JPH034422B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特にクリーン室において荷を搬送す
るのに採用される荷搬送設備に関するものであ
る。

従来例の構成とその問題点 最近では、被搬送物として例えばウエハーなど
のようにゴミやホコリをきらうものがある。この
場合に、荷搬送設備を配設する工場（室）内をク
リーン化している。従来の荷搬送設備は、第１１
図、第１２図に示すように、レール装置７０に案
内されて一定経路７１上を走行自在な自走車７２
と、この自走車７２の上部に連結部７３を介して
取付けた荷支持部７４と、前記連結部７３が通る
スリツト７５を有し且つ前記一定経路７１を囲ん
で配設したダクト７６とからなる構成が提供され
ている。そしてダクト７６内で発生した粉塵がス
リツト７５を通つてクリーン室７７内に漏出する
のを防止するために、このスリツト７５に左右か
らの弾性シール材（ゴム板など）７８を設けてい
る。この従来構成によると、自走車７２が走行し
ていない場所においては両弾性シール材７８がそ
の先端どうしを相対接させてスリツト７５を閉塞
を行なうのであり、また走行する自走車７２は連
結部７３が両弾性シール材７８を上方に弾性変形
させながら進行することになる。その際に、連結
部７３に対して弾性シール材７８が強く圧接し且
つ相対的に摺接することから、両弾性シール材７
８に摩損が生じ、粉塵を発生させてクリーン室７
７を汚すことになる。また荷支持部７４側が大荷
重用のときには連結部７３の巾を大にしなければ
ならず、大になればなるほど弾性シール材７８の
弾性変形が大きくなつて粉塵発生が増加し、さら
に大きな摺接抵抗によつて所期の走行が円滑に行
なわれなくなる。

発明の目的 本発明の目的とするところは、スリツトの閉塞
を自動的に行なえるものでありながら、自走車の
走行による連結部の摺接は、この連結部の巾の大
小に関係なく小さな摺接抵抗下で行なえる荷搬送
設備を提供する点にある。

発明の構成と作用 上記目的を達成するために本発明における荷搬
送設備は、一定経路上を走行自在な自走車と、こ
の自走車の上部に連結部を介して取付けた荷支持
部と、前記連結部が通るスリツトを有し且つ前記
一定経路を囲んで配設したダクトとを有し、前記
スリツト部に、スリツトを開閉自在で且つ閉動付
勢されたスリツトカバーを横方向移動自在に設
け、このスリツトカバーに、移動してきた連結部
が接当自在なカム面を形成している。

かかる構成によると、通常、スリツトは閉動付
勢されたスリツトカバーによつて閉塞されてお
り、そして自走車が走行してくると、その連結部
がカム面に接当してスリツトカバーを外側に移動
させることになる。

