JPH0344579A - Ｉｃハンドラのデバイス供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、ＩＣパンドラにおけるテスト部に向けてＩＣ
デバイスを自重滑降により順次１個ずつ供給するＩＣハ
ンドラのデバイス供給装置に関するものである。

【従来の技術】

ＩＣハンドラは、ＩＣデバイスをテスト部におけるテス
トヘッドに装着させて、このＩＣデバイスの高温または
低温環境下における動作試験・測定を行い、この試験結
果に基づいて品質毎に分類して再収納するために用いら
れるものであって。 このＩＣハンドラにはデバイス供給ａ構と、このデバイ
ス供給機構から供給されるＩＣデバイスを１個ずつ分離
してテスト部に搬送するローダ側搬送機構と、試験済み
のＩＣデバイスをアンローダ部に送り込むアンローダ側
搬送機構とから構成される。 ここで、ＩＣデバイスはマガジン内に多数収納させてお
き、このマガジンを傾斜させることによって、その内部
からＩＣデバイスを自重滑降させて、順次１個ずつ分離
してローダ側搬送機構に送り込むようにしている。この
ために、デバイス供給部にはマガジンストッカを設けて
、このマガジンストッカに多数のマガジンを積み重ね状
態にして収容させるようにしている。しかも、マガジン
をロードする頻度を少なくするために、マガジンストッ
カにはマガジンを複数列積み重ねるように収容する構成
としたものか用いられる。 而して、マガジンストッカにマガジンを複数列収容する
場合においては、従来は、前進、下降。 後退、上昇の各動作からなる矩形運動を行うマガジン搬
送手段を用いるようにしていた。そして、まずマガジン
ストッカの下端部から各列のマガジンをそれぞれ１本ず
つ分離してこのマガジン搬送手段上に移行させて、該マ
ガジン搬送手段を矩形運動させることによって、マガジ
ンストッカから離れた位置において、このマガジン搬送
手段から１本のマガジンのみを他から分離してマガジン
傾動手段に送り込むようになし、該マガジン傾動手段に
よりこのマガジンをクランプさせると共に、その基端部
な持ち上げるように傾斜させることによって、このマガ
ジン内のＩＣデバイスを自重滑降させることにより順次
１個ずつ取り出して、ローダ側搬送路に送り込むように
したものが従来から用いられている。 ［発明か解決しようとする課題］ ところで、前述した従来技術の装置にあっては、マガジ
ン収容部から取り出した複数本のマガジンを１本ずつ分
離するためにマガジン搬送手段を矩形運動という複雑な
動作を行わせるようにしており、このために、マガジン
の供給機構におけるマガジン搬送手段の駆動機構の構成
か複雑となる。また、マガジンからのＩＣデバイスの排
出が完了した後には、マガジン傾動手段を水平状態に戻
して、クランプ状態を解除して空マガジンを排出し、然
る後に新たなマガジンを位置決めしてこのマガジン傾動
手段に装架し、それを傾斜状態にしなければならない。 このために、マガジンの入れ替え作業には多大の時間を
要する。そこで、マガジンを１本ずつクランプして傾動
させるようにした場合には、マガジンの入れ替え頻度が
多くなるために、装置の稼動中におけるマガジン交換に
要する時間が全体として長くなるという問題点もある。 本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、構成が簡単で、しかもマガジンの
交換頻度を少なくすることかできるようにしたＩＣハン
ドラのデバイス供給装置を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 前述した目的を遠戚するために、本発明は、多数のＩＣ
デバイスを収納したマガジンを複数列積み重ねて収容す
るマガジンストッカと、該マガジンストッカの列数と同
数のマガジンをクランプして、それを傾斜させることに
よりＩＣデバイスを自重によりシュート部に滑降させる
ためのマガジン傾動手段と、水平方向に往復移動して、
前記マガジンストッカから分離された各列１木ずつのマ
ガジンを前記マガジン傾動手段にクランプされる位置に
同時に搬送するマガジン搬送手段とからなり、前記マガ
ジン傾動手段は、マガジンを傾斜させた状態で、横送り
