JPH034700U - - Google Patents

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JPH034700U
JPH034700U JP6543089U JP6543089U JPH034700U JP H034700 U JPH034700 U JP H034700U JP 6543089 U JP6543089 U JP 6543089U JP 6543089 U JP6543089 U JP 6543089U JP H034700 U JPH034700 U JP H034700U
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JP
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plasma
container
conductive protrusions
spark
movable mechanism
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JP6543089U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、この考案による放電トリガー装置の
一実施例を示す断面図である。 1は導電性の接触棒、2は接触棒の支え軸、3
は高電圧を真空中へ導入する手段、4は高電圧発
生手段、5はプラズマ生成容器の間隙、6はプラ
ズマ生成室壁、7はプラズマ生成室、8はマグネ
ツト、9は石英の窓、10はプラズマ化ガス導入
口、11はマイクロ波導波管、12はマイクロ波
発振器、13は排気管、14は真空ポンプ、15
は絶縁物、16は絶縁物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. プラズマ(希薄電離気体)を限られた領域に保
    持するための容器、このプラズマ容器に電圧を印
    加する手段、アース電位に短絡された導電性の突
    起物の可動機構を備え、あるいは逆にプラズマ容
    器をアース電位に接続する手段、高電圧を印加し
    た導電性の突起物の可動機構を備え、上記プラズ
    マ容器の内部と外部に通じる間隙や穴の近傍に、
    上記導電性の突起物を接近させ、断続的に接触さ
    せることにより火花放電を発生させ、この火花放
    電により生じる自由電子をプラズマ発生のきつか
    けを作る火種として使用することを特長とする、
    放電トリガー装置。
JP6543089U 1989-06-06 1989-06-06 Pending JPH034700U (ja)

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JPH034700U true JPH034700U (ja) 1991-01-17

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