実施例 以下に本発明の一実施例を第１図〜第５図に基
づいて説明する。１はダクト式レール装置で、上
向きの走行案内面２を形成する底板１Ａと、下部
内面に夫々横ずれ防止の規制案内面３Ａ，３Ｂを
形成する左右一対の側板１Ｂ，１Ｃと、中央部に
全長に亘るスリツト４を形成してなる左右一対の
天板１Ｄ，１Ｅと、中間部に夫々下向きの浮上り
防止面５Ａ，５Ｂを形成すべく前記側板１Ｂ，１
Ｃの上下方向中間部から内方に突出させた突出板
１Ｆ，１Ｇとからなり、前記天板１Ｄ，１Ｆはビ
ス６を介しての着脱形成としているが、これは一
体物であつてもよい。一方の側板１Ｂの内面で突
出板１Ｆの上方位置には、レール長さ方向に適当
間隔置きに絶縁体７が取付けられ、これら絶縁体
７間に、上下一対の給電レール８Ａ，８Ｂと、こ
れらよりも下位となる一本の信号レール９とが、
その作用面を内方かつ横向きとして配設してあ
る。第２図右半分に示すように、前記底板１Ａに
は多数の吸引孔１０が形成され、これら吸引孔１
０に対向するように底板１Ａの底面側には吸引ダ
クト１１が配設される。１２はカバーを示す。前
記底板１Ａの下方には、第２図左半分に示すよう
に配線空間１３を形成してもよい。この場合に吸
引は、仮想線に示すように側板１Ｃに連通する吸
引管１４を配設することにより可能となる。前記
底板１Ａの両側には下方開放の蟻溝１５が形成さ
れ、これら蟻溝１５に係合する係合部１６を有す
る複数の支持具１７によつて、ダクト式レール装
置１はクリーンルーム１８内で例えば水平に支持
架設される。１９は前記ダクト式レール装置１に
支持案内されて一定経路２０上を走行自在な自走
車で、長尺板状の機枠２１の前後端には夫々縦軸
２２，２３が取付けてある。そして両縦軸２２，
２３には、平面視がＨ字状の支持板２４，２５が
縦軸心２２ａ，２３ａの周りに遊動自在に取付け
られる。両支持板２４，２５の両側には、前記規
制案内面３Ａ，３Ｂに接当自在な左右一対の規制
車輪２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂを夫々前後
一対有し、これら規制車輪２６Ａ，２６Ｂ，２７
Ａ，２７Ｂは縦車軸を介して遊転自在となる。前
後の規制車輪間において、前記支持板２４，２５
の両側には前記走行案内面２に接当自在な走行車
輪２８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２９Ｂが取付けら
れ、これら走行車輪２８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２
９Ｂは横車軸を介して遊転自在となる。なお走行
車輪２８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２９Ｂは浮上り防
止面５Ａ，５Ｂの下方に位置する。前方の縦軸２
２の上端には揺動板３０の前端が取付けられ、こ
の揺動板３０は縦軸心２２ａの周りに左右揺動自
在となる。他方の側板１Ｃにおいて、突出板１Ｇ
よりも上方の内面は横向きの摩擦面３１に形成さ
れ、この摩擦面３１に接当自在な摩擦駆動輪３２
が揺動板３０の後端に取付けられる。摩擦駆動輪
３２は縦方向の駆動軸３３に取付けられて軸心３
３ａの周りに回転自在であり、また機枠２０と揺
動板３０との間に設けたばね３４により摩擦面３
１に接当すべく付勢されている。前記揺動板３０
には直流モータ３５が取付けられ、この直流モー
タ３５の出力軸は、ベルト伝動機構３６とハイポ
イドギヤ装置３７とを介して前記駆動軸３３に連
動している。前記機枠２０からは、前記スリツト
４を通る連結部３８が連設され、この連結部３８
の上端に荷支持部３９が設けられる。この荷支持
部３９は、荷載置形式や荷収納形式などであり、
また内部にマイクロコンピユータなどの制御ユニ
ツトを収納してもよい。両支持板２４，２５上に
は、一方の側板１Ｂに対向する連絶ケース４０，
４１が取付けてある。前方の絶縁ケース４０には
側部開放の凹部４２が上下三箇所形成され、また
後方の絶縁ケース４１には同様の凹部４２が上下
二箇所形成される。前方の絶縁ケース４０におい
ては、上段と中段の凹部４２内に両給電レール８
Ａ，８Ｂに接触自在な集電用ローラブラシ４３
Ａ，４３Ｂが配設され、下段の凹部４２内には信
号レール９に接触自在な信号授受用ローラブラシ
４４が配設される。また後方の絶縁ケース４１の
凹部４２内には、両給電レール８Ａ，８Ｂに接触
自在な集電用ローラブラシ４５Ａ，４５Ｂが配設
される。各ローラブラシ４３Ａ，４３Ｂ，４４，
４５Ａ，４５Ｂは、そのブラシ軸４６が縦方向で
軸受４７に支持され、少量の露出外面が対応する
レール８Ａ，８Ｂ，９上で接触転動自在となる。
両絶縁ケース４０，４１でブラシ軸４６の下方に
は粉塵受け部４８が形成されている。この粉塵受
け部４８において、前記ブラシ軸４６の下端外周
に、ばね４９を介してカーボンブラシ５０が接触
している。