する横送り機構を備えると共に、各列のマガジンからの
ＩＣデバイスの走行路にそれぞれ独立に開閉可能なシャ
ッタを設けたことをその特徴とするものである。 ［作用１ このような構成を採用することによって、複数列のマガ
ジンストッカから供給される複数本のマガジンを、矩形
運動という複雑な動作ではなく、水平方向に搬送すると
いう単純な動作で、マガジン傾動手段に装架することが
できるようになり、マガジンストッカからマガジン傾動
手段にマガジンを移行させるマガジン搬送手段の構成を
著しく簡略化することができる。また、複数のマガジン
を同時にクランプ・傾動させるように構成しているので
、マガジン傾動手段にクランプされた複数本のマガジン
の全てが空になったときに初めて新たなマガジンと交換
すればよいことになり、マガジンの交換頻度が少なくな
り、全体としてのＩＣデバイス供給時間の短縮化を図る
ことができることになる。 【実施例１ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。 第１図にデバイス供給装置の基本構成を示し、第２図に
ＩＣハンドラの全体構成を示すものであって、第２図か
ら明らかなように、装置本体１の上部にはローダ部りが
形成され、テスト部下は中間部に、アンローダ部Ｕがそ
れぞれ形成されている。そして、このローダ部りからＩ
Ｃデバイスをテスト部Ｔに搬送するために、ローダ側シ
ュー）−ＬＳが設けられ、またテスト部Ｔからアンロー
ダ部ＵにＩＣデバイスを搬送するために、アンローダ側
シュートＵＳが設けられている。これらロータ側及びア
ンローダ側シュートＬＳ、　ＵＳは傾斜状態にして設け
られており、ＩＣデバイスはこれら各シュートｔｓ、　
ｕｓ内を自重で滑降するようになっている。 ここで、このＩＣハンドラにおいては、第３図に示した
ように、多数のＤＩＰ型のＩＣデバイス２を並べた状態
にして収納するマガジン３が用いられ、このマガジン３
はローダ部りに設置したマガジンストッカｌＯに装着さ
れるようになっている。マガジンストッカ１０は、装置
本体ｌの天板１ａに立設した一対のポスト１１．１１か
らなり、該各ボスト１１には、相対向するように複数箇
所（図面においては３箇所）にマガジン位置決め用のガ
イド部１１ａを備える構成となっており、このためにマ
ガジンストッカ１０にはマガジン３は複数列（図面にお
いては３列）各ガイド部１１ａ、ｌｌａ間に積み重ねた
状態にして多数収納されるようになっている。そして、
このマガジンストッカｌＯに収容したマガジン３は各列
につきそれぞれ下方から１本ずつから分離して取り出さ
れるようになっている。 このマガジン３の分離機構としては、第４図に示したよ
うに、ポスト１１に装着した分離爪１２とポスト１１．
１１間の下部位置に配設した各一対のシリンダ＋３．１
３．１４．１４とから構成される。 次に、　２０．２０はマガジン搬送手段を示し、該マガ
ジン搬送手段２０．２０には、第５図に示したように、
それぞれ各列のマガジン３を収容させるマガジン収容部
２０ａが３箇所設けられている。そして、このマガジン
搬送手段２０．２０間には連結部材２１が架は渡されて
設けられており、該連結部材２１はロータリシリンダ２
２に連結した駆動板２３に突設したピン２４に係合して
おり、該ロータリシリンダ２２を作動させることによっ
て、マガジン搬送手段２０、２０はガイドロッド２０に
沿ってマガジンストッカ１０の下部におけるマガジン取
り出し位置と、このマガジン取り出し位置から水平方向
に移動したマガジンクランプ位置との間に往復変位せし
められるようになっている。なお、このマガジン搬送手
段２０．２０がマガジン取り出し位置にあるときにおい
ては、シリンダ１４の上昇位置より下方位置となる。こ
の結果、前述の分離機構によってマガジンストッカＩＯ
から分離された各列のマガジン３はシリンダ１４を下降
させることにより、このマガジン搬送手段２０．２０上
に移行せしめられるようになる。 さらに、３０はマガジン傾動手段を示し、このマガジン
傾動手段３０は、第６図に示したように、クランプ部３
０ａとシュート部３０ｂとから構成されている。クラン
プ部３０ａはマガジン搬送手段２０により搬送されるマ
ガジン３をクランプするためのものであって、底板３１
