JPH0347688A - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ加工装置に係り、特に振動に関し改良
されたレーザ加工装置に係る。

（従来の技術） レーザ加工装置は、レーザ発振器より発振されたレーザ
を、ミラー　レンズ等を含む光学系によってレーザビー
ムノズルへ導き、これよりレーザビームを被加工物に照
射することにより、切断、溶接等の加工を行うようにな
っている。

（発明が解決しようとする課題） レーザ加工装置に於ては、フレーム、レーザビーム発振
器、ミラー　レンズ等が振動すると、それに伴いレーザ
ビーム発振器よりレーザビームノズルへ至るレーザビー
ムの光路が変動することになる。この光路の変動はレー
ザビームノズルの被加工物に対する照射位置を変動する
ことになり、これはレーザ加工装置の高精度加工性及び
微細加工性を阻害することになる。

またこれらの振動はレーザ加工装置の特に光学系の狂い
を誘起し、レーザ加工装置のメンテナンスインターバル
を短縮する原因になる。

本発明は、上述の如き問題に鑑み、特にレーザビームの
光学系を構成する部材が振動し難いようにされ、本来の
高精度加工性及び微細加工性を充分に発揮するよう改良
されたレーザ加工装置を提供することを目的としている
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上述の如き目的は、本発明によれば、レーザビーム発振
器取付ベース、ミラー取付部材、レンズ固定フレームが
制振部材により構成されていることを特徴とするレーザ
加工装置によって達成される。

（作用） 上述の如き構成によれば、レーザビーム発振器取付ベー
ス、ミラー取付部材、レンズ固定フレームが振動し難く
なり、これに伴いレーザビーム発振器の取付部が振動し
難くなり、またミラーレンズが振動し難くなり、これら
のことによってレーザビームの光路が外部からの振動に
起因して変動することが低減或いは回避されるようにな
る。

（実施例） 以下に添付の図を参照して本発明の実施例について詳細
に説明する。

第４図はレーザ加工装置の一例を示している。

第４図に於て、１はレーザ加工装置全体を示しており、
レーザ加工装置１は、レーザビーム発振器３、制御装置
５等を有する装置本体７と、装置本体７に連設された水
平なワークテーブル９と、装置本体７より延出されてワ
ークテーブル９の上面。

を水平方向に延在する上部水平アーム１１と、上部水平
アーム１１の先端に取付けられたレーザ加工ヘッド１３
と、レーザ加工ヘッド１３の下端部に設けられたレーザ
ビームノズル１５と、ワークテーブル９上にて被加工物
の支持及び被加工物の移動を行うワーククランプ装置１
７とを有している。

レーザビーム発振器３より出力されるレーザビームＬＢ
は、上部水平アーム１１内に設けられたレーザビームダ
クト２１内を水平方向に進んでレーザ加工ヘッド１３内
に配置されているミラー２３に至り、ミラー２３にて反
射して伸縮自在なレーザビームダクト２５内を鉛直方向
に進んでレンズ２７に至り、レンズ２７にて集束されて
レーザビームノズル１５よりワークテーブル９上の被加
工物へ向けて照射されるようになっている。

ミラー２３の取付部、伸縮自在なレーザビームダクト２
５及びレンズ２７の取付部に関しては、第１図乃至第３
図に良く示されている。

ミラー２３の取付けは、第３図に良く示されている如く
、ミラー２３の外周縁部を取囲むように設けられたミラ
ーフレーム２９と、ミラーフレーム２９の背面に位置す
るホルダ一部材３１と、ホルダ一部材３１に取付ボルト
３３により連結されホルダ一部材３１と共働してミラー
フレーム２つを挟み保持するもう一つのホルダ一部材３
５と、ホルダ一部材３５を嵌込め装着されレーザビーム
の光路用通路３７を有するミラー固定フレーム３つとに
より行われており、ミラー固定フレーム３９は、第２図
に良く示されている如く、フランジ４１によってレーザ
ビームダクト２１と連結されている。

