JPH0350167A - セラミック部品と金属部品との加圧接合方法 - Google Patents
セラミック部品と金属部品との加圧接合方法Info
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- JPH0350167A JPH0350167A JP18318589A JP18318589A JPH0350167A JP H0350167 A JPH0350167 A JP H0350167A JP 18318589 A JP18318589 A JP 18318589A JP 18318589 A JP18318589 A JP 18318589A JP H0350167 A JPH0350167 A JP H0350167A
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- Japan
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- ceramic
- ring
- metal
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F21/00—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials
- F28F21/04—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials of ceramic; of concrete; of natural stone
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
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- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、セラミ・ツク部品と金属部品の接合構造に
関するものである。
関するものである。
[従来の技術]
一般に、セラミックスは金属に比べて熱膨張係数が小さ
いので、高温で使用したりあるいは熱サイクルを受ける
セラミック部品と金属部品の接合構造においては、両者
の接合界面に生じる熱応力を緩和することが必1となる
。このための手段としては、両者の間に中間の熱膨張係
数を有する材料を介在させたり、両者の接合界面に軟質
金属を介在させたり、金属部品をアルミニウムのような
軟質金属で構成したりすることが知られている。
いので、高温で使用したりあるいは熱サイクルを受ける
セラミック部品と金属部品の接合構造においては、両者
の接合界面に生じる熱応力を緩和することが必1となる
。このための手段としては、両者の間に中間の熱膨張係
数を有する材料を介在させたり、両者の接合界面に軟質
金属を介在させたり、金属部品をアルミニウムのような
軟質金属で構成したりすることが知られている。
また、かかるセラミック部品と金属部品の接合構造は、
エンジン部品やナトリウムを熱媒体とする熱交換器の7
リング部に利用される0例えば、このフランジ部におい
ては、第5図に示すようにアルミナ製のリング1により
アルミニウム製配管側金具3とアルミニウム製熱交換器
側金具5とが電気的に絶縁状態で結合され、前記アルミ
ナリング1と熱交換器側金具5及び配管側金具3とはA
JI製ろう材しての中間接合リング2.4を介して接合
される。この場合、前記配管側金具3の下側及び熱交換
器側金具5の上側には、熱応力緩衝を目的とした他部分
は接合されていなかった。
エンジン部品やナトリウムを熱媒体とする熱交換器の7
リング部に利用される0例えば、このフランジ部におい
ては、第5図に示すようにアルミナ製のリング1により
アルミニウム製配管側金具3とアルミニウム製熱交換器
側金具5とが電気的に絶縁状態で結合され、前記アルミ
ナリング1と熱交換器側金具5及び配管側金具3とはA
JI製ろう材しての中間接合リング2.4を介して接合
される。この場合、前記配管側金具3の下側及び熱交換
器側金具5の上側には、熱応力緩衝を目的とした他部分
は接合されていなかった。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、上記従来のフランジ部の接合構造においては
、室温と例えば350℃の高温との間で繰り返し熱サイ
クルを受けると、前述したようにアルミナリング1と熱
交換器側金具5との熱膨張率の違いにより、両者の接合
界面付近に熱応力が発生し、この熱応力により接合界面
の局部的剥離が生じて、接合界面の気密性が低下し熱交
換器の耐久性が低下するという問題があった。
、室温と例えば350℃の高温との間で繰り返し熱サイ
クルを受けると、前述したようにアルミナリング1と熱