には３箇所のマガジン位置決め部３２か設けられている
。そして、この底板３１にはクランプ板３３が対向配設
せしめられており、このクランプ板３３はシリンダ３４
により上下動せしめられるようになっている。従って、
マガジン搬送手段２０．２０により３本のマガジン３が
マガジンクランプ位置に移行したときに、シリンダ３４
を作動させることによって、マガジン３をクランプする
ことができるようになる。そして、このクランプ時に、
各マガジン３の位置を揃えるために、シリンダ３５か設
けられており、クランプ部３０ａによりマガジン３をク
ランプする前に該シリンダ３５を作動させることによっ
て、各マガジン３の端部なりランプ部３０ａの壁部に押
し付けるように位置決めされるようになっている。 またシュート部３０ｂはクランプ部３０ａにおいてクラ
ンプされたマガジン３からＩＣデバイス２をローダ側シ
ュートＬＳに送り込むためのものて、第７図に示したよ
うに、各マガジン位置決め部３２に連なるように３本の
走行路３６か設けられている。 従って、マガジン傾動手段３０を傾けると、ＩＣデバイ
ス２はマガジン３から排出されて、その基板部２ａの底
面を走行路３６の上面に当接し、またリード部２ｂを該
走行路３６の側壁に沿うようにして自重で滑降せしめら
れるようになる。そして、これら各走行路３６の先端部
分にはシャッタ３７か設けられている。このシャッタ３
７は、ばね３８によって常時各走行路３６におけるＩＣ
デバイス２の滑降路に臨ませて、該ＩＣデバイス２の滑
降を規制するロット３９を有し、該ロッド３９は図示し
ない駆動機構によってそれぞれ独立にばね３８に抗して
走行路３６から退避せしめられるようになっている。 次に、マガジン傾動手段３０は５傾動駆動機構４０によ
って水平状態とローダ側シュートＬＳに連なる状態に傾
斜した状態との間に変位させることかできるようになっ
ている。この傾動駆動機構４０としては、マガジン傾動
手段３０のスライド軸３０ｃに連設した板体３１ａ　、
　：］ｌａに固着して設けた回動軸４１をイ１し、該回
動軸４１にはレバー４２の一端か連結されている。そし
て、このレバー４２の他端には、シリンダ４３のロッド
４３ａか取り付けられると共にばね４４か作用しており
、常時においては、このばね４４の作用によって、マガ
ジン傾動手段３０は水平状態となっており、シリンダ４
３を作動させて、該ばね４４に抗する方向にレバー４２
を回動させることにより傾斜した状態に変位せしめられ
るようになっている。 さらに、マガジン傾動手段３０は、駆動手段によって傾
動した状態で、横方向に移動可能となっている。このた
めに、該マガジン傾動手段３０の先端部分における下部
位置には、横送り手段５０か設けられている。この横送
り手段５０としては、一対のプーリ５１ａ　、　５１ｂ
間に巻回して設けたタイミングベルト５２を有し、一方
のプーリ５］、ａはステッピングモータ５３に連結され
ている。また、タイミンクベルト５２にはガイドロット
５４に挿通された水モ動フロック５５が連結されている
。そして、該水平ブロック５５には連結突起５６か設け
られており、該連結突起５６はマガジン傾動手段３０の
底板３１に垂設した軸５７．５７に設けたローラ５７ａ
　、　５７ａ間に挟持させている。従って、ステッピン
グモータ５２を作動させると、タイミングベルト５２が
送られて、水平動ブロック５５か水平方向に往復移動せ
しめられて、連結突起５６．ローラ５７ａ、軸５７を介
してマガジン傾動手段３０が横送りされるようになって
おり、これによって、マガジン傾動手段３０により傾斜
状態にした複数のマガジン３の各々をロータ側シュート
ＬＳに対向させることかできるようになっている。 さらにまた、マガジンクランプ位置には、台座５８、５
８が設けられており、マガジン傾動手段３０によりマガ
ジン３を傾動させて、このマガジン３内のＩＣデバイス
２を排出した後の空マガジン３は、マガジン傾動手段３
０を水平状態に戻したときに、該台座５８．５８上に載
置されるようになっている。そして、この台座５８．５
８を配設した位置に隣接して、装置本体ｌの天板１ａに
は空マガジン排出口５９か形成されている。 なお、６０はマガジンストッカ１０の下部位置に配設さ
れ、マガジン３のマガジンストッカＩＯからの分離を検
