覆膜を被
覆した後、ざらに同−利質で粘度の高い絶縁樹脂を前記
絶縁被覆膜の−1−からイ・j着焼イ・」りして絶縁液
Fil 116!の膜厚を増加づることを1J1徴どす
る手段を採用づ−る。 [f+用1 前述の手段に上るど、金属線への絶縁樹脂のイ・1♀1
につい−(粘度のイ1(い絶縁樹脂を使用して何7r+
+を高めていることから、金属線への絶縁樹脂の(=J
♀1性が良!Ifになり絶縁被覆膜の膜厚が均等化され
るため、製品仕上りが良好なボンディング用被覆線の絶
縁被覆膜被覆方法を提供づるという1]的が)!成され
る。 また、この膜厚の均等化(よ脱P)+Wil−のための
イ4肴、焼イ・1()工程の繰返しが不要になりJ[た
【よ削減されることに加えて、続いて粘度の高い絶縁樹
脂を使用しく’j”Ij Ir’>を多くしてイ4着さ
せ膜19を急速に増加づることから、被覆T作に11)
間が掛らず絶縁樹脂のル留りも良好どなるため、製品コ
ス1−の安価なボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆
方法を提供づるという目的が達成される。。 [実施例] 以下、本発明に係るボンディング用被覆線の絶縁被覆膜
被覆方法の実施例を図面に11−いて説明づる1゜ この実施例では、尖施づるための装置R構成について、
第1図に示刀ような従来の「」−ラニ]−1〜法の装置
構成を阜本にしている。 この装置構成は、金属線1からなる原材線Aのイノ(給
側ど、金DjX線1の外周面に絶縁被覆膜2が被覆され
た製品線Cの回収側どの間に連続的工作ラインを装備1
したちのである。 このjル続的]−作ラインは、原材線Aから製品線Cへ
連続して至る途中の半製品線Bを循環さ吐半製品線口に
同−T作を数回繰返りための′#数個の[]−ラ3ど、
絶縁樹脂4を貯留した樹脂槽5と、樹脂槽5に設備され
樹脂+1’l 5に貯留され−Cいる絶縁樹脂4と5触
しながら回転でるコータロール6ど、金属粉1にイ」着
した絶縁樹脂ぺを金属線1に馴染まセまたは不要星を吸
収除去づるフェルト7ど、金属線1に何着した絶縁樹脂
4を焼ト1ける焼f41J 駅ii”i 8どを係″I
えている。、即ら、金属線1からなる原材線Aは]−タ
「】−ル6によって樹11fi if’! 5に貯留さ
゛れ−ている絶縁樹脂用を金属線1に(t =iGεS
れ、付着された絶縁樹脂用を)■ル1〜7で金属線1に
馴染ませ−また(よ不及(1)を吸収除去してから、焼
何(プ装fiI’? 8で焼(=J’ T:lされて金
属線1の外周面に−・1膜〃の絶縁被覆膜2が被覆形成
されIこ」で製品線Bどなり、半製品線Bは同様の二1
作が数回繰返されて金属線1の外周面に所定+1!J3
J’Pの絶縁被覆nz)2が被覆形成された製品線C
となる。 なd3、前記金属線1は、金(Au> 、 m (Ap
)、白金(pt)等の素拐で直径15μ〜50μ程度の
線径のちのが使用される。また、絶縁樹脂4は、ホルマ
ール、ポリウレタン、ポリニスデル等の絶縁1’1高分
子塗股液等が使用される。さらに、原材線A等のT作線
速度は、10m/分へ・100m/分程度で行なねれる
。 ざらに、この装置構成では、前記樹脂槽5を什切板51
に1、つ(ド両しく、最初の原材線への金属線1のみに
イj@させる絶縁樹脂41を貯留づる第1層52と、次
からの半製品線Bに付着させる絶縁樹脂42を貯留する
第244’i53とを備えている。そして、第1槽52
に貯留される絶縁樹脂41は粘度が低い(3cp〜5c
p程度)ものとし、第2檜に貯留される絶縁樹脂42は
第1槽52に貯留される絶縁樹脂41ど向質で粘度が高
い(6CI)−・20cp程度)ものとしである。 このにうな実施例によると、金属線1からなる原材線へ
は、まず、樹脂Wi 5の第1槽52に貯留されている
粘度の低い絶縁樹脂41が付着されることになるが、R
i T’lの但い絶縁樹脂41 G、L W面張力が小
さいため多量に金属線1に付着することはできないが異
質材である金属線1へのイ4省性ば極めて良好であり、
被覆形成された絶縁被覆膜2の膜厚く005μm、0.
