JPH0349637B2 - - Google Patents
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- JPH0349637B2 JPH0349637B2 JP13772387A JP13772387A JPH0349637B2 JP H0349637 B2 JPH0349637 B2 JP H0349637B2 JP 13772387 A JP13772387 A JP 13772387A JP 13772387 A JP13772387 A JP 13772387A JP H0349637 B2 JPH0349637 B2 JP H0349637B2
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- Japan
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- cleaning
- cleaned
- air
- cloth
- cylindrical
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- Cleaning In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はフイルム等を製造及び使用するライ
ンにおいて、そのフイルムを清掃する装置に関す
る。
ンにおいて、そのフイルムを清掃する装置に関す
る。
フイルム、プレート等を、清掃ロールを用いて
清掃することは従来から行なわれている。第３図
は従来の装置の構成の説明図、第４図はその気流
の系統図であつて、４８はケーシング筐体、４２
はフイルム、プレート等１０が入つてきたことを
検知するビームスイツチ、Ｒはフイルム、プレー
ト等の移動方向を示している。フイルム、プレー
ト等１０がケーシング４８に入つてくると、ビー
ムスイツチ４２が検知し、清掃ローラ４９、送り
ローラ１５等が駆動され、夫々ローラは矢印ｕ方
向に回転させられる。フイルム、プレート等１０
はまず除電ブラシ５２によつてこすられ、端面に
付着した塵埃が清掃される。フイルム等１０の進
行方向の清掃ローラ４９の手前に高速吹き出しノ
ズル５０が清掃ローラ側に約45°傾いて設けられ、
約80ｍ／secの高速気流Ｇがプレート表面に吹き
付けられ、プレート上の塵埃を吹きとばす。それ
と同時に気流Ｇの風量の約20％の風量の空気ｇを
誘引する。
清掃することは従来から行なわれている。第３図
は従来の装置の構成の説明図、第４図はその気流
の系統図であつて、４８はケーシング筐体、４２
はフイルム、プレート等１０が入つてきたことを
検知するビームスイツチ、Ｒはフイルム、プレー
ト等の移動方向を示している。フイルム、プレー
ト等１０がケーシング４８に入つてくると、ビー
ムスイツチ４２が検知し、清掃ローラ４９、送り
ローラ１５等が駆動され、夫々ローラは矢印ｕ方
向に回転させられる。フイルム、プレート等１０
はまず除電ブラシ５２によつてこすられ、端面に
付着した塵埃が清掃される。フイルム等１０の進
行方向の清掃ローラ４９の手前に高速吹き出しノ
ズル５０が清掃ローラ側に約45°傾いて設けられ、
約80ｍ／secの高速気流Ｇがプレート表面に吹き
付けられ、プレート上の塵埃を吹きとばす。それ
と同時に気流Ｇの風量の約20％の風量の空気ｇを
誘引する。
次にフイルム等１０は清掃ローラ４９に送られ
る。この清掃ローラ４９は送りローラ１５より速
い円周接線速度で回転し、フイルム等１０の速度
と相対速度をもち、フイルム等の表面をこすり、
プレート表面の塵埃を剥離させる。
る。この清掃ローラ４９は送りローラ１５より速
い円周接線速度で回転し、フイルム等１０の速度
と相対速度をもち、フイルム等の表面をこすり、
プレート表面の塵埃を剥離させる。
フイルム等１０は清掃ローラ４９を通過後、清
掃ローラ傾に約45°傾いて設けられた高速吹き出
しノズル５１から吹き出された約80ｍ／secの高
送気流Ｈによりフイルム等１０の表面上の塵埃は
吹きとばされる。同時にＨの吹出風量の約20％の
風量の空気ｈを吸引する。
掃ローラ傾に約45°傾いて設けられた高速吹き出
しノズル５１から吹き出された約80ｍ／secの高
送気流Ｈによりフイルム等１０の表面上の塵埃は
吹きとばされる。同時にＨの吹出風量の約20％の
風量の空気ｈを吸引する。
これらの高速吹き出しノズル５０及び５１より
吹き出される高速気流Ｇ及びＨは、ブロワ６０か
