JPH0443525Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、クリーンルームに用いる中空枠材に
係るものである。

「従来の技術」 半導体製造工場等で採用されている垂直層流型
クリーンルームは、通常、第８図の構造を備えて
いる。図において、１は、躯体、２は、中空枠材
（鋼材等）を組んで形成した天井フイルタ取付用
格子、３……は、該格子で支持した天井フイル
タ、４は、天井チヤンバ、５は、通風床用スタン
ド、６……は、該スタンドで支えたグレーチン
グ、パンチングメタル等の通風性床材、７は、レ
タンチヤンバである。

而して、空調器からの清浄空気を、送風ダクト
を通じて天井チヤンバ４へ送り、天井フイルタ３
……を通過させて室内へと層流として供給し、ま
た、室内の空気を、通風性床材６……を介してレ
タンチヤンバ７へ送り、空調器のレタン口へと帰
還させるようになつている。

「考案が解決しようとする課題」 ところで、このクリーンルームにおける製造プ
ロセスは、ライフサイクルが短く、数年に一度、
大幅な改変が行われる。

この改変に対して、従来のクリーンルームは、
空間のフレキシビリテイに乏しく、大々的な改造
工事が必要とされる。例えば、第８図に示すよう
に、間仕切壁８を設けるにも、特別寸法の天井フ
イルタ３と通風性床材６を設け、根太９を建て込
み、該根太に間仕切壁を設ける鋼材９１を付設
し、天井でその特別寸法の天井フイルタ３の端を
受ける支持枠１０，１０を要すると共に、該支持
枠と天井フイルタ及び間仕切壁との相互間に気密
性を確保するためのシールを要する。

また、天井の照明器具等の取り付けや配置変え
にも、同様の困難があり、天井の格子２に取り付
けるにせよ、該格子を形成する中空枠材の主部が
単層構造であつて、各結合部でシール手段を講じ
てもその気密の信頼性が乏しく、その取付け部、
取外し部には別途に個別にシール手段を要して頗
る面倒である。つまり、主部が単層構造であるか
ら、結合部で結合面全面にシール手段を講じたと
しても、その気密性は、主部の内外の関係では一
重で破れ易く、例えば上部でその気密性が破れる
と天井裏からの塵埃が主部内に入り込み、主部へ
の間仕切壁、照明器具等の取り付けや電気配線の
挿通等を行う場合或いはそれらの位置替えを行う
場合に、主部に穿孔やねじの螺入等の手段を施す
と、該部から主部内の塵埃がクリーンルーム内に
漏れ出るからである。

本考案は、斯る問題点を解決しようとするもの
である。

「課題を解決するための手段」 本考案は、断面四角の中空枠材主部１２１１の
上面適所に取付け用の突条１２１２を一体に付設
して成る中空枠材において、その断面四角の主部
１２１１の内部を少なくとも上層部ａが前記突条
１２１２に影響されることなく他層部及び外気と
気密に遮断されて上下に層をなす複数層構造に形
成したことを特徴とする。

「作用」 上記中空枠材は、クリーンルームにて天井フイ
ルタ取付用格子１２に組んで天井に建込みして、
天井スラブから垂下する吊りボルト２６……に突
条１２１２にて吊持させ、主部１２１１の上層部
ａにて各連結部等でシリコンシール等の気密手段
を講じて、天井フイルタ取付用格子全体としての
気密性を確保し、また、該天井フイルタ取付用格
子には、その主部の上層部ａにて適宜シール手段
を講じると共に、吊りボルト２６……、突条１２
１２等を基に適宜支持手段を用いて天井フイルタ
１３……を気密に装着し、而して、主部１２１１
の下層部ｂに電気配線等を挿通させ、かつ、間仕
切壁、照明器具等を取り付ける。

「実施例」 第１図は、本考案に係る中空枠材の実施例を示
し、該中空枠材１２１は、アルミニウム又は鉄鋼
により断面日字状で中空の主部１２１１を形成す
ると共に、該主部の上面の幅方向中央部分に、断
面凸字状で且つその主部の材長方向に長い中空の
突条１２１２を一体に付設し、主部の上層部ａの
内側に組立用ねじをねじ込むための断面円弧の溝
１２１３……を複数並設している。