交換器側金具5との熱膨張率の違いにより、両者の接合
界面付近に熱応力が発生し、この熱応力により接合界面
の局部的剥離が生じて、接合界面の気密性が低下し熱交
換器の耐久性が低下するという問題があった。
この発明の目的は、セラミック部品と金属部品との間の
接合界面に熱サイクルが作用した場合に、接合界面に発
生する熱応力を緩和し、接合界面の耐剥離強度を向上す
ることができるセラミック部品と金属部品の接合構造を
提供することにある。
接合界面に熱サイクルが作用した場合に、接合界面に発
生する熱応力を緩和し、接合界面の耐剥離強度を向上す
ることができるセラミック部品と金属部品の接合構造を
提供することにある。
[I原題を解決するための手段]
この発明は上記目的を達成するため、セラミ・ツク部品
と金属部品を接合し、該金属部品の前記セラミック部品
の少なくとも一つの反対側表面に該セラミック部品と同
材質の熱応力緩衝セラミック部品を接合するという手段
をとっている。
と金属部品を接合し、該金属部品の前記セラミック部品
の少なくとも一つの反対側表面に該セラミック部品と同
材質の熱応力緩衝セラミック部品を接合するという手段
をとっている。
この場合に、前記熱応力緩衝セラミック部品の厚さを前
記金属部品の厚さと同じかそれ以上にするとよい。
記金属部品の厚さと同じかそれ以上にするとよい。
[作用]
この発明は、金属部品のセラミック部品との接合面の反
対側表面に熱応力緩衝セラミック部品を接合して固定し
たので、これらの部品が繰り返し熱サイクルを受けた場
合に、熱膨張の大きい金属部品の熱膨張を、熱膨張の小
さい熱応力[衝セラミック部品で抑制する。このためセ
ラミック部品と金属部品との接合界面に発生する熱応力
が効果的に緩和され、セラミック部品と金属部品の接合
界面の接合強度ならびに接合界面の気密性が長期にわた
り安定して保持される。
対側表面に熱応力緩衝セラミック部品を接合して固定し
たので、これらの部品が繰り返し熱サイクルを受けた場
合に、熱膨張の大きい金属部品の熱膨張を、熱膨張の小
さい熱応力[衝セラミック部品で抑制する。このためセ
ラミック部品と金属部品との接合界面に発生する熱応力
が効果的に緩和され、セラミック部品と金属部品の接合
界面の接合強度ならびに接合界面の気密性が長期にわた
り安定して保持される。
[実施例]
以下、この発明を具体化した一実施例を第1〜第4図に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
第1.2図に示すようにセラミック部品としてのα−ア
ルミナよりなるリング1の下端面1aおよび上端面1b
には、ろう材としてのAj−3t合金製の中間接合リン
グ2及び4を介して、金属部材としてのAj製製管管側
金具3びA1製熱交換器側金具5のフランジ部3a及び
5aが後に詳述する加圧ろう付は方法で固定されている
。前記配管側金具3のランジ部3a下面及び前記熱交換
器側金具5のフランジ部5a上部には、同じくろう材と
してのAJI合金製の中間接合リング6.8を介して前
記アルミナリング1を形成するα−アルミナと同材質の
熱応力緩衝セラミック部品としての熱応力[ffセラミ
ックリング7.9が、後に詳述する加圧ろう付は方法で
固定されている。
ルミナよりなるリング1の下端面1aおよび上端面1b
には、ろう材としてのAj−3t合金製の中間接合リン
グ2及び4を介して、金属部材としてのAj製製管管側
金具3びA1製熱交換器側金具5のフランジ部3a及び
5aが後に詳述する加圧ろう付は方法で固定されている
。前記配管側金具3のランジ部3a下面及び前記熱交換
器側金具5のフランジ部5a上部には、同じくろう材と
してのAJI合金製の中間接合リング6.8を介して前
記アルミナリング1を形成するα−アルミナと同材質の
熱応力緩衝セラミック部品としての熱応力[ffセラミ
ックリング7.9が、後に詳述する加圧ろう付は方法で
固定されている。
この実施例では、アルミナリング1として純度99.9
wt%以上のα−アルミナを使用し、熱交換器側金具5
及び配管側金具3として、表1記載の組成を有するJI
S−A3003あるいはJIS−A6061を使用して
いる。これらのAj金合金は、微量の不可避な不純物が
含まれている。
wt%以上のα−アルミナを使用し、熱交換器側金具5
及び配管側金具3として、表1記載の組成を有するJI
S−A3003あるいはJIS−A6061を使用して
いる。これらのAj金合金は、微量の不可避な不純物が
含まれている。
また、熱応力緩衝セラミックリング7.9としては、前
記アルミナリング1と同材質のα−アルミナを使用した
。
記アルミナリング1と同材質のα−アルミナを使用した
。
(以下余白)
表1
さらに、前記中間接合リング2,4,6.8は、Ajを
主成分とし、S i : 6〜l 3wt%、Mg:3