らダクトホース６３を経てプレナムチヤンバ６４
に入り、プレフイルタ６５、HE PAフイルタ６
６、分流チヤンバ６７、を通り分流チヤンバ６７
からダクトホース６８及び６９に分れ、給気チヤ
ンバ５３及び５５に入り、高速吹き出し５０及び
５１より吹き出される。給気チヤンバ５３及び５
５に入つた空気の一部は小孔７０よりノズル５０
及び５１からの吹出風速とほぼ同様の高速で膨張
室５７に入り、膨張、拡散して約0.5ｍ／secの微
風速となり、膨張室７０よりクリーンチヤンバ７
１にゆくが、その際に若干の空気がプレート出口
５８よりケーシング外へ排出される。機外がクリ
ーンルーム等では若干内方に吸引されてもよい。
クリーンチヤンバ７１に入つた空気は高速気流Ｈ
により清掃ローラ４９側へ誘引される気流ｈとな
る。又高送気流Ｇによつてプレート入口側の空気
が誘引気流ｇとなる。高速気流Ｇ及びＨと誘引気
流ｇ及びｈは、吸引チヤンバ５４及び５６よりダ
クトホース７２及び７３を経て集合チヤンバ７４
に入り、ターボブロア６０に戻る。
吹き出される高速気流Ｇ及びＨは、ブロワ６０か
らダクトホース６３を経てプレナムチヤンバ６４
に入り、プレフイルタ６５、HE PAフイルタ６
６、分流チヤンバ６７、を通り分流チヤンバ６７
からダクトホース６８及び６９に分れ、給気チヤ
ンバ５３及び５５に入り、高速吹き出し５０及び
５１より吹き出される。給気チヤンバ５３及び５
５に入つた空気の一部は小孔７０よりノズル５０
及び５１からの吹出風速とほぼ同様の高速で膨張
室５７に入り、膨張、拡散して約0.5ｍ／secの微
風速となり、膨張室７０よりクリーンチヤンバ７
１にゆくが、その際に若干の空気がプレート出口
５８よりケーシング外へ排出される。機外がクリ
ーンルーム等では若干内方に吸引されてもよい。
クリーンチヤンバ７１に入つた空気は高速気流Ｈ
により清掃ローラ４９側へ誘引される気流ｈとな
る。又高送気流Ｇによつてプレート入口側の空気
が誘引気流ｇとなる。高速気流Ｇ及びＨと誘引気
流ｇ及びｈは、吸引チヤンバ５４及び５６よりダ
クトホース７２及び７３を経て集合チヤンバ７４
に入り、ターボブロア６０に戻る。
第４図の気流系統図に示すように、分流チヤン
バ６７の排気孔７５から出た排気EX1及びフイル
ム等の出口５８から出た排気EX2とバランスして
フイルム等の入口側より外気Ｉが入つてくる。
バ６７の排気孔７５から出た排気EX1及びフイル
ム等の出口５８から出た排気EX2とバランスして
フイルム等の入口側より外気Ｉが入つてくる。
(1) 従来の装置は清掃手段が不織布製のローラで
こすつて清掃対象物表面より塵埃を剥離させ、
高速気流により塵埃を吹きとばしている方式で
あるので、10μ以上程度の比較的大きい塵埃に
は有効であつたが清掃対象物表面に高速気流に
よる空気の境界層が発生し、境界層内の小さな
数Ｍ程度の塵埃の除去率は悪かつた。
こすつて清掃対象物表面より塵埃を剥離させ、
高速気流により塵埃を吹きとばしている方式で
あるので、10μ以上程度の比較的大きい塵埃に
は有効であつたが清掃対象物表面に高速気流に
よる空気の境界層が発生し、境界層内の小さな
数Ｍ程度の塵埃の除去率は悪かつた。
(2) 不織布製ローラによるこすりのため柔かいフ
イルム等の清掃対象物表面にキズが発生する欠
点があつた。
イルム等の清掃対象物表面にキズが発生する欠
点があつた。
(3) 不織布製ローラ表面に塵埃が付着してからの
剥離が不十分で塵埃が次第にローラ表面にたい
積して、その塵埃による清掃対象物への再付着
及びその塵埃による柔かいフイルム等の清掃対
象物表面にキズをつけることがあつた。
剥離が不十分で塵埃が次第にローラ表面にたい
積して、その塵埃による清掃対象物への再付着
及びその塵埃による柔かいフイルム等の清掃対
象物表面にキズをつけることがあつた。
(4) また清掃対象物が固いプレート状の物の場
合、多少のソリなどがあり不織布製ローラの弾
性が追従しないとき、あるいは追従しても清掃
対象物を強くこする所と弱くこする所とができ
るとき、清掃度の分布が悪かつた。
合、多少のソリなどがあり不織布製ローラの弾
性が追従しないとき、あるいは追従しても清掃
対象物を強くこする所と弱くこする所とができ
るとき、清掃度の分布が悪かつた。
この発明は従来の欠点を解消するために、円筒
状の布等の清掃手段をフイルム等の清掃対象物に
互に接するよう清掃対象物の上下に配置し、円筒
形布等の内側に送風、加圧し円筒形を保持させ、
その清掃手段を挟んで清掃対象物の移動方向に対
し斜め前方及び斜め後方に吹出す高速空気吹出ノ