30μ)が余り厚くはないが均等な半製品線Bが得られ
ることになる。この絶縁被覆B’)2の膜19が均等な
¥製品線[31よ、続いて、樹脂(I115の第2槽5
3に貯留されている粘度の高い絶縁樹脂42が付着され
ることになるが、粘度の高い絶縁樹脂42は表面張力が
大きいため多量に金属線1に付@することかできしかも
同質材である絶R樹脂41によって被覆形成された絶縁
被覆膜2への(=J着性も極めて良好であり、これを数
回繰返すことによって、被覆形成された絶縁被覆If!
、12の膜厚(0,05μ〜1.50μ)が均等で大巾
に膜圧が増加した製品線Cが得られることになる。 従って、製品線Cの線径が均等になり製品仕上りが良好
となる。また、金属線1からなる原材線Aが絶縁被覆膜
2の膜厚が均等な半製品線Bどなることから、膜厚不均
等修正のために絶縁樹脂4の(4着、焼イ1(〕工程を
多数同繰返す必要Gま全くないか数回でたりることにな
り、被覆工作の時間が短縮されると共に、フェルト7で
の絶縁樹脂4の消耗が低減され歩留りが良好どなる。ざ
らに、絶縁被覆膜2のIIA厚を決定り゛ることになる
半製品線Bへの絶縁樹脂42のfするぐ(よ、−・同で
・多h)の絶縁樹脂42を(=J着することができる)
こめ被覆T作の時間の短縮に寄与することがCぎると共
に、粘度の異なる2種の絶縁樹脂4を使用するため第1
槽52の絶縁樹脂41に対する第2槽53の絶縁樹脂4
2の粘度の相夕4的調整が可能どなり、絶縁被覆膜2の
膜厚調整を容易に行なうことができる。 以上、図示した実施例の外に、ローラコート法以外の装
U 4M成により突軸することも可能である。 [発明の効果1 以上のように本発明に係るボンディング用被覆線の絶縁
被覆膜被覆方法は、粘度の低い絶縁樹脂を使用して金属
線への付着性を高めていることから、金属線への絶縁樹
脂の付着性が良好になり絶縁被覆膜の膜厚が均等化され
るため、製品仕上りが良好と/する効果がある。 さらに、絶縁被覆膜の膜厚の均等化によりJ&!厚修正
のための付肴、焼伺は工程の繰返しが不要等になること
に加えて、続いて粘度の高い絶縁樹脂で付着量を多く
L T (KJ着させ膜厚を急速に増加りることがら、
被覆工作に時間が掛らず絶縁樹脂の歩留りも良好どなる
ため、@A品ココスト安価どなる効果がある。 さらに、粘度の異なる2種の絶縁樹脂を使用するため、
両名の粘度の相対的調整が可能となり、絶縁液v1膜の
膜厚調整を容易に行なうことができ・る効果がある。
’; 。 焼イ【」(〕工程を多数回繰返づ−ことから、被覆工作
に1、?間がtiトリ、また多む1の絶縁樹脂がフェル
l〜で吸収除去等されて絶縁樹脂の歩留りが悪くなるた
め、製品コストが嵩むという問題点を右している。 さらに、金属線への絶縁樹脂のイた1着性の不良は絶縁
被鞄膜の膜厚の不均等をもたらづが、イ4着。 焼(=J 4)工程を多数回繰返り手段を講じても、こ
の膜厚の不均等を2°、T修正づることはでさてし完全
に修正し均等化することはできないため、製品仕上りが
不良になるという問題点を右している。 本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、くの目的は、製品]ス1〜が安価で製品性−
[りが良好なボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方
法を提供づることにある。 [課題を解決するための手段] 前述の目的を達成するため、本発明に係るボンディング
用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法は、金属線の外周面に粘
度の低い絶縁樹脂を44着焼付(プして絶縁被覆膜を被
覆した後、ざらに同−利質で粘度の高い絶縁樹脂を前記
絶縁被覆膜の−1−からイ・j着焼イ・」りして絶縁液
Fil 116!の膜厚を増加づることを1J1徴どす
