JPH034700U - - Google Patents
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- JPH034700U JPH034700U JP6543089U JP6543089U JPH034700U JP H034700 U JPH034700 U JP H034700U JP 6543089 U JP6543089 U JP 6543089U JP 6543089 U JP6543089 U JP 6543089U JP H034700 U JPH034700 U JP H034700U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- container
- conductive protrusions
- spark
- movable mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003574 free electron Substances 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第1図は、この考案による放電トリガー装置の
一実施例を示す断面図である。 1は導電性の接触棒、2は接触棒の支え軸、3
は高電圧を真空中へ導入する手段、4は高電圧発
生手段、5はプラズマ生成容器の間隙、6はプラ
ズマ生成室壁、7はプラズマ生成室、8はマグネ
ツト、9は石英の窓、10はプラズマ化ガス導入
口、11はマイクロ波導波管、12はマイクロ波
発振器、13は排気管、14は真空ポンプ、15
は絶縁物、16は絶縁物。
一実施例を示す断面図である。 1は導電性の接触棒、2は接触棒の支え軸、3
は高電圧を真空中へ導入する手段、4は高電圧発
生手段、5はプラズマ生成容器の間隙、6はプラ
ズマ生成室壁、7はプラズマ生成室、8はマグネ
ツト、9は石英の窓、10はプラズマ化ガス導入
口、11はマイクロ波導波管、12はマイクロ波
発振器、13は排気管、14は真空ポンプ、15
は絶縁物、16は絶縁物。
Claims (1)
- プラズマ(希薄電離気体)を限られた領域に保
持するための容器、このプラズマ容器に電圧を印
加する手段、アース電位に短絡された導電性の突
起物の可動機構を備え、あるいは逆にプラズマ容
器をアース電位に接続する手段、高電圧を印加し
た導電性の突起物の可動機構を備え、上記プラズ
マ容器の内部と外部に通じる間隙や穴の近傍に、
上記導電性の突起物を接近させ、断続的に接触さ
せることにより火花放電を発生させ、この火花放
電により生じる自由電子をプラズマ発生のきつか
けを作る火種として使用することを特長とする、
放電トリガー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6543089U JPH034700U (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6543089U JPH034700U (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034700U true JPH034700U (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=31597252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6543089U Pending JPH034700U (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034700U (ja) |
-
1989
- 1989-06-06 JP JP6543089U patent/JPH034700U/ja active Pending
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