JPH0349407A - レベル制御形パルス変調装置 - Google Patents

レベル制御形パルス変調装置

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JPH0349407A
JPH0349407A JP18560089A JP18560089A JPH0349407A JP H0349407 A JPH0349407 A JP H0349407A JP 18560089 A JP18560089 A JP 18560089A JP 18560089 A JP18560089 A JP 18560089A JP H0349407 A JPH0349407 A JP H0349407A
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Tokuji Hasegawa
篤司 長谷川
Tetsuo Tomisato
哲夫 冨里
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 a、産業上の利用分野 本発明は、連続したRF倍信号パルス変調装置に関し、
特に、フィードバック系を介し、パルス変調信号の信号
レベルを制御するパルス変調装置に関する。
b、 従来の技術と発明が解決しようとする課題従来、
この種のパルス変調器はそれ自身フィードバック系を持
たなかったため、外部要因、例えば電源電圧変動や周囲
温度の変化に対して変調出力レベルが変動し、動作が不
安定であるとい問題点があった。
また、前記パルス変調器にフィードバック系を備えたも
のであっても、変調信号レベルが他の原因で変動しパル
ス変調波の立上りが極めて遅いという問題点があった。
このため、前記パルス変調器は、例えばレーザ発振器の
励振用やプラズマ加熱用として、安定した電圧または電
力供給用の装置に使用できなかった。
本発明はかかる点に鑑みなされたもので、その目的は前
記問題点を解消し、連続した高または超高周波信号のパ
ルス変調信号のレベルを一定に制御するとともに、パル
ス変調波の立上りの早いレベル制御形パルス変調装置を
提供することにある。
C6課題を解決するための手段 前記目的を達成するための本発明の構成は、連続した高
または超高周波信号をパルス信号で変調し、これを電圧
制御減衰手段を通して出力するパルス変調装置において
、 その出力したパルス変調信号の一部を例えば、方向性結
合器より分岐してフィードバックし、前記パルス信号分
をアナログ信号として出力するサンプルホールド回路部
と、該アナログ信号を所定のレベル基準信号と比較し、
その差電圧を前記電圧制御減衰手段に出力する差動増幅
回路部とから成り、前記パルス変調信号レベルを一定に
制御するレベル制御形パルス変調装置であることを特徴
とする。
d、 作用 本発明は前記のように構成されており、出力したパルス
変調信号の一部をフィードバックし、サンプルホールド
回路部にてそのパルス信号分を直流化した信号として出
力し、差動増幅回路部にて該信号を、所定レベルとして
設定された基準信号と比較し、この差信号を電圧増幅す
る。
この電圧をパルス変調回路部に接続された電圧制御減衰
器に加えて減衰量を自動的に調整し、パルス変調信号の
レベルを設定値に制御する。
そして、前記差動増幅回路部の入力信号を直流化するこ
とにより、立上りの早いパルス信号に対しての発振やリ
ンギングを防止している。
e、実施例 以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を例示的に
詳しく説明する。
第1図は本発明のレベル制御形パルス変調装置の一実施
例を示すブロック図で、パルス変調信号の電力レベル制
御の場合を示す。
同図において、本装置の入力端子1に連続した周波数例
えば、13.56Mtlz、IWの信号を入力する。こ
の信号は減衰器2で減衰されてパルス変調回路3にて、
端子4からホト・アイソレータ5を通ってきたゲート制
御信号(パルス信号)によりパルス変調される。
このパルス変調信号は、次の電圧制御減衰器6で後記す
る制御電圧で減衰量が調整されて、信号レベルが制御さ
れ、増幅回路7に送出される。この電圧制御減衰器6は
所謂ダブルバランスドミキサ(doublebalan
ced m1xer)であり、加える電圧により減衰量
が調整される。増幅回路7を経たパルス変調信号は可変
減衰器8にて、その最大出力が決定された後、2段の増
幅回路9,10および低減ろ波器(15MHz) 11
を経て出力端子12から出力される。この出力されたパ
ルス変調信号は、図示しない外部の増幅器で電力増幅さ
れ、負荷に供給される。
その際、その出力の一部は図示しない方向性結合器によ
り分岐され、本装置のフィードバック入力端子16に入