る手段を採用づ−る。 [f+用1 前述の手段に上るど、金属線への絶縁樹脂のイ・1♀1
につい−(粘度のイ1(い絶縁樹脂を使用して何7r+
+を高めていることから、金属線への絶縁樹脂の(=J
♀1性が良!Ifになり絶縁被覆膜の膜厚が均等化され
るため、製品仕上りが良好なボンディング用被覆線の絶
縁被覆膜被覆方法を提供づるという1]的が)!成され
る。 また、この膜厚の均等化(よ脱P)+Wil−のための
イ4肴、焼イ・1()工程の繰返しが不要になりJ[た
【よ削減されることに加えて、続いて粘度の高い絶縁樹
脂を使用しく’j”Ij Ir’>を多くしてイ4着さ
せ膜19を急速に増加づることから、被覆T作に11)
間が掛らず絶縁樹脂のル留りも良好どなるため、製品コ
ス1−の安価なボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆
方法を提供づるという目的が達成される。。 [実施例] 以下、本発明に係るボンディング用被覆線の絶縁被覆膜
被覆方法の実施例を図面に11−いて説明づる1゜ この実施例では、尖施づるための装置R構成について、
第1図に示刀ような従来の「」−ラニ]−1〜法の装置
構成を阜本にしている。 この装置構成は、金属線1からなる原材線Aのイノ(給
側ど、金DjX線1の外周面に絶縁被覆膜2が被覆され
た製品線Cの回収側どの間に連続的工作ラインを装備1
したちのである。 このjル続的]−作ラインは、原材線Aから製品線Cへ
連続して至る途中の半製品線Bを循環さ吐半製品線口に
同−T作を数回繰返りための′#数個の[]−ラ3ど、
絶縁樹脂4を貯留した樹脂槽5と、樹脂槽5に設備され
樹脂+1’l 5に貯留され−Cいる絶縁樹脂4と5触
しながら回転でるコータロール6ど、金属粉1にイ」着
した絶縁樹脂ぺを金属線1に馴染まセまたは不要星を吸
収除去づるフェルト7ど、金属線1に何着した絶縁樹脂
4を焼ト1ける焼f41J 駅ii”i 8どを係″I
えている。、即ら、金属線1からなる原材線Aは]−タ
「】−ル6によって樹11fi if’! 5に貯留さ
゛れ−ている絶縁樹脂用を金属線1に(t =iGεS
れ、付着された絶縁樹脂用を)■ル1〜7で金属線1に
馴染ませ−また(よ不及(1)を吸収除去してから、焼
何(プ装fiI’? 8で焼(=J’ T:lされて金
属線1の外周面に−・1膜〃の絶縁被覆膜2が被覆形成
されIこ」で製品線Bどなり、半製品線Bは同様の二1
作が数回繰返されて金属線1の外周面に所定+1!J3
J’Pの絶縁被覆nz)2が被覆形成された製品線C
となる。 なd3、前記金属線1は、金(Au> 、 m (Ap
)、白金(pt)等の素拐で直径15μ〜50μ程度の
線径のちのが使用される。また、絶縁樹脂4は、ホルマ
ール、ポリウレタン、ポリニスデル等の絶縁1’1高分
子塗股液等が使用される。さらに、原材線A等のT作線
速度は、10m/分へ・100m/分程度で行なねれる
。 ざらに、この装置構成では、前記樹脂槽5を什切板51
に1、つ(ド両しく、最初の原材線への金属線1のみに
イj@させる絶縁樹脂41を貯留づる第1層52と、次
からの半製品線Bに付着させる絶縁樹脂42を貯留する
第244’i53とを備えている。そして、第1槽52
に貯留される絶縁樹脂41は粘度が低い(3cp〜5c
p程度)ものとし、第2檜に貯留される絶縁樹脂42は
第1槽52に貯留される絶縁樹脂41ど向質で粘度が高
い(6CI)−・20cp程度)ものとしである。 このにうな実施例によると、金属線1からなる原材線へ
は、まず、樹脂Wi 5の第1槽52に貯留されている
粘度の低い絶縁樹脂41が付着されることになるが、R
i T’lの但い絶縁樹脂41 G、L W面張力が小
さいため多量に金属線1に付着することはできないが異
質材である金属線1へのイ4省性ば極めて良好であり、
被覆形成された絶縁被覆膜2の膜厚く005μm、0.
