JPH0347933A - 非蒸発型ゲッター合金 - Google Patents
非蒸発型ゲッター合金Info
- Publication number
- JPH0347933A JPH0347933A JP1182604A JP18260489A JPH0347933A JP H0347933 A JPH0347933 A JP H0347933A JP 1182604 A JP1182604 A JP 1182604A JP 18260489 A JP18260489 A JP 18260489A JP H0347933 A JPH0347933 A JP H0347933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- crushability
- amount
- absorption
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 20
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 229910000745 He alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｃ産業上の利用分野］
本発明は気体を物理吸着及び化学吸着の形で捕らえるこ
とができるゲッター材料に関し、特に、ガス吸収量の増
大を可能とした非蒸発型ゲッタ合金に関するものである
。
とができるゲッター材料に関し、特に、ガス吸収量の増
大を可能とした非蒸発型ゲッタ合金に関するものである
。
〔従来の技術１
一般にゲッター材料としては、従来からＺｒ、Ｔｉ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｈ、およびＶなどの金属単体が知ら
れている。
ｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｈ、およびＶなどの金属単体が知ら
れている。
ゲッター材料は、通常、物理吸着および化学吸着を効果
的に行なうため、反応表面積を多くとれるように１１０
０ｕ程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッタ
ー材料の具備すべき特性の一つである。しかし、これら
の単体金属では、延性が大きすぎて容易に粉砕できない
という欠点があり、粉砕できたとしても微細になりにく
く、あるいは形状が球状となり表面積が小さ（、ガス吸
収速度の点から不利となる。
的に行なうため、反応表面積を多くとれるように１１０
０ｕ程度の粉末状で用いられ、そのため粉砕性がゲッタ
ー材料の具備すべき特性の一つである。しかし、これら
の単体金属では、延性が大きすぎて容易に粉砕できない
という欠点があり、粉砕できたとしても微細になりにく
く、あるいは形状が球状となり表面積が小さ（、ガス吸
収速度の点から不利となる。
また、通常、ゲッター能を保有させるために表面の酸化
物などを分解するための活性化処理を施し、活性な表面
を作る。しかし、これらの単体金属は非常に安定な酸化
物を表面に形成しており、活性な表面を作るのは真空中
で高温に加熱する必要があり、容易でない。
物などを分解するための活性化処理を施し、活性な表面
を作る。しかし、これらの単体金属は非常に安定な酸化
物を表面に形成しており、活性な表面を作るのは真空中
で高温に加熱する必要があり、容易でない。
そこで、前述した単体金属の代替として、合金のゲッタ
ー材料が開発された。
ー材料が開発された。
特公昭４６−３９８１１に開示されている８４重量％Ｚ
ｒ−１６重量％八へ合金のゲッター材料はＺｒとＡ℃の
金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性について
は解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温にお
いては多量の気相を排気するにはかなりの時間を要し、
Ａｌ２を添加することで吸収量が小さくなる欠点があり
、この合金の吸収速度は３００℃以上でないと増加しな
いため、合金を３００℃以上に加熱しなければならない
。
ｒ−１６重量％八へ合金のゲッター材料はＺｒとＡ℃の
金属間化合物であり、この合金は前述の粉砕性について
は解決されているが、吸収速度は小さく、特に室温にお
いては多量の気相を排気するにはかなりの時間を要し、
Ａｌ２を添加することで吸収量が小さくなる欠点があり
、この合金の吸収速度は３００℃以上でないと増加しな
いため、合金を３００℃以上に加熱しなければならない
。
また、特公昭５３−１１４１にあるように、上記の単体
金属とＺｒ−Ａｌ２合金をを混合させたゲッター材料が
開示されているが、これも室温では十分な排気能力が認
められない欠点を有している。
金属とＺｒ−Ａｌ２合金をを混合させたゲッター材料が