ズルを清掃対象物の上面及び下面側に一対持ち、
そのノズルから高速清浄空気を吹出すと共に、円
筒状清掃手段の上下に排気ダクトチヤンバーを配
置するようにしたものである。
状の布等の清掃手段をフイルム等の清掃対象物に
互に接するよう清掃対象物の上下に配置し、円筒
形布等の内側に送風、加圧し円筒形を保持させ、
その清掃手段を挟んで清掃対象物の移動方向に対
し斜め前方及び斜め後方に吹出す高速空気吹出ノ
ズルを清掃対象物の上面及び下面側に一対持ち、
そのノズルから高速清浄空気を吹出すと共に、円
筒状清掃手段の上下に排気ダクトチヤンバーを配
置するようにしたものである。
この発明は基本的な構成は第３図、第４図に示
す従来の装置と同じであるが、清掃手段のところ
で相異するものである。第１図はこの発明の構成
の概念的説明図、第２図は清掃部分の拡大説明図
であつて、フイルム等の清掃対象物は矢印Ｒの如
く送られる。（上述の如くこの発明の構成は第３
図、第４図に図示のものと基本的に同様であり第
１図には要部以外の詳細構成の図示は省略されて
いる。）図において１はケーシング筺体、２，
２′は給気ダクトホース、３，３′は給気チヤン
バ、４，４′は空気吹出しノズル、５，５′は排気
ダクトチヤンバ、６，６′は排気ダクトホース、
７，７′は布製ローラである清掃ローラである。
す従来の装置と同じであるが、清掃手段のところ
で相異するものである。第１図はこの発明の構成
の概念的説明図、第２図は清掃部分の拡大説明図
であつて、フイルム等の清掃対象物は矢印Ｒの如
く送られる。（上述の如くこの発明の構成は第３
図、第４図に図示のものと基本的に同様であり第
１図には要部以外の詳細構成の図示は省略されて
いる。）図において１はケーシング筺体、２，
２′は給気ダクトホース、３，３′は給気チヤン
バ、４，４′は空気吹出しノズル、５，５′は排気
ダクトチヤンバ、６，６′は排気ダクトホース、
７，７′は布製ローラである清掃ローラである。
加圧空気は布製ローラ７，７′の内部にも吹き
こまれ、ローラを円筒状に保ち、布地の織目の繊
維間のスキ間を通つて外部に均一に逸出する。上
下のローラは距離を調節することができる。布は
目のつんだ柔かいもの（例えばクリーンルーム用
ワイピングクロス）を用いる。
こまれ、ローラを円筒状に保ち、布地の織目の繊
維間のスキ間を通つて外部に均一に逸出する。上
下のローラは距離を調節することができる。布は
目のつんだ柔かいもの（例えばクリーンルーム用
ワイピングクロス）を用いる。
第２図の拡大図で説明すると、給気ダクト３，
３′内の清浄圧力空気Ｐはノズル４，４′から図の
場合は斜め後方に吹出している。吹出気流はＢで
示される。又クリーンルーム内からの誘引気流Ａ
が生じる。一方布製の清掃ローラ７，７′内に清
浄空気が導かれ、ローラをふくらませて円筒形に
保ち、繊維間を通つて外部へ均一に出てゆく。布
貫通吹出気流はＣで示される。ローラは図示の如
く長さＬの範囲で清掃対象物１０と接触してい
る。この状態は前記した如くローラの間隔を変え
ることにより、調節することができる。フイルム
等の清掃対象物表面の付着塵埃は布との摩擦によ
り、そのエネルギーでフイルム等の清掃対象物よ
り剥離し布の織目と清掃対象物との間の隙間を流
れる高速気流により吹きとばされ、その隙間を出
て、水平方向気流Ｄとなる。この気流Ｄとノズル
４，４′からの吹出気流Ｂと衝突し垂直上向気流
Ｅとなり、排気ダクトチヤンバ５，５′に入り、
排気ダクトホース６，６′に還流Ｆとして入り、
送風機に還流する。この気流の循環は基本的には
第４図と同様である。水平方向気流Ｄの速度より
ノズルからの吹出気流Ｂの方の気流速度を早くす
れば、室内に塵埃が出ず、クリーンルームの室内
を汚染することは防止できる。
３′内の清浄圧力空気Ｐはノズル４，４′から図の
場合は斜め後方に吹出している。吹出気流はＢで
示される。又クリーンルーム内からの誘引気流Ａ
が生じる。一方布製の清掃ローラ７，７′内に清
浄空気が導かれ、ローラをふくらませて円筒形に
保ち、繊維間を通つて外部へ均一に出てゆく。布
貫通吹出気流はＣで示される。ローラは図示の如
く長さＬの範囲で清掃対象物１０と接触してい
る。この状態は前記した如くローラの間隔を変え
ることにより、調節することができる。フイルム
等の清掃対象物表面の付着塵埃は布との摩擦によ
り、そのエネルギーでフイルム等の清掃対象物よ
り剥離し布の織目と清掃対象物との間の隙間を流
れる高速気流により吹きとばされ、その隙間を出
て、水平方向気流Ｄとなる。この気流Ｄとノズル