.0wt%以下、その他不可避な不純物を含む合金によ
り形成されている。この中間接合リング2.4.6.8
の材料として、各種の市販アルミニウムろうが使用でき
るが、Aj−3i −Mg系ろうであるJ I 5−B
A4004あるいはBA4004を皮材とし、A300
3を芯材とするプレージングシート(J I 5−BA
I 8PC)の使用が好ましい。
主成分とし、S i : 6〜l 3wt%、Mg:3
.0wt%以下、その他不可避な不純物を含む合金によ
り形成されている。この中間接合リング2.4.6.8
の材料として、各種の市販アルミニウムろうが使用でき
るが、Aj−3i −Mg系ろうであるJ I 5−B
A4004あるいはBA4004を皮材とし、A300
3を芯材とするプレージングシート(J I 5−BA
I 8PC)の使用が好ましい。
次に、第3図及び第4図に基づいてアルミナリング1と
配管側金具3及び熱交換器側金具5、さらに熱応力[[
rセラミックリング7.9などの加圧ろう付は方法につ
いて説明する。
配管側金具3及び熱交換器側金具5、さらに熱応力[[
rセラミックリング7.9などの加圧ろう付は方法につ
いて説明する。
第3図に示すように、加熱装置(図示路)内において、
アルミナリング1の上下両端面にAj−3l−Mg系合
金からなる中間接合リング4.2を介して熱交換器側金
具5と配管側金具3を当接し、さらに配管側金具3の下
面にはAj−3i−Mg系合金からなる中間接合リング
6を介して熱応力緩衝セラミックリング7を当接し、熱
交換器側金具5の上面にはAj−31−Mg系合金から
なる中間接合リング8を介して熱応力緩衝セラミックリ
ング9を当接した状態で、該熱応力緩衝セラミックリン
グ7.9の表面を加圧治具10゜11により挾持する。
アルミナリング1の上下両端面にAj−3l−Mg系合
金からなる中間接合リング4.2を介して熱交換器側金
具5と配管側金具3を当接し、さらに配管側金具3の下
面にはAj−3i−Mg系合金からなる中間接合リング
6を介して熱応力緩衝セラミックリング7を当接し、熱
交換器側金具5の上面にはAj−31−Mg系合金から
なる中間接合リング8を介して熱応力緩衝セラミックリ
ング9を当接した状態で、該熱応力緩衝セラミックリン
グ7.9の表面を加圧治具10゜11により挾持する。
この状態で加熱装置内部を排気して真空状態にするとと
もに、第4図に示すように、600℃まで加熱し、次に
600℃で所定時間保持して被ろう付は郡全体の温度を
均一にしたのち、約2℃/minの降温速度で温度を低
下させ、温度が580℃に達した時点で0.5kgf/
III”の圧力を加圧治具10.11により加え、温度
が520℃に達するまで加圧状態をそのまま維持し、そ
の後温度が400″Cまで低下したら、400℃で所定
時間保持して焼きなましを行なったのち冷却させる。こ
の加圧は中間接合リングを構成する金属材料の液相線温
度と同相線温度の間の温度で開始し、同相線以下の温度
まで継続する。
もに、第4図に示すように、600℃まで加熱し、次に
600℃で所定時間保持して被ろう付は郡全体の温度を
均一にしたのち、約2℃/minの降温速度で温度を低
下させ、温度が580℃に達した時点で0.5kgf/
III”の圧力を加圧治具10.11により加え、温度
が520℃に達するまで加圧状態をそのまま維持し、そ
の後温度が400″Cまで低下したら、400℃で所定
時間保持して焼きなましを行なったのち冷却させる。こ
の加圧は中間接合リングを構成する金属材料の液相線温
度と同相線温度の間の温度で開始し、同相線以下の温度
まで継続する。
この場合の加圧力は、0 、05 k(If/i11”
〜2.0kof/nn2であれば接合強度に差は生じな
い。
〜2.0kof/nn2であれば接合強度に差は生じな
い。
このようにしてアルミナリング1に加圧ろうrtけされ
た熱交換器側金具5及び配管側金具3には、それぞれ熱
応力緩衝セラミックリング9.7が接合されているため
、室温と高温(350℃)との間の熱サイクルを繰り返
し与えても、接合界面の剥離は起こらない。なお、セラ
ミック部品と金属部品の接合界面に発生する熱応力は、
前述の如く、両部品を構成するセラミック材料と金属材
料の熱膨張係数の違いに起因して、接合温度からの冷却
途中で発生するとともに、該熱応力の大きさは、金属部
品の形状によって大きく変化する。従って、上記熱応力
緩衝セラミックリングの接合は、セラミック部品と金属
部品の接合界面のうち、接合界面の特性を劣化させるよ
うな大きさの熱応力が発生ずる接合界面に対してのみ行
うだけでよい場合もある6例えば、第3図に示した接合
構造においては、第2図に示した要部の分解斜視図から
明らかな如く、熱交換器側金具5と配管n1金具3とは
形状が異なり、熱交換H側合具5とアルミナリング1と
の接合界面に発生ずる熱応力の方が、配管側金具3とア