前記スリツト４の部分には、このスリツト４を
開閉自在で且つ閉動付勢された左右一対のスリツ
トカバー５２，５３が横方向移動自在に設けられ
る。すなわち一定経路２０方向の所定間隔置きの
位置において、前記天板１Ｄ，１Ｅの下面にブロ
ツク５４Ａ，５４Ｂが固定具５５Ａ，５５Ｂを介
して取付けられ、これらブロツク５４Ａ，５４Ｂ
で支持した一定経路２０方向のピン５６Ａ，５６
Ｂ間に前記スリツトカバー５２，５３が左右揺動
自在に取付けられる。したがつてスリツトカバー
５２，５３は一定経路２０の方向に多数分割され
て配設されることになる。両スリツトカバー５
２，５３は、内方への揺動によつて先端５２ａ，
５３ａどうしが接当自在であり、偏心位置をウエ
イト部５２ｂ，５３ｂに形成することによつて自
動的に閉動（接当）付勢される。さらに両スリツ
トカバー５２，５３の一定経路２０方向における
両端部には、移動してきた連結部３８が接当自在
なカム面５２ｃ，５３ｃが形成されている。

次に走行作業を説明する。直流モータ３５の駆
動により、ばね３４の弾性力によつて摩擦面３１
に圧接されている摩擦駆動輪３２を回転させるこ
とにより、自走車１９の一定経路２０上での走行
が可能となる。その際に、走行案内面２に対する
走行車輪２８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２９Ｂの転動
と、規制案内面３Ａ，３Ｂに対する規制車輪２６
Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂの転動と、浮上り防
止面５Ａ，５Ｂによる浮上り防止とにより、一定
経路２０上での走行は振れやガタ付き等ない状態
で安定して行なわれる。このような走行中におい
て、各車輪２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂ，２
８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２９Ｂや摩擦駆動輪３２
の転動などにより粉塵が発生するが、この粉塵は
吸引孔１０を通して吸引ダクト１１や吸引管１４
内に吸引されることになり、またスリツト４にも
内方への吸引力が作用する。さらに給電や信号授
受は、各レール８Ａ，８Ｂ，９に対するローラブ
ラシ４３Ａ，４３Ｂ，４４，４５Ａ，４５Ｂの転
動により行なうことから、従来の摺接に比べて摩
損による粉塵の発生は極減する。さらに接触転動
位置は車輪案内部より上位で且つ横向きであるこ
とから、該接触転動位置で発生した少量の粉塵は
速やかに落下し、また走行案内部側で発生した大
きなゴミなどが各レール８Ａ，８Ｂ，９に悪影響
を及ぼすことがなく、以つて給電や信号授受は常
に円滑に行なわれる。このようにローラブラシ４
３Ａ，４３Ｂ，４４，４５Ａ，４５Ｂを使うこと
によつて、軸受４７やカーボンブラシ５０など回
転支持機構部で粉塵が発生するが、ここでローラ
ブラシ４３Ａ，４３Ｂ，４４，４５Ａ，４５Ｂは
接触のために一部を露出させているだけで、回転
支持機構部の全てを含む殆んどを絶縁ケース４
０，４１内に収納していることから、発生した粉
塵はダクト式レール装置１内に漏出せず、さらに
粉塵受け部４８に受け貯められる。

前述したような一定経路２０上での走行中にお
いて、自走車１９が走行していない箇所では第２
図仮想線、第４図に示すように両スリツトカバー
５２，５３はウエイト付勢によつて自動的に閉動
しており、先端５２ａ，５３ａを相接当させてい
る。したがつて非走行部においてはスリツト４の
大部分が閉塞され、ダクト式レール装置１内で発
生した粉塵がクリーンルーム１８内に出ることを
防止し得る。また自走車１９が走行している箇所
では、先ず第４図仮想線イの箇所にある連結部３
８が移動してロで示すようにカム面５２ｃ，５３
ｃに接当し、そしてカム作用によつて両スリツト
カバー５２，５３がウエイト付勢に抗して下方揺
動してハの位置に移動し、第２図実線に示すよう
に連結部３８は両側面に先端５２ａ，５３ａを接
触させた状態で移動することになる。