出するためのセンサ、　６１はマガジンクランプ位置に
設けられ、当該マガジンクランプ位置にマガジン３が配
置されているか否かの検出を行うセンサ、　６２ａ　、
　６２ｂ　、　６２ｃはそれぞれマガジン傾動手段３０
の横方向の位置を検出するためのセンサをそれぞれ示す
。 本実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
動について説明する。 まず、マガジンストッカＩＯを構成するポスト１１、１
１におけるそれぞれのガイド部１１ａ、ｌｌａ間にマガ
ジン３を積み重ねた状態にして多数設置する。なお、各
列のマガジン３における積み重ね数を同じにしておくの
が好ましい。 そこで５分離爪１２により最下段のマガジン３を保持し
た状態で、シリンダ１３．１４を上昇させる。 このときに、一方のシリンダ１３はこの最下段のマガジ
ン３に当接させ、他方のシリンダ１４はこれより低い位
置となす、そして、まず分離爪１２をマガジン３から離
間させて、前記一方のシリンダ１３を下降させることに
より、積み重ねたマガジン３を下降させて、最下段のマ
ガジン３を他方のシリンダ１４に当接させる。然る後に
、分離爪１２を作動させて、次の段のマガジン３に係合
させ、さらに前記他方のシリンダ１４を下降させること
によって。 第８図に示したように、最下段のマガジン３を他から分
離して、マガジン搬送手段２０における各マガジン収容
部２０ａ上に取り出す、なお、このときには、次の段の
マガジン３は分離爪１２によりマガジンストッカｌＯに
保持される。 このようにしてマガジン搬送手段２０に取り出された３
個のマガジン３は、ロータリシリンダ２２を作動させる
ことによって、第９図に矢印で示した方向に変位させて
、マガジン取り出し位置からマガジンクランプ位置を形
成するマガジン傾動手段３０の底板３１とクランプ板３
３との間の位置に移行させる。この状態で、シリンダ３
５を作動させることによって、各マガジン３の位置決め
を行い、然る後にシリンダ３４を作動させることによっ
て、クランプ板３３を底板３１に近接する方向に変位さ
せて、各マガジン３をマガジン位置決め部３２において
クランプさせる。 このようにしてマガジン３のクランプが完了すると、シ
リンダ４３を作動させて、レバー４２をばね４４に抗す
る方向に回動変位させて、回動軸４１を所定角度回動さ
せる。この回動軸４１は板体３１ａにより底板３１に連
結されているので、該回動軸４１の回動によってマガジ
ン傾動手段３０はマガジン３をクランプした状態で、該
マガジン３がローダ側シュートＬＳに連なるように傾斜
せしめられる。この傾斜によって、各マガジン３内のＩ
Ｃデバイス２は走行路３６上に移行せしめられるように
なる。 ところが、この走行路３Ｇにはシャッタ３７が設けられ
ているので、該走行路３６からみだりに逸脱するおそれ
はない。 この状態において、マガジン傾動手段３０によりクラン
プされた３個のマガジン３のうちの−のマガジン３はロ
ーダ側シュートＬＳと対面する状態となっているので、
このローダ側シュートＬＳに対向するマガジン３からの
ＩＣデバイス２の取り出しが行われる。そして、このロ
ーダ側シュー）ＬＳに対面するマガジン３内のＩＣデバ
イス２が順次該ローダ側シュートＬＳに順次送り込まれ
て、該マガジン３が空になると、ステッピングモータ５
３が作動して、タイくングベルト５２が送られ、水平動
ブロック５５と共に、マガジン傾動手段３０か横方向に
移動して、該マガジン傾動手段３０によりクランプされ
ている次のマガジン３がローダ側シュートＬＳに対向す
る状態となる。そこで、このマガジン３が装着されてい
る部分の走行路３６に設けたシャッタ３５を開放するこ
とによって、順次ＩＣデバイス２を送り出す。さらに、
このマガジン３か空になると、横送り手段５０を作動さ
せることにより、さらにもう一つのマガジン３をローダ
側シュートＬＳに対面させて、シャッタ３７を開放する
ことにより、ＩＣデバイス２をローダ側シュートＬＳに
送り込む。 このようにして３本のマガジン３のすべてからＩＣデバ
イス２の取り出しか完了すると、マガジン傾動手段３０
を水平状態に復帰させる。このときには、マガジン搬送
手段２０をマガジンストッカ１０の部位におけるマガジ