ルミナリング1との接合界面に発生する熱応力より大き
くなる。従って、第3図の接合構造においては、使用条
件または熱サイクル条件によっては、熱交換器側金具5
のアルミナリング1との接合界面の反対側表面にのみ熱
応力yi街セラミックリング9を接合し、配管側金具3
とアルミナリング1との接合界面の反対側表面に上記熱
応力緩衝セラミックリング7を接合しない構造としても
よい。
た熱交換器側金具5及び配管側金具3には、それぞれ熱
応力緩衝セラミックリング9.7が接合されているため
、室温と高温(350℃)との間の熱サイクルを繰り返
し与えても、接合界面の剥離は起こらない。なお、セラ
ミック部品と金属部品の接合界面に発生する熱応力は、
前述の如く、両部品を構成するセラミック材料と金属材
料の熱膨張係数の違いに起因して、接合温度からの冷却
途中で発生するとともに、該熱応力の大きさは、金属部
品の形状によって大きく変化する。従って、上記熱応力
緩衝セラミックリングの接合は、セラミック部品と金属
部品の接合界面のうち、接合界面の特性を劣化させるよ
うな大きさの熱応力が発生ずる接合界面に対してのみ行
うだけでよい場合もある6例えば、第3図に示した接合
構造においては、第2図に示した要部の分解斜視図から
明らかな如く、熱交換器側金具5と配管n1金具3とは
形状が異なり、熱交換H側合具5とアルミナリング1と
の接合界面に発生ずる熱応力の方が、配管側金具3とア
ルミナリング1との接合界面に発生する熱応力より大き
くなる。従って、第3図の接合構造においては、使用条
件または熱サイクル条件によっては、熱交換器側金具5
のアルミナリング1との接合界面の反対側表面にのみ熱
応力yi街セラミックリング9を接合し、配管側金具3
とアルミナリング1との接合界面の反対側表面に上記熱
応力緩衝セラミックリング7を接合しない構造としても
よい。
次に、この発明の別の実施例(実施例2)を説明する。
この実施例では、中間接合リング2.4,6゜8の材質
を純度99.9wt%以上の純アルミニウムとするとと
もに、熱交換器側金具5及び配管側金具3をアルミニウ
ム合金(JIS−A3003)で製造し、前記実施例と
同じ形状のig4逍木を構成したのち、前記実施例と同
じ加熱装置を使用して、600℃まで加熱して所定時間
保持したのち、2 、 Okgf/vw2の圧力を加圧
治具10.11により加え、その後温度を400℃まで
低下させ、400℃で所定の焼きなましを行ってから冷
却した。この実施例では、接合が中間接合リングである
純アルミニウムの融点(660℃)以下の温度で達成さ
れており、いわゆる固相接合により中間接合リングと各
部品の接合がなされていることになる。
を純度99.9wt%以上の純アルミニウムとするとと
もに、熱交換器側金具5及び配管側金具3をアルミニウ
ム合金(JIS−A3003)で製造し、前記実施例と
同じ形状のig4逍木を構成したのち、前記実施例と同
じ加熱装置を使用して、600℃まで加熱して所定時間
保持したのち、2 、 Okgf/vw2の圧力を加圧
治具10.11により加え、その後温度を400℃まで
低下させ、400℃で所定の焼きなましを行ってから冷
却した。この実施例では、接合が中間接合リングである
純アルミニウムの融点(660℃)以下の温度で達成さ
れており、いわゆる固相接合により中間接合リングと各
部品の接合がなされていることになる。
次に、この発明のさらに別の実施例(実施例3)を説明
する。
する。
この実施例では、中間接合リング2,4.6゜8の材質
を実施例1と同じアルミニウム合金とし、熱交換器側金
具5及び配管側金具3を炭素鋼で製造し、前記実施例1
と同じ形状の構造体を構成したのち、前記実施例1と同
じ方法で接合した。
を実施例1と同じアルミニウム合金とし、熱交換器側金
具5及び配管側金具3を炭素鋼で製造し、前記実施例1
と同じ形状の構造体を構成したのち、前記実施例1と同
じ方法で接合した。
一方、従来例として、上記実施例と同じ材料からなる部
品を組合せ、熱応力tiitiセラミックリング7.9
がない接合体を生成した。
品を組合せ、熱応力tiitiセラミックリング7.9
がない接合体を生成した。
これらの各種実施例と従来例の接合体について、室温と
350℃の間の温度における熱サイクル試験を行い、接
合部の気密性の劣化の有無をヘリウムリーク試験で検査
した結果を表2に示″°じた;表2から明らかな如く、
本発明の実施例1では、熱サイクルの繰り返し数が30
0回までは、ヘリウムリークの発生頻度は0であった。
350℃の間の温度における熱サイクル試験を行い、接
合部の気密性の劣化の有無をヘリウムリーク試験で検査
した結果を表2に示″°じた;表2から明らかな如く、
本発明の実施例1では、熱サイクルの繰り返し数が30
0回までは、ヘリウムリークの発生頻度は0であった。
