JPH0346342A - ワイヤー供給装置 - Google Patents
ワイヤー供給装置Info
- Publication number
- JPH0346342A JPH0346342A JP1182949A JP18294989A JPH0346342A JP H0346342 A JPH0346342 A JP H0346342A JP 1182949 A JP1182949 A JP 1182949A JP 18294989 A JP18294989 A JP 18294989A JP H0346342 A JPH0346342 A JP H0346342A
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- JP
- Japan
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- wire
- wire feed
- voltage
- feed apparatus
- main body
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造装置のワイヤーボンダーに用いら
れる、ワイヤー供給装置に関するものである。
れる、ワイヤー供給装置に関するものである。
従来の技術
一般に、この種のワイヤー供給装置は、第３図に示すよ
うに、ワイヤー４がワイヤー供給検知用電圧印加源６に
接触してモータを作動、本体の一部の接地板６゛に接触
して停止させる機構となっている。つまり、ワイヤー４
がワイヤー検知用電圧印加源６と接触し、ワイヤー供給
装置と本体とを電気的に結線してワイヤーを供給する仕
組みである。
うに、ワイヤー４がワイヤー供給検知用電圧印加源６に
接触してモータを作動、本体の一部の接地板６゛に接触
して停止させる機構となっている。つまり、ワイヤー４
がワイヤー検知用電圧印加源６と接触し、ワイヤー供給
装置と本体とを電気的に結線してワイヤーを供給する仕
組みである。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、このタイプのものは、第４図の概念図で
示すように、ワイヤー供給用の電圧がワイヤー供給時に
チップに印加され、チップに悪影響を及ぼす危険性があ
る。
示すように、ワイヤー供給用の電圧がワイヤー供給時に
チップに印加され、チップに悪影響を及ぼす危険性があ
る。
本発明はかかる従来の問題を解決するもので、ワイヤー
の供給検知用の電圧がチップに直接印加しないようにし
たものである。
の供給検知用の電圧がチップに直接印加しないようにし
たものである。
課題を解決するための手段
本発明は上述の問題を解決するために、ワイヤー供給装
置を完全に電気的に本体から開放する仕組みにしたもの
である。
置を完全に電気的に本体から開放する仕組みにしたもの
である。
作用
本発明によると、上記の仕組みによってワイヤー供給装
置の電圧が直接チップに印加しないので、チップに悪影
響を及ぼすことなく、ワイヤーの供給ができるようにし
たものである。
置の電圧が直接チップに印加しないので、チップに悪影
響を及ぼすことなく、ワイヤーの供給ができるようにし
たものである。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面にもとづいて説明する
。
。
第１図において、６はワイヤー供給用の電圧源である。
４はワイヤー、５はワイヤースプール、７はワイヤー供
給検知用保護抵抗である。また、第２図はワイヤー供給
装置の拡大図である。ワイヤーが少なくなるとワイヤー
４がワイヤー供給検知用電圧源６に接触し、ワイヤー供
給装置内のモータが作動し、ワイヤースプール５が回転
し、ワイヤー４が送り出される。また、ワイヤー４が長
くなると、これが本体の一部の接地板６゛に接触し、ワ
イヤー供給装置内のモータが停止して、ワイヤースプー
ル５が停止する。つまり第１図で言うと、スイッチ機構
となる部分である。
給検知用保護抵抗である。また、第２図はワイヤー供給
装置の拡大図である。ワイヤーが少なくなるとワイヤー
４がワイヤー供給検知用電圧源６に接触し、ワイヤー供
給装置内のモータが作動し、ワイヤースプール５が回転
し、ワイヤー４が送り出される。また、ワイヤー４が長
くなると、これが本体の一部の接地板６゛に接触し、ワ
イヤー供給装置内のモータが停止して、ワイヤースプー
ル５が停止する。つまり第１図で言うと、スイッチ機構
となる部分である。
電気的な仕組みについて第１図の概念図で説明すると、
ワイヤー供給装置を本体から電気的に開放すると、ワイ
ヤー供給検知用電圧源６の電圧はワイヤー４が送り出さ
れる時（モータ作動時）、ワイヤー４からワイヤースプ
ール５を介して、ワイヤー供給装置に結線される。電圧
源６の電圧は全くチップの方へは結線されない。次に、
ワイヤー供給装置を本体から電気的に開放することにつ
いて第２図で説明する。この装置では、チップ２、ワイ
ヤー４、ワイヤー供給装置１０、ワイヤースプール５、
ワイヤーボンダー本体部１１、ワイヤー供給装置ホルダ
ー１２である。
ワイヤー供給装置を本体から電気的に開放すると、ワイ
ヤー供給検知用電圧源６の電圧はワイヤー４が送り出さ