伸縮レーザビームダクト２５は、ミラー固定フレーム３
９の側に固定された固定ダクト４３と、レーザビームノ
ズル１７の側に設けられた可動ダクト４５とを有し、固
定ダクト４３と可動ダクト４５とは大筒式に互いに係合
してその内側に連続したレーザビーム用通路を構成して
いる。可動ダクト４５及びこれと固定ダクト４３との大
筒係合部近傍にはこれらを囲繞すべくミラー固定フレム
４７が設けられている。ミラー固定フレーム４７は、下
端部にてエンドプレート４９により可動ダクト４５の下
端部と互いに連結され、またエンドプレート４つの部分
にてレンズホルダー５１を担持している。レンズホルダ
ー５１はその内部にレンズ２７を保持し、またその下端
部にてレーザビームノズル１５を担持している。

レンズ固定フレーム４７はナンド５３にて電動機５５に
より回転駆動されるリードねじ５７とねじ係合し、電動
＠５５によってリードねじ５７が回転駆動されることに
より、可動ダクト４５、レンズホルダー５１、レーザビ
ームノズル１５を伴って上下動し、レーザビームノズル
１５とワークテーブル９との間隔を変更するようになっ
ている。

また伸縮自在なレーザビームダクト２５の両側には流体
圧駆動式のワーク押え装置５９が設けられている。

本実施例によるレーザ加工装置１に於ては、装置本体７
、上部水平アーム１１、レーザ加工ヘッド１３、ワーク
テーブル９の脚体部９Ａの各々の外板、レーザビーム発
振器３の取付ベース３Ａ、ミラー取付用のホルダ一部材
３１．３５、ミラー固定フレーム３つ、レンズ固定フレ
ーム４５が各々制振部材により構成されている。この制
振部材としては、二枚の鋼板或いは二つの金属製部材間
に薄い粘弾性樹脂層が挟まれた積層構造のもの、或いは
防振合金等により構成された材質型のものであって良い
。

上述の如く、レーザ加工装置１の各部分が制振部材によ
り構成されることにより、レーザ発振器３の取付部が振
動し難くなり、またこれが外部からの振動によって加振
され難くなる。またミラー２３の取付部及びレンズ２７
の取付部が各々振動し難くなり、これに伴いミラー２３
及びレンズ２７も振動し難くなり、レーザビーム発生源
であるレーザ発振器３の取付部が振動し難くなることと
用俟って、レーザビームＬＢの光路が振動に起因して変
動することが低減或いは回避されるようになる。

以上に於ては、本発明を特定の実施例について詳細に説
明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、
本発明の範囲内にて種々の実施例が可能であることは当
業者にとって明らかであろう。

［発明の効果］ 上述の如き実施例の説明より理解されるように、本発明
によるレーザ加工装置に於ては、レーザビーム発振器取
付ベース、ミラー固定部材、レンズ固定フレーム等が各
々制振部材により構成されていることから、これらが振
動し難くなり、これに伴いレーザビームの光学系が振動
し難（なり、レザビームの光路が振動により変動するこ
とが低減或いは回避されるようになる。このことがらレ
ーザビームの光軸位置が従来に比してより安定化し、レ
ーザ加工装置による高精度加工性及び微細加工性がより
一層向上し、レーザビーム加工装置本来の加工性能が充
分発揮されるようになる。また振動低減によりレーザビ
ームの光学系に狂いが生じ難くなり、メンテナンスイン
ターバルが従来に比して延長されるようになる。

【図面の簡単な説明】

＃第１図は本発明によるレーザ加工装置の光学系部分の
要部を示す縦断面図、第２図は第１図に示された光学系
部分の側面図、第３図はミラー取付部分を示す拡大縦断
面図、第４図はレーザ加工装置の一例を示す概略構成図
である。 ３・・・レーザビーム発振器 １５・・・レーザビームノズル ２３・・・ミラー ２５・・・レーザビームダクト ２７・・・レンズ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ発振器取付ベース、ミラー取付部材、レンズ固定
   フレームが制振部材により構成されていることを特徴と
   するレーザ加工装置。