また、本発明の実施例2では熱サイクルの繰り返し数4
00回までは、ヘリウムリークの発生頻度は0であった
。
00回までは、ヘリウムリークの発生頻度は0であった
。
さらにまた、本発明の実施例3でも、熱サイクルの繰り
返し数が300回までは、ヘリウムリークの発生頻度は
0であった。これに対し、本発明の実施例と同じ材質の
部品を組合せ、該実施例と熱応力M衝セラミックリング
のない点だけが興なる従来例1〜3の内、従来例1と2
においては100回熱サイクルで5細巾1個がヘリウム
リークを生じた。また、従来例3においては、50回の
熱サイクルで5細巾1個がヘリウムリークを生じた。
返し数が300回までは、ヘリウムリークの発生頻度は
0であった。これに対し、本発明の実施例と同じ材質の
部品を組合せ、該実施例と熱応力M衝セラミックリング
のない点だけが興なる従来例1〜3の内、従来例1と2
においては100回熱サイクルで5細巾1個がヘリウム
リークを生じた。また、従来例3においては、50回の
熱サイクルで5細巾1個がヘリウムリークを生じた。
表2
表2の結果から明らかな如く、本発明の実施例の方が従
来例より耐熱サイクル性が優れていることが判る。
来例より耐熱サイクル性が優れていることが判る。
なお、この発明は、前述した熱交換器以外の例えば、電
子管部品、エンジン部品などにおいて、繰り返し熱サイ
クルを受けるセラミック部品と金属部品との接合構造に
具体化することもできる。
子管部品、エンジン部品などにおいて、繰り返し熱サイ
クルを受けるセラミック部品と金属部品との接合構造に
具体化することもできる。
この発明を構成する金属部品は少なくとも炭素鋼、ステ
ンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、銅ならび
に調合°金よりなる群から選ばれた一種の金属材料で構
成することが好ましく、アルミニウムあるいはアルミニ
ウム合金などの軟質金属とするのがより好ましい、さら
に、これらの金属材料に耐食性あるいは耐摩耗性を付与
するために、表面に被覆層が設けられている材料も本発
明に含まれるものとする。
ンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、銅ならび
に調合°金よりなる群から選ばれた一種の金属材料で構
成することが好ましく、アルミニウムあるいはアルミニ
ウム合金などの軟質金属とするのがより好ましい、さら
に、これらの金属材料に耐食性あるいは耐摩耗性を付与
するために、表面に被覆層が設けられている材料も本発
明に含まれるものとする。
また、この発明を構成するセラミック部品はアルミナ、
ジルコニア、窒化珪素ならびに炭化珪素よりなる群から
忍ばれた一種のセラミック材料とするのが好ましい。
ジルコニア、窒化珪素ならびに炭化珪素よりなる群から
忍ばれた一種のセラミック材料とするのが好ましい。
さらにまた、本発明のセラミック部品と金属部品との接
合構造において、熱応力緩衝セラミックリング7.9を
必ずしも前記セラミック部品と同材質とする必要はなく
、材質が近似し、かつ熱膨張係数がほぼ等しいものであ
れば異なる材質のものもこの発明に含まれるものとする
。
合構造において、熱応力緩衝セラミックリング7.9を
必ずしも前記セラミック部品と同材質とする必要はなく
、材質が近似し、かつ熱膨張係数がほぼ等しいものであ
れば異なる材質のものもこの発明に含まれるものとする
。
[発明の効果]
以上詳述したように、この発明はセラミック部品と金属
部品との接合部の熱応力を熱応力[irセラミック部品
により抑制して、接合部の強度を保持し耐熱サイクル特
性を向上することができる効果がある。
部品との接合部の熱応力を熱応力[irセラミック部品
により抑制して、接合部の強度を保持し耐熱サイクル特
性を向上することができる効果がある。
第1図はこの発明を熱交換器側金具及び配管側金具の接
合1ints具体化した一実施例を示す要部の断面図、
第2図は要部の分解斜視図、第3図は要部の構造を説明
するための要部の断面図、第4図は加圧ろう付は方法を
示すグラフ、第5図は従来例を示す断面図である。 1・・・セラミック部品としてのアルミナリング、2.
4.6.8・・・中間接合リング、3・・・金属部品と
しての熱交換器側金具、7.9・・・熱応力[rセラミ
ック部品としての熱応力緩衝セラミックリング。
合1ints具体化した一実施例を示す要部の断面図、
第2図は要部の分解斜視図、第3図は要部の構造を説明
するための要部の断面図、第4図は加圧ろう付は方法を
示すグラフ、第5図は従来例を示す断面図である。 1・・・セラミック部品としてのアルミナリング、2.
4.6.8・・・中間接合リング、3・・・金属部品と
しての熱交換器側金具、7.9・・・熱応力[rセラミ