上記実施例によると、スリツトカバー５２，５
３が下方揺動することから、何らかの事情でスリ
ツトカバー５２，５３上にたまつていた大きめの
ゴミをダクト式レール装置１内に自動的に落下さ
せることができる。

第６図、第７図は本発明の別の実施例を示す。
すなわちスリツトカバー５２，５３を平行四連リ
ンク機構５７Ａ，５７Ｂを介してブロツク５４
Ａ，５４Ｂに横方向移動自在に取付けた構成で、
平行四連リンク機構５７Ａ，５７Ｂの配置による
偏荷重によつて自動的に閉動付勢される。

なお上述した両実施例において、スリツトカバ
ー５２，５３の閉動はばねなどを介して付勢して
もよい。

第８図〜第１０図はカーブ経路部でのさらに別
の実施例を示す。すなわちカーブ状のスリツト４
に応じたカーブ状スリツトカバー５８を配設する
と共に、一端側を縦ピン５９により取付けて左右
揺動自在とし、そしてストツパ６０に接当するよ
うにばね６１にて閉動付勢している。このカーブ
状スリツトカバー５８は、連結部３８がカム面５
８ａ，５８ａに作用することによつて、ばね６１
に抗して開動（横方向移動）される。

発明の効果 上記構成の本発明における荷搬送設備による
と、通常、スリツトは閉動付勢されたスリツトカ
バーによつて閉塞することができ、このスリツト
部の面積を小さくして粉塵のクリーンルーム内へ
の漏出を少なくできると共に、ダクト内からの排
気容量を減少して設備全体のコストを低減するこ
とができる。そして自走車が走行してくると、そ
の連結部がカム面に接当してスリツトカバーの外
側に移動させることができ、その際に横方向移動
であることからスリツトカバーの先端に対する連
結部の摺接は、連結部巾の大小に関係なく小さな
摺接抵抗下で円滑に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の一実施例を示し、第
１図は縦断側面図、第２図は縦断正面図、第３図
は横断平面図、第４図は要部の平面図、第５図は
同側面図、第６図、第７図は本発明の別の実施例
を示し、第６図は要部の縦断正面図、第７図は同
平面図、第８図〜第１０図はさらに別の実施例を
示し、第８図は要部の平面図、第９図は同側面
図、第１０図は同縦断正面図、第１１図、第１２
図は従来例を示し、第１１図は縦断側面図、第１
２図は縦断正面図である。 １……ダクト式レール装置、２……走行案内
面、３Ａ，３Ｂ……規制案内面、４……スリツ
ト、５Ａ，５Ｂ……浮上り防止面、１９……自走
車、２０……一定経路、２６Ａ，２６Ｂ，２７
Ａ，２７Ｂ……規制車輪、２８Ａ，２８Ｂ，２９
Ａ，２９Ｂ……走行車輪、５２，５３……スリツ
トカバー、５２ａ，５３ａ……先端、５２ｂ，５
３ｂ……ウエイト部、５２ｃ，５３ｃ……カム
面、５４Ａ，５４Ｂ……ブロツク、５６Ａ，５６
Ｂ……ピン、５７Ａ，５７Ｂ……四連リンク機
構、５８……カーブ状スリツトカバー、５８ａ…
…カム面、５９……縦ピン、６１……ばね。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 一定経路上を走行自在な自走車と、この自走
   車の上部に連結部を介して取付けた荷支持部と、
   前記連結部が通るスリツトを有し且つ前記一定経
   路を囲んで配設したダクトを有し、前記スリツト
   部に、スリツトを開閉自在で且つ閉動付勢された
   スリツトカバーを横方向移動自在に設け、このス
   リツトカバーに、移動してきた連結部が接当自在
   なカム面を形成したことを特徴とする荷搬送設
   備。