上記中空枠材１２１は、第４図、第５図に示す
天井フイルタ取付用格子１２に組む。この組立て
には、交差部等で中空枠材を連結することとなる
が、その連結には、第３図に示すように、適宜に
裁断した中空枠材１２１……の端部相互に端金物
１２３，１２４を当てて断面円弧の溝１２１３…
…へねじ込んだねじ（図示せず）により固定し、
両端金物に相い対応する鈎片１２３１，１２４１
を付設して相互に係合させ、一方の鈎片１２３１
から舌片１２３２を一体に突出させて、該舌片を
他方の端金物１２４へボルト１２５で固定し、か
つ、主部相互間及び主部と端金物等との間にシリ
コンシール１２６を施す。

なお、中空枠材１２１の主部１２１１は、断面
日字状に限るものではなく、３層以上の複数層構
造にしてもよい。最下層が下方開放でもよい。中
空枠材１２１の上面の突条１２１２は、断面凸字
状に限らず適宜である。該突条１２１２及び主部
内側の断面円弧の溝１２１３……は、他に適宜な
支持手段及び連結手段を講じることができればな
くてもよい。中空枠材１２１の上面等には、合成
樹脂等のシール材、液体式シール手段等の適宜シ
ール手段を施してもよい。

また、その天井フイルタ取付用格子１２の周縁
部には、第２図に示す隅部材１２２を用いる。該
隅部材は、アルミニウム又は鉄鋼により断面ロ字
状で中空の主部１２２１を形成すると共に、該主
部の上面に外縁へ片寄せて断面凸字状で中空の突
条１２２２を一体に付設し、主部の内側に組立用
ねじをねじ込むための断面円弧の溝１２２３……
を複数並設している。

なお、この隅部材１２２も主部を複数層構造と
してよいことは勿論である。

斯様に構成した天井フイルタ取付用格子１２
は、第６図、第７図に示すように、天井スラブ乃
至梁から垂設した吊りボルト２６……により支持
するが、該吊りボルトには下端にコ字状金物２６
１……を設け、該コ字状金物を天井フイルタ取付
用格子１２の中空枠材１２１の突条１２１２へ嵌
め、ねじ２６２……で連結する。また、第２図に
示すように、天井フイルタ取付用格子１２の外周
面即ち隅部材１２２の外面は、躯体１の周壁へ隣
接させることとなるが、この外面と周壁との間に
シリコンシール１２７，１２８を施す。

その天井フイルタ取付用格子１２には、各格子
目にそれぞれ天井フイルタを嵌め、各天井フイル
タの周縁部を、中空枠材１２１及び隅部材１２２
の主部１２１１，１２２１の上面に載置し、気密
に支持させる。この際、特に中空枠材１２１と天
井フイルタ１３……との結合は、中空枠材の主部
１２１１の上層部ａで行う。各天井フイルタの周
縁部と中空枠材１２１及び隅部材１２２の主部１
２１１，１２２１との間の気密支持手段として
は、従来用いられている各種の手段でよく、例え
ば、相互間にシリコンシールその他の合成樹脂シ
ール材、液体式シール手段等を介在させると共
に、各天井フイルタの周縁部を吊りボルト２６…
…又は前記突条１２１２，１２２２に取り付けた
適宜支持金物等で支える。

通風床は、第４図、第６図に示すように、上記
天井フイルタ取付用格子１２と同一又は整数倍の
モジユールで格子状に組んだ根太１５を設け、該
根太を高さ調整用アジヤスタ２０付きのスタンド
１９……によりスラブ上にレタンチヤンバを保つ
て支持し、その根太の上面中央に隣接相互の床材
１６，１６間へ介在させる間仕切壁支持用受材１
８を並設固定し、該受材及び根太のなす各格子目
にそれぞれグレーチング、パンチングメタル等の
通風性床材１６……を嵌めて、これらの床材の周
縁部を根太で受けている。なお、根太１５と受材
１８は、一体に形成してもよい。

