JPH0350049U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0350049U JPH0350049U JP11060489U JP11060489U JPH0350049U JP H0350049 U JPH0350049 U JP H0350049U JP 11060489 U JP11060489 U JP 11060489U JP 11060489 U JP11060489 U JP 11060489U JP H0350049 U JPH0350049 U JP H0350049U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- spring
- ring
- film forming
- tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による成膜装置の要
部を示す断面図、第２図は本考案の他の実施例に
よる成膜装置の要部を示す断面図、第３図はスパ
ツタリング装置の構成例を示す模式側面図、第４
図は基板電極にウエーハを保持せしめる従来の主
要構造の詳細を示す断面図、第５図は第４図に示
すウエーハ保持構造を主要構成に分解した斜視図
、である。 図中において、５……基板電極（成膜用基板）
、８……ターゲツト、１１……ウエーハ、１２，
３２……ウエーハホルダ、１３……リング形状の
ばね、１４……リング形状ばねの突片、２１……
トレー、２２……透孔、２３……スカート、を示
す。
部を示す断面図、第２図は本考案の他の実施例に
よる成膜装置の要部を示す断面図、第３図はスパ
ツタリング装置の構成例を示す模式側面図、第４
図は基板電極にウエーハを保持せしめる従来の主
要構造の詳細を示す断面図、第５図は第４図に示
すウエーハ保持構造を主要構成に分解した斜視図
、である。 図中において、５……基板電極（成膜用基板）
、８……ターゲツト、１１……ウエーハ、１２，
３２……ウエーハホルダ、１３……リング形状の
ばね、１４……リング形状ばねの突片、２１……
トレー、２２……透孔、２３……スカート、を示
す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハ１１の周縁部が嵌合するリング形状の
ウエーハホルダ１２，３２、該ウエーハホルダ１
２，３２を介して該ウエーハ１１を成膜用基板５
に押し付けるリング形状のばね１３、該ばね１３
を保持するトレー２１、該ウエーハ１１に対向す
るターゲツト８を具え、 該ウエーハ１１の成膜領域が表呈する透孔２２
のあけられた該トレー２１には、該ばね１３およ
び該ウエーハホルダ１２，３２を覆うスカート２
３が、該透孔２２の内縁に設けられてなることを
特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11060489U JPH0350049U (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11060489U JPH0350049U (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350049U true JPH0350049U (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=31659129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11060489U Pending JPH0350049U (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0350049U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001218799A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-14 | Azuma:Kk | 車椅子形成機能併備の介護用ベッド |
-
1989
- 1989-09-21 JP JP11060489U patent/JPH0350049U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001218799A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-14 | Azuma:Kk | 車椅子形成機能併備の介護用ベッド |