ック部品としての熱応力緩衝セラミックリング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、セラミック部品と金属部品を接合し、該金属部品の
前記セラミック部品の少なくとも一つの反対側表面に該
セラミック部品とほぼ同材質の熱応力緩衝セラミック部
品を接合したことを特徴とするセラミック部品と金属部
品の接合構造。 2、請求項1において、金属部品が炭素鋼、ステンレス
鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、銅ならびに銅合
金よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属で構成
されているセラミック部品と金属部品の接合構造。 3、請求項1において、金属部品がアルミニウムあるい
はアルミニウム合金からなっているセラミック部品と金
属部品の接合構造。 4、請求項1において、前記熱応力緩衝セラミック部品
の厚さを金属部品の厚さよりも大きくしたセラミック部
品と金属部品の接合構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1183185A JP2507614B2 (ja) | 1989-07-15 | 1989-07-15 | セラミック部品と金属部品との加圧接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1183185A JP2507614B2 (ja) | 1989-07-15 | 1989-07-15 | セラミック部品と金属部品との加圧接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350167A true JPH0350167A (ja) | 1991-03-04 |
| JP2507614B2 JP2507614B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=16131261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1183185A Expired - Fee Related JP2507614B2 (ja) | 1989-07-15 | 1989-07-15 | セラミック部品と金属部品との加圧接合方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2507614B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013511705A (ja) * | 2009-11-20 | 2013-04-04 | フューチャー テクノロジー(センサーズ)リミテッド | センサー装置 |
| KR20220093662A (ko) * | 2020-12-28 | 2022-07-05 | 주식회사 아모센스 | 전력반도체 모듈의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전력반도체 모듈 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252376A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | 日立造船株式会社 | アルミナセラミツクスと銅板との接合方法 |
-
1989
- 1989-07-15 JP JP1183185A patent/JP2507614B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252376A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | 日立造船株式会社 | アルミナセラミツクスと銅板との接合方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013511705A (ja) * | 2009-11-20 | 2013-04-04 | フューチャー テクノロジー(センサーズ)リミテッド | センサー装置 |
| KR20220093662A (ko) * | 2020-12-28 | 2022-07-05 | 주식회사 아모센스 | 전력반도체 모듈의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전력반도체 모듈 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2507614B2 (ja) | 1996-06-12 |
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