如上のように、天井フイルタ取付用格子１２と
受材１８及び根太１５を同一又は整数倍のモジユ
ールに設定すると、天井フイルタ取付用格子１２
の任意な中空枠材１２１とこれに対応する受材１
８とを適宜に選択して、その中空枠材と受材との
間に間仕切壁２１……を建て込むことができ、こ
の建込みには、第６図に示すように、間仕切壁の
下端を受材へと係合させ、上端を中空枠材の下面
へ当接させて、中空枠材の主部の下層部ｂへとね
じ２７……で固定する。

また、天井フイルタ取付用格子１２には、任意
な中空枠材１２１を適宜に選択して、第７図に示
すように、照明器具２８……、その他の器具を自
由に取り付けることができ、この取付けには、照
明器具２８……等の上面をその中空枠材の主部の
下層部ｂへとねじ２７……で固定する。照明器具
等の配線は、中空枠材の主部の下層部ｂに挿入さ
せる。

更に、天井フイルタ１３……の真下で天井フイ
ルタ取付用格子１２の各格子目に風速調整用のパ
ンチングフエースを取り付けることもでき、その
場合は、第６図に示すように、中空枠材１２１の
主部１２１１における下層部ｂの側面に溝型の支
持枠２９……を気密に固定し、パンチングフエー
ス３０……の周縁に係合縁３０１……を設けて、
該係合縁を支持枠２９……へと係合させる。

「考案の効果」 本考案によれば、断面四角の主部１２１１の内
部を少なくとも上層部ａが突条１２１２に影響さ
れることなく他層部及び外気と気密に遮断されて
上下に層をなす複数層構造に形成しているので、
この中空枠材により天井フイルタ取付用格子を組
んで天井に建て込むことができるが、その際に、
各連結部において、主部の上層部ａ一層にて気密
手段を講じるだけで、天井フイルタ取付用格子全
体としての気密性を簡単に確保できると共に、そ
の気密性は、上層部ａ全般で得られるので確実な
ものとすることができ、そして、この上層部ａに
て合成樹脂等のシール材、液体式シール手段等の
適宜シール手段を講じ且つ吊りボルト、突条１２
１２に適宜支持金物等を取り付けることにより天
井フイルタを簡単に気密に取り付けることがで
き、また、そのように上層部ａだけで気密性を確
保できるから、下層部ｂでは、間仕切壁、照明器
具等の取付けや電気配線等の挿通を、所要のねじ
の螺入や穿孔等に一切気密処理の配慮を要せず
に、常に気密性を維持しつつ簡単に行えて、作業
が極めて容易であり、したがつて、間仕切壁や照
明器具の配置変えも難なく行えて、室内の大幅な
改変にも支障なく対処でき、所期の目的を達成で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は、本考案の実施例で、第１
図は、中空枠材の断面図、第２図は、隅部材の断
面図、第３図は、中空枠材の連結を示す断面図、
第４図は、天井と床のモジユールを示す説明図、
第５図は、天井の一部の拡大仰視図、第６図は、
間仕切壁及びパンチングフエースの取付け状態を
示す要部断面図、第７図は、照明器具の取付けを
示す要部截断斜視図、第８図は、従来例を示す構
成要領断面図である。 １２……天井フイルタ取付用格子、１３……天
井フイルタ、１５……根太、１６……通風性床
材、１８……受材、１９……スタンド、２０……
アジヤスタ、２１……間仕切壁、２６……吊りボ
ルト、２７……ねじ、２８……照明器具、３０…
…パンチングフエース、１２１……中空枠材、１
２２……隅部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 断面四角の中空枠材主部１２１１の上面適所に
   取付け用の突条１２１２を一体に付設して成る中
   空枠材において、その断面四角の主部１２１１の
   内部を少なくとも上層部ａが前記突条１２１２に
   影響されることなく他層部及び外気と気密に遮断
   されて上下に層をなす複数層構造に形成したこと
   を特徴とする中空枠材。