れる時（モータ作動時）、ワイヤー４からワイヤースプ
ール５を介して、ワイヤー供給装置に結線される。電圧
源６の電圧は全くチップの方へは結線されない。次に、
ワイヤー供給装置を本体から電気的に開放することにつ
いて第２図で説明する。この装置では、チップ２、ワイ
ヤー４、ワイヤー供給装置１０、ワイヤースプール５、
ワイヤーボンダー本体部１１、ワイヤー供給装置ホルダ
ー１２である。
ワイヤー４が送り出される時、金線供給検知用電圧源６
はワイヤー４からワイヤースプール５を介してワイヤー
供給装置１０へ電流を通す。しかし、ワイヤー供給装置
ホルダー１２を絶縁していれば、ワイヤーボンダーの本
体部は、電気的に結線されず、開放となる。
はワイヤー４からワイヤースプール５を介してワイヤー
供給装置１０へ電流を通す。しかし、ワイヤー供給装置
ホルダー１２を絶縁していれば、ワイヤーボンダーの本
体部は、電気的に結線されず、開放となる。
発明の効果
以上のように本発明のワイヤーボンダーのワイヤー供給
装置であれば、ワイヤー供給検知用の電圧がチップに印
加されることなく、チップに悪影響を及ぼさない利点が
ある。
装置であれば、ワイヤー供給検知用の電圧がチップに印
加されることなく、チップに悪影響を及ぼさない利点が
ある。
第１図は本発明の実施例ワイヤー供給装置の電気的な概
念図、第２図はワイヤー供給装置の斜視図、第３図は従
来のワイヤー供給装置の電気的な概念図、第４図はワイ
ヤー供給検知用の部分（スイッチ機構部）の拡大図であ
る。 １・・・・・・ワイヤーボンダー本体、２・・・・・・
チップ、３・・・・・・ツール、４・・・・・・ワイヤ
ー ５・・・・・・ワイヤースプール、６・・・・・・
ワイヤー供給検知用電圧源、７・・・・・・保護抵抗。
念図、第２図はワイヤー供給装置の斜視図、第３図は従
来のワイヤー供給装置の電気的な概念図、第４図はワイ
ヤー供給検知用の部分（スイッチ機構部）の拡大図であ
る。 １・・・・・・ワイヤーボンダー本体、２・・・・・・
チップ、３・・・・・・ツール、４・・・・・・ワイヤ
ー ５・・・・・・ワイヤースプール、６・・・・・・
ワイヤー供給検知用電圧源、７・・・・・・保護抵抗。
Claims (1)
- ワイヤーボンダーに取り付けられ、ワイヤーを巻いたス
プールとワイヤーを送り出すためのモータとワイヤーと
接触してモータを作動、停止させるスイッチ機構とから
なるワイヤー供給装置を、前記ワイヤーボンダー本体と
電気的に開放されていることを特徴とするワイヤー供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182949A JPH0346342A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ワイヤー供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182949A JPH0346342A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ワイヤー供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346342A true JPH0346342A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16127173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1182949A Pending JPH0346342A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | ワイヤー供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346342A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6200555B1 (en) * | 1998-03-10 | 2001-03-13 | Mazda Motor Corporation | Deodorant composition, deodorizer and filter each containing the same, and method of deodorization |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP1182949A patent/JPH0346342A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6200555B1 (en) * | 1998-03-10 | 2001-03-13 | Mazda Motor Corporation | Deodorant composition, deodorizer and filter each containing the same, and method of deodorization |
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