JPH035022B2 - - Google Patents
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- JPH035022B2 JPH035022B2 JP59125746A JP12574684A JPH035022B2 JP H035022 B2 JPH035022 B2 JP H035022B2 JP 59125746 A JP59125746 A JP 59125746A JP 12574684 A JP12574684 A JP 12574684A JP H035022 B2 JPH035022 B2 JP H035022B2
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- electron beam
- objective lens
- signal
- scanning
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はエレクトロンチヤンネリングパターン
を表示することのできる電子線装置に関する。
を表示することのできる電子線装置に関する。
［従来の技術］
第１図に示すように、試料Ｓに対する電子線の
照射点を入射点Ｐを固定した状態において、電子
線をθx，θyの２方向に順次角度走査すれば、ブ
ラツグ条件を満す角度の軌跡として表示画面上に
結晶面と平行な２本の線が表示される。尚、OL
は対物レンズを示している。このような２本の線
と集合から成る像はエレクトロンチヤンネリング
パターンと呼ばれており、このエレクトロンチヤ
ンネリングパターンとを解析することにより結晶
の面癖、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知
ることができるため、近時、このパターンの観察
が広く行なわれるようになつた。前述したよう
に、このエレクトロンチヤンネリングパターンを
得るためには角度走査が必要であるが、電子線に
より対物レンズの前焦点面上を走査させることに
より角度走査を行なうようにした装置において
は、焦点距離Ｆが対物レンズの球面収差のため、 ΔF＝CS・θ2 ∝CS・（Xi2＋Yi2） …(1) だけずれてしまう。但し第(1)式においてCSは球面
収差係数、θは電子線のロツキング角を表わして
おり、Xi，Yiは走査信号発生回路より発生する
Ｘ及びＹ方向走査信号を表わしている。そのた
め、従来の装置においては、対物レンズの近傍に
ダイナミツクフオーカスレンズを設け、前記電子
線EBを角度走査するのに同期してXi2＋Yi2に比
例した信号をダイナミツクフオーカスレンズに供
給して、前記ΔFを相殺するようにしている。と
ころで、第(1)式における球面収差係数CSは対物レ
ンズの焦点距離Ｆの関数であるため、対物レンズ
と試料間の距離である作動距離Ｗを変化させよう
として対物レンズの焦点距離Ｆを変化させるとCS
の値が変化してしまうため、ΔFの値が変化して
しまう。同様に電子線EBのロツキング角θの最
大値αを変化させるため、倍率可変回路の増幅率
を変化させた際にもΔFは変化し、更に加速電圧
Ｅを変化させた際にも球面収差係数CSの値やダイ
ナミツクフオーカスレンズのフオーカスシフト量
δFが変化してしまい、ダイナミツクフオーカス
レンズをそのままの励磁状態にしておいた場合に
は、ダイナミツクフオーカスレンズにより対物レ
ンズの焦点距離のずれを精度良く補正できなくな
る。
照射点を入射点Ｐを固定した状態において、電子
線をθx，θyの２方向に順次角度走査すれば、ブ
ラツグ条件を満す角度の軌跡として表示画面上に
結晶面と平行な２本の線が表示される。尚、OL
は対物レンズを示している。