開示されているが、これも室温では十分な排気能力が認
められない欠点を有している。
このため、粉砕性に優れ、しかも３００℃以下で使用す
る場合に吸収特性の優れたゲッター材料が要望されてい
た。
る場合に吸収特性の優れたゲッター材料が要望されてい
た。
〔発明が解決しようとする課題］
本発明は、上記従来技術の欠点を解決し、３００℃以下
で使用する場合においても吸収特性に優れ、しかも粉砕
性が良好な非蒸発型ゲッター合金を提供しようとするも
のでのである。
で使用する場合においても吸収特性に優れ、しかも粉砕
性が良好な非蒸発型ゲッター合金を提供しようとするも
のでのである。
［課題を解決するための手段］
本発明は上記課題を解決するために、
Ａβ：５〜２０重量％
Ｎｂ、Ｔａ：１種または２種の重量合計が０．１〜１５
重量％ Ｚｒ：実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金を提供
するものである。
重量％ Ｚｒ：実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金を提供
するものである。
［イ乍用］
真空分野で用いられるゲッター材料には、吸収速度が太
き（、しかも吸収ガス量が多いことが要求されている。
き（、しかも吸収ガス量が多いことが要求されている。
活性化処理後、ゲッター材料の吸収速度が大きいほど早
期に目的の真空度が得られること、また、ガス吸収量が
多いほど長期間使用可能であり、到達真空度が高（なる
。
期に目的の真空度が得られること、また、ガス吸収量が
多いほど長期間使用可能であり、到達真空度が高（なる
。
本発明者は、室温で使用し得るゲッター材料について種
々の研究を行い、ＺｒにＡβとＮｂおよび／またはＴａ
とを添加することにより、粉砕性およびガス吸収能力が
共に向上することを見出し、本発明に到達したものであ
る。
々の研究を行い、ＺｒにＡβとＮｂおよび／またはＴａ
とを添加することにより、粉砕性およびガス吸収能力が
共に向上することを見出し、本発明に到達したものであ
る。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明は、ゲッター能力を有する単体金属Ｚｒをベース
として、粉砕性を付与するためＡｌ２を添加し、さらに
、Ｎｂおよび／またはＴａを添加することにより室温に
おけるガス吸収能力を高めたものである。
として、粉砕性を付与するためＡｌ２を添加し、さらに
、Ｎｂおよび／またはＴａを添加することにより室温に
おけるガス吸収能力を高めたものである。
Ａｌ２は５〜２０重量％含有させる。これにより、Ｚｒ
−Ａｌ２金属間化合物が形成されて、粉砕性が向上し、
５０〜１１００ｕの粉末が容易に作製できる。ＡＩ！の
含有量が５重量％未満では粉砕性が劣り、２０重量％を
越えるとＡ℃自身にはガス吸収能力がないためＺｒある
いはＮｂ、Ｔａ量が低下することによりガス吸収能が低
下する。
−Ａｌ２金属間化合物が形成されて、粉砕性が向上し、
５０〜１１００ｕの粉末が容易に作製できる。ＡＩ！の
含有量が５重量％未満では粉砕性が劣り、２０重量％を
越えるとＡ℃自身にはガス吸収能力がないためＺｒある
いはＮｂ、Ｔａ量が低下することによりガス吸収能が低
下する。
ＮｂおよびＴａは、１種または２種の重量合計が０，１
〜１５重量％を含有させる。この添加によリゲッター材
料のガス吸収量が著しく増大する。
〜１５重量％を含有させる。この添加によリゲッター材
料のガス吸収量が著しく増大する。
０．１重量％未満では吸収量の増加は少なく、１５重量
％を越えると急激に吸収量および粉砕性が低下する。
％を越えると急激に吸収量および粉砕性が低下する。
［実施例］
第１表に示す組成の合金を５００ｍｂａｒのアルゴン雰
囲気にてアーク溶解し、それぞれ３０ｇのボタン状の合
金を作製した。
囲気にてアーク溶解し、それぞれ３０ｇのボタン状の合
金を作製した。
これを乳鉢にて粉砕・分級し、粒径的５０〜ｌ１００Ｌ
Ｌの粉末を作製した。
Ｌの粉末を作製した。
次にこれらの粉末をそれぞれ１ｇ秤量し、ｌＸ１Ｏ−２
Ｔｏｒｒ程度の雰囲気で十分に真空排気した後、真空排
気しながら８００℃で３０分間活性化を行い、室温まで
冷却後ガス吸収測定を行った。ガス吸収測定は純度６Ｎ
のＨ２ガスを用い、３０℃の雰囲気で内容積既知のチャ
ンバーに１０ｋｇｆ／ｃｒｎ”の初期圧を加え、試料に
吸収されることによる系の圧力変化からＨ２吸収量を測
定した。
Ｔｏｒｒ程度の雰囲気で十分に真空排気した後、真空排
気しながら８００℃で３０分間活性化を行い、室温まで
冷却後ガス吸収測定を行った。ガス吸収測定は純度６Ｎ
のＨ２ガスを用い、３０℃の雰囲気で内容積既知のチャ
ンバーに１０ｋｇｆ／ｃｒｎ”の初期圧を加え、試料に
吸収されることによる系の圧力変化からＨ２吸収量を測
定した。
測定結果を比較例と共に第１表に示す。
＊は比較例
× ○良好
Ｘ不良
〔発明の効果］
