JPH0348706U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0348706U JPH0348706U JP10947889U JP10947889U JPH0348706U JP H0348706 U JPH0348706 U JP H0348706U JP 10947889 U JP10947889 U JP 10947889U JP 10947889 U JP10947889 U JP 10947889U JP H0348706 U JPH0348706 U JP H0348706U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- light source
- light
- half mirror
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図ないし第５図は光ビームの照射角度検出手段１
４の光学的な動作を説明する為の図、第６図は本
考案の基本となる特開昭６２−６１０９号公報で
開示されている微小変化測定装置の構成図である
。 １……光源、３……第１ガラス板、４……第２
ガラス板、９……イメージセンサ、１０……間隔
測定手段、１１……ハーフミラー、１２……光源
保持容器、１３……光軸調整手段、１４……照射
角度検出手段、１５……穴、１６……アパーチヤ
ー部、１７……エリアセンサ、１８……光量測定
手段。
図ないし第５図は光ビームの照射角度検出手段１
４の光学的な動作を説明する為の図、第６図は本
考案の基本となる特開昭６２−６１０９号公報で
開示されている微小変化測定装置の構成図である
。 １……光源、３……第１ガラス板、４……第２
ガラス板、９……イメージセンサ、１０……間隔
測定手段、１１……ハーフミラー、１２……光源
保持容器、１３……光軸調整手段、１４……照射
角度検出手段、１５……穴、１６……アパーチヤ
ー部、１７……エリアセンサ、１８……光量測定
手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 第１平行面ガラス板と、このガラス板に微小距
離を隔てて対向配置された第２平行面ガラス板と
、これら両ガラス板の対向角度を入力信号に基づ
いて微小変化させる手段と、第１ガラス板に直交
し、第２ガラス板を通過する平行光線を照射する
光源手段と、第１、第２ガラス板よりの反射光を
分離するハーフミラー手段と、ハーフミラー手段
からの反射光における干渉縞の暗線間の間隔変化
を検出する間隔測定手段を備えた装置において、 前記光源の光軸を調整する光軸調整手段を設け
ると共に、 前記光源とハーフミラーとの間に、光源からの
光ビームが通過する穴を中央に有し、この穴の周
囲であつてハーフミラーに面した周囲にエリアセ
ンサを有する光ビームの照射角度検出手段を設置
したことを特徴とする微小変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10947889U JPH0348706U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10947889U JPH0348706U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348706U true JPH0348706U (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=31658074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10947889U Pending JPH0348706U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0348706U (ja) |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP10947889U patent/JPH0348706U/ja active Pending
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