４，４′からの吹出気流Ｂと衝突し垂直上向気流
Ｅとなり、排気ダクトチヤンバ５，５′に入り、
排気ダクトホース６，６′に還流Ｆとして入り、
送風機に還流する。この気流の循環は基本的には
第４図と同様である。水平方向気流Ｄの速度より
ノズルからの吹出気流Ｂの方の気流速度を早くす
れば、室内に塵埃が出ず、クリーンルームの室内
を汚染することは防止できる。
なおその他の手段として真空吸引、あるいは物
理的遮蔽などでもよい。又フイルム等の清掃対象
物よりも柔かい材質の布を選定すれば、拭き取り
による摩擦でのキズの発生を防止できる。さらに
フイルム等の清掃対象物の表面に境界層が発生し
ようとしても、布の織目の凹凸、及び布の繊維の
ケバ凹凸等により、その発達が阻害され、境界層
を作りにくくしている。そのため、従来は、境界
層内の比較的小さな塵埃粒子は風だけでは剥離で
きず、除去できなかつた。しかしこの発明では織
目の凹凸、繊維のケバの凹凸によりその境界層を
破壊し比較的小さな塵埃粒子も除去可能となる。
図においてＫは塵埃を示している。
理的遮蔽などでもよい。又フイルム等の清掃対象
物よりも柔かい材質の布を選定すれば、拭き取り
による摩擦でのキズの発生を防止できる。さらに
フイルム等の清掃対象物の表面に境界層が発生し
ようとしても、布の織目の凹凸、及び布の繊維の
ケバ凹凸等により、その発達が阻害され、境界層
を作りにくくしている。そのため、従来は、境界
層内の比較的小さな塵埃粒子は風だけでは剥離で
きず、除去できなかつた。しかしこの発明では織
目の凹凸、繊維のケバの凹凸によりその境界層を
破壊し比較的小さな塵埃粒子も除去可能となる。
図においてＫは塵埃を示している。
布の接触部Ｌの範囲で塵埃を除去するのである
が、塵埃粒子が布に付着しようとしても布の織目
や繊維間から清浄空気が吹き出しているので付着
しにくい。勿論長時間使用すれば、少しづつ蓄積
され、最後は取り替える必要がある。円筒形清掃
ローラ７を図のａ又はｂ方向に回転させることに
より布の凹凸面が動き、さらに小さな粒子も除去
することができる。又接触部分以外の円形布の全
周を使うので拭き取り及び布への塵埃粒子の付着
防止効果が高まり、円筒形清掃ローラの寿命を長
くすることが可能である。
が、塵埃粒子が布に付着しようとしても布の織目
や繊維間から清浄空気が吹き出しているので付着
しにくい。勿論長時間使用すれば、少しづつ蓄積
され、最後は取り替える必要がある。円筒形清掃
ローラ７を図のａ又はｂ方向に回転させることに
より布の凹凸面が動き、さらに小さな粒子も除去
することができる。又接触部分以外の円形布の全
周を使うので拭き取り及び布への塵埃粒子の付着
防止効果が高まり、円筒形清掃ローラの寿命を長
くすることが可能である。
円筒形布清掃ローラ内に内圧がかかり、パスカ
ルの原理で均一に清掃対象物に押しあてることが
でき、清掃対象物に多少のソリ、ウネリがあつて
も均一に清掃でき清掃度分布がよくなる。又上下
の円筒形布清掃ローラの間隔を可変にすることに
より接触線Ｌ寸法が変化し、水平方向気流の速度
が変化し、さらに拭き取り面積が増減し、清掃度
をコントロールできる。さらに円筒形布清掃ロー
ラの回転数を可変にすることにより清掃度や、布
への塵埃粒子の付着防止及び布へ付着しても布か
ら塵埃が剥離、飛散する割合などをコントロール
でき、布の寿命をコントロールできる。その上、
円筒布清掃ローラの内圧を変えて、清掃度、塵埃
付着度、布の寿命などをコントロールできる。
ルの原理で均一に清掃対象物に押しあてることが
でき、清掃対象物に多少のソリ、ウネリがあつて
も均一に清掃でき清掃度分布がよくなる。又上下
の円筒形布清掃ローラの間隔を可変にすることに
より接触線Ｌ寸法が変化し、水平方向気流の速度
が変化し、さらに拭き取り面積が増減し、清掃度
をコントロールできる。さらに円筒形布清掃ロー
ラの回転数を可変にすることにより清掃度や、布
への塵埃粒子の付着防止及び布へ付着しても布か
ら塵埃が剥離、飛散する割合などをコントロール
でき、布の寿命をコントロールできる。その上、
円筒布清掃ローラの内圧を変えて、清掃度、塵埃
付着度、布の寿命などをコントロールできる。
(1) 従来の装置では10μ程度であつたが、この発
明では数μ程度の小さな塵埃も除去できる。
明では数μ程度の小さな塵埃も除去できる。
(2) 清掃対象物表面にキズがつかない。
(3) 円筒状清掃手段布に塵埃がつきにくい。
(4) 清掃対象物に多少のソリがあつても均一に清
掃でき、清掃度分布がよくなる。