力される。この入力信号は、減衰器17で減衰され、検
波回路18で検波され、前記パルス信号に復調される。
このパルス信号はサンプルホールド回路19に入力され
、直流化されたアナログ信号になる。
このサンプルホールド回路19は、他方でサンプルホー
ルドゲート信号として、端子4からホトアイソレータ5
およびサンプルホールド制御回路20を経て、前記パル
ス変調回路3に加えるパルス信号に合ったタイミングで
ゲート制御信号(パルス信号)を受け、前記検波回路1
8からのパルス信号゛を適時、直流化したアナログ信号
値(電圧)として抜き出し、ホールドして次段の演算回
路21に出力する。
この演算回路21は2乗回路であり、制御対象がパルス
変調信号の電力レベルのための演算回路である。
該演算回路21からの出力は差動増幅回路22の一方の
入力端に加えられ、他方の入力端に加えられる基準信号
、と比較される。この基準信号は基準レベルとして設定
するレベル信号であり、端子23からアイソレーション
増幅器24を介して加えられる直流電圧の信号である。
前記差動増幅回路22は、演算回路21からの出力信号
とこの設定されたレベル基準信号との差信号を増幅し、
この出力電圧を前記電圧制御減衰器6に加えて、その減
衰量を調整し、前記パルス変調信号の電力レベルを所定
の一定値に制御するのである。
なお、本実施例において、制御対象がパルス変調信号の
電圧レベル制御である場合には、フィードバック系に接
続されている2乗回路を有する演算回路21を削除すれ
ばよい。
前述のように、パルス変調信号の電力レベル制御したパ
ルス変調装置を、例えばレーザ発振器の動振に適用すれ
ば、パルス立上りの極めて早いレーザ出力を得ることが
できる。また、加速器やプラズマ加熱用に本装置を適用
することにより、安定な電圧または電力を供給すること
ができる。
なお、本発明の技術は前記実施例における技術に限定さ
れるものではなく、同様な機能を果たす他の態様の手段
によっても浅く、また本発明の技術は前記構成の範囲内
において種々の変更、付加が可能である。
f1発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、連続
した高または超高周波信号をパルス信号で変調し、これ
を電圧制御減衰手段を通して出力するパルス変調装置に
おいて、その出力した変調信号の一部をフィードバック
するフィードバック系に、前記パルス信号分をアナログ
信号として出力するサンプルホールド回路部と、該アナ
ログ信号を所定のレベル基準信号と比較し、その差信号
を前記電圧制御減衰手段に出力する差動増幅回路とから
成り、前記パルス変調信号レベルを一定に制御するとと
もに、該パルス変調波の立上りを早くすることができる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のレベル制御形パルス変調回路の一実施
例を示すブロック図である。 3・・・パルス変調回路、 4・・・ゲート制御信号(パルス信号)入力端子、6・
・・電圧制御減衰手段 16・・・フィードバック入力端子、 19・・・サンプルホールド回路、 22・・・差動増幅回路、 23・・・レベル制御信号(直流電圧信号)入力端子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 連続した高または超高周波信号をパルス信号で変調し、
    これを電圧制御減衰手段を通して出力するパルス変調装
    置において、 その出力したパルス変調信号の一部をフィードバックし
    て、前記パルス信号分をアナログ信号として出力するサ
    ンプルホールド回路部と、該アナログ信号を所定のレベ
    ル基準信号と比較し、その差電圧を前記電圧制御減衰手
    段に出力する差動増幅回路部とから成り、前記パルス変
    調信号レベルを一定に制御することを特徴とするレベル
    制御形パルス変調装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112468118A (zh) * 2020-11-17 2021-03-09 北京北方华创微电子装备有限公司 电路组件、信号检测方法和半导体工艺设备
CN115237026A (zh) * 2022-08-09 2022-10-25 天津津航计算技术研究所 一种直流脉冲信号采集电路

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CN112468118A (zh) * 2020-11-17 2021-03-09 北京北方华创微电子装备有限公司 电路组件、信号检测方法和半导体工艺设备
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