30μ)が余り厚くはないが均等な半製品線Bが得られ
ることになる。この絶縁被覆B’)2の膜19が均等な
¥製品線[31よ、続いて、樹脂(I115の第2槽5
3に貯留されている粘度の高い絶縁樹脂42が付着され
ることになるが、粘度の高い絶縁樹脂42は表面張力が
大きいため多量に金属線1に付@することかできしかも
同質材である絶R樹脂41によって被覆形成された絶縁
被覆膜2への(=J着性も極めて良好であり、これを数
回繰返すことによって、被覆形成された絶縁被覆If!
、12の膜厚(0,05μ〜1.50μ)が均等で大巾
に膜圧が増加した製品線Cが得られることになる。 従って、製品線Cの線径が均等になり製品仕上りが良好
となる。また、金属線1からなる原材線Aが絶縁被覆膜
2の膜厚が均等な半製品線Bどなることから、膜厚不均
等修正のために絶縁樹脂4の(4着、焼イ1(〕工程を
多数同繰返す必要Gま全くないか数回でたりることにな
り、被覆工作の時間が短縮されると共に、フェルト7で
の絶縁樹脂4の消耗が低減され歩留りが良好どなる。ざ
らに、絶縁被覆膜2のIIA厚を決定り゛ることになる
半製品線Bへの絶縁樹脂42のfするぐ(よ、−・同で
・多h)の絶縁樹脂42を(=J着することができる)
こめ被覆T作の時間の短縮に寄与することがCぎると共
に、粘度の異なる2種の絶縁樹脂4を使用するため第1
槽52の絶縁樹脂41に対する第2槽53の絶縁樹脂4
2の粘度の相夕4的調整が可能どなり、絶縁被覆膜2の
膜厚調整を容易に行なうことができる。 以上、図示した実施例の外に、ローラコート法以外の装
U 4M成により突軸することも可能である。 [発明の効果1 以上のように本発明に係るボンディング用被覆線の絶縁
被覆膜被覆方法は、粘度の低い絶縁樹脂を使用して金属
線への付着性を高めていることから、金属線への絶縁樹
脂の付着性が良好になり絶縁被覆膜の膜厚が均等化され
るため、製品仕上りが良好と/する効果がある。 さらに、絶縁被覆膜の膜厚の均等化によりJ&!厚修正
のための付肴、焼伺は工程の繰返しが不要等になること
に加えて、続いて粘度の高い絶縁樹脂で付着量を多く
L T (KJ着させ膜厚を急速に増加りることがら、
被覆工作に時間が掛らず絶縁樹脂の歩留りも良好どなる
ため、@A品ココスト安価どなる効果がある。 さらに、粘度の異なる2種の絶縁樹脂を使用するため、
両名の粘度の相対的調整が可能となり、絶縁液v1膜の
膜厚調整を容易に行なうことができ・る効果がある。
第1図は本発明に係るボン)″イング用被覆線の絶縁被
覆膜被覆方法の実施例を尖施づるためのX置例を示ず斜
挟図、第2図は第1図の要部の拡大平面図、第3図は第
2図の横断面図て゛ある。 1・・・金属線 2・・・絶縁被覆膜4・・・
絶縁樹脂 41・・・精度の似い絶縁樹脂42・
・・粘度の高い絶縁樹脂 特 1 出 鞍 人 田中電了]業株式会君 代 理 人 〒 」 政 名 10
覆膜被覆方法の実施例を尖施づるためのX置例を示ず斜
挟図、第2図は第1図の要部の拡大平面図、第3図は第
2図の横断面図て゛ある。 1・・・金属線 2・・・絶縁被覆膜4・・・
絶縁樹脂 41・・・精度の似い絶縁樹脂42・
・・粘度の高い絶縁樹脂 特 1 出 鞍 人 田中電了]業株式会君 代 理 人 〒 」 政 名 10
Claims (1)
- 金属線の外周面に粘度の低い絶縁樹脂を付着焼付けして
絶縁被覆膜を被覆した後、さらに同一材質で粘度の高い
絶縁樹脂を前記絶縁被覆膜の上から付着焼付けして絶縁
被覆膜の膜厚を増加することを特徴とするボンディング
用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180030A JP2703630B2 (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180030A JP2703630B2 (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344045A true JPH0344045A (ja) | 1991-02-25 |
| JP2703630B2 JP2703630B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=16076246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1180030A Expired - Lifetime JP2703630B2 (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | ボンディング用被覆線の絶縁被覆膜被覆方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2703630B2 (ja) |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP1180030A patent/JP2703630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2703630B2 (ja) | 1998-01-26 |
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