本発明のゲッター合金を用いることにより、室温におい
ても内容量の大きな容器内を排気したり、あるいは、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも長
時間維持可能とすることができ、また、これによってゲ
ッター材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置
場所の確保が容易になる。
ても内容量の大きな容器内を排気したり、あるいは、従
来よりも少ない量で高真空を短時間に確保し、しかも長
時間維持可能とすることができ、また、これによってゲ
ッター材料の容器内等の設置体積が少なくて済み、設置
場所の確保が容易になる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ａｌ：５〜２０重量％ Ｎｂ、Ｔａ：１種または２種の重量合計が ０．１〜１５重量％ Ｚｒ：実質的に残部 よりなることを特徴とする非蒸発型ゲッター合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182604A JPH0347933A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182604A JPH0347933A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0347933A true JPH0347933A (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=16121193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1182604A Pending JPH0347933A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 非蒸発型ゲッター合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0347933A (ja) |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1182604A patent/JPH0347933A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3917514B2 (ja) | 無蒸発ゲッタ合金 | |
| JP3528599B2 (ja) | 水素吸蔵合金 | |
| US5830026A (en) | Mercury dispensing device | |
| EP1817439B1 (en) | Non-evaporable getter alloys for hydrogen sorption | |
| RU2005110943A (ru) | Геттерные композиции, регенерируемые при низкой температуре после воздействия реакционных газов при более высокой температуре | |
| JP2009541586A (ja) | 水素収着に特に適した不揮発性ゲッター合金 | |
| JPS61104053A (ja) | ジルコニウム系水素吸蔵用合金 | |
| JPH0347933A (ja) | 非蒸発型ゲッター合金 | |
| JPH0542489B2 (ja) | ||
| JPH02118045A (ja) | 非蒸発型ゲッター合金 | |
| JPS62284033A (ja) | 水素の可逆的吸蔵・放出材料 | |
| US4576639A (en) | Hydrogen storage metal material | |
| JPS5947022B2 (ja) | 水素吸蔵用合金 | |
| JPH04268037A (ja) | 耐クリ−プ性の優れたＮｉ３（Ｓｉ，Ｔｉ）基耐熱合金 | |
| JPS5911652B2 (ja) | 水素貯蔵用合金 | |
| JPS6017011B2 (ja) | 水素吸蔵金属材料 | |
| JPH02209447A (ja) | 水素吸蔵合金 | |
| JPH11246923A (ja) | 水素吸蔵合金及びその製造方法 | |
| JPH11264041A (ja) | 水素吸蔵合金 | |
| JPH01201401A (ja) | 水素貯蔵合金粉末 | |
| JP3000680B2 (ja) | 水素貯蔵用材料 | |
| JPH04323341A (ja) | 水素貯蔵性合金 | |
| JPS6245300B2 (ja) | ||
| JPS6316457B2 (ja) | ||
| JP4304000B2 (ja) | Ｍｇ−Ｃｏ系水素吸蔵合金及びその製造方法 |