ン取り出し位置において次のマガジン３の分離取り出し
が完了した状態としておく、そして、マガジン傾動手段
３０が水平状態となって、各マガジン３が台座５８上に
設置されて、クランプ板３３によるクランプが解除され
たときに、マガジン搬送手段２０をマガジンクランプ位
置に向けて移行させると、台座５８上にある空マガジン
はこのマガジン搬送手段２０に押されて、空マガジン排
出口５９内に落下して排除されると共に、新たな実マガ
ジン３をマガジンクランプ位置に移行させることができ
る。 この状態で、前述と同様の動作を繰り返すことにより、
順次マガジン３からＩＣデバイス２をローダ側シュート
ＬＳに送り込むことができるようになる。 これにより、マガジン３のクランプから傾動、及びこの
傾動状態から水平状態への復帰、さらにクランプを解除
して空マガジン３の排除に至る動作を行う頻度を少なく
することかでき、全体として処理速度の向上を図ること
ができる。しかも、マガジン搬送手段２０はマガジン取
り出し位置とマガジンクランプ位置との間に水平方向に
往復移動するだけの動作を行うだけでよいので、該マガ
ジン搬送手段２０の駆動子０段の構成を著しく簡略化す
ることができるようになる。 さらに、前述したマガジン供給装置において、マガジン
ストッカｌＯを構成するボスト１１．マガジン搬送手段
２０．さらにマガジン傾動手段３０のクランプ部３０ａ
を交換可能とすれば、第１０図に示したように、複数列
のデバイス収納部７０を連設してなる多連マガジン７１
を装着することかできる。 ［発明の効果〕 以上説明したように、本発明は、マガジンストッカには
マガジンを複数列積み重ねて収容させ、この複数列のマ
ガジンをマガジン搬送手段によって水平方向に搬送して
、マガジン傾動手段によって同時にクランプして傾動さ
せるようになし、該マガジン傾動手段には、マガジンを
傾斜させた状態で、横送りする横送り機構を備えると共
に、各列のマガジンにおけるＩＣデバイスの出口にそれ
ぞれ独立に開閉可能なシャッタを設ける構成としたので
、マガジン搬送手段は水平方向に往復移動させるだけで
よく、その駆動機構が簡略化されると共に、同時に複数
本のマガジンを、それに収納したＩＣデバイスをシュー
ト部に送り込ませることができる状態となるので、処理
速度を高速化することができる等の諸効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すＩＣデバイスの供給装
置の基本構成図、第２図はＩＣハンドラの全体構成を示
す外観図、第３図はＩＣデバイス及びマガジンの外観図
、第４図はマガジン分子ｌＩ機構の構成説明図、第５図
はマガジン搬送手段の構成説明図、第６図はマガジン傾
動手段の一部切欠側面図、第７図はマガジン傾動手段の
一部切欠正面図、第８図及び第９図は作動説明図、第１
０図は多連マガジンの構成説明図である。 ｌ　二装置本体、２：ＩＣデバイス、３：マガジン、１
０：マガジンストッカ、ｌｌ：ボスト、２０：マガジン
搬送手段、２０ａ：マガジン収容部、２２：ロータリシ
リンダ、３０：マガジン傾動手段、３０ａ：クランプ部
、３０ｂ：シュート部、３２：マガジン位置決め部、３
６：走行路、３７：シャッタ、３８：ばね、３９：ロッ
ド、４０：Ｍ動駆動手段、４１：回動軸、４２ニレバー
、４３ニジリンダ、５０：横送り手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多数のＩＣデバイスを収納したマガジンを複数列積み重
   ねて収容するマガジンストッカと、該マガジンストッカ
   の列数と同数のマガジンをクランプして、それを傾斜さ
   せることによりＩＣデバイスを自重によりシュート部に
   滑降させるためのマガジン傾動手段と、水平方向に往復
   移動して、前記マガジンストッカから分離された各列１
   本ずつのマガジンを前記マガジン傾動手段にクランプさ
   れる位置に同時に搬送するマガジン搬送手段とからなり
   、前記マガジン傾動手段は、マガジンを傾斜させた状態
   で、横送りする横送り機構を備えると共に、各列のマガ
   ジンからのＩＣデバイスの走行路にそれぞれ独立に開閉
   可能なシャッタを設けたことを特徴とするＩＣハンドラ
   のデバイス供給装置。