掃でき、清掃度分布がよくなる。
(5) 円筒状布等の内圧、回転数、回転方向、及び
上下の間隔を調節することにより、清掃度、清
掃手段の表面に付着した塵埃の剥離度をコント
ロールできる。
上下の間隔を調節することにより、清掃度、清
掃手段の表面に付着した塵埃の剥離度をコント
ロールできる。
第１図はこの発明の装置の構成の説明図、第２
図は清掃部分の拡大図、第３図は従来の装置の説
明図、第４図はその気流系統図である。 符号の説明、１……ケーシング筐体、２……給
気ダクトホース、３……給気チヤンバ、４……吹
出しノズル、５……排気ダクトチヤンバ、６……
排気ダクトホース、７……円筒状布清掃ローラ。
図は清掃部分の拡大図、第３図は従来の装置の説
明図、第４図はその気流系統図である。 符号の説明、１……ケーシング筐体、２……給
気ダクトホース、３……給気チヤンバ、４……吹
出しノズル、５……排気ダクトチヤンバ、６……
排気ダクトホース、７……円筒状布清掃ローラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フイルム等の清掃装置において、円筒状の布
等の清掃手段を清掃対象物に互に接するよう清掃
対象物の上下に配置し、円筒状布等の内側に送
風、加圧し円筒形を保持させ、その清掃手段を挟
んで清掃対象物の移動方向に対し、斜め前方及び
斜め後方に吹出す高速空気吹出ノズルを清掃対象
物の上面及び下面に一対持ち、そのノズルから高
速清浄空気を吹出すと共に、円筒状清掃手段の上
下に排気ダクトチヤンバーを配置したことを特徴
とするフイルム等の清掃装置。 ２ 前記の円筒状清掃手段を回転させることを特
徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のフイル
ム等の清掃装置。 ３ 円筒状清掃手段を上下に移動できるようにし
たことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記
載のフイルム等の清掃装置。 ４ 円筒状清掃手段の内圧を調整できるようにし
たことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記
載のフイルム等の清掃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13772387A JPS63302983A (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | フイルム等の清掃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13772387A JPS63302983A (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | フイルム等の清掃装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63302983A JPS63302983A (ja) | 1988-12-09 |
| JPH0349637B2 true JPH0349637B2 (ja) | 1991-07-30 |
Family
ID=15205322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13772387A Granted JPS63302983A (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | フイルム等の清掃装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63302983A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016063940A1 (ja) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | 三菱レイヨン株式会社 | 異物の除去方法及び異物の除去装置 |
-
1987
- 1987-06-02 JP JP13772387A patent/JPS63302983A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63302983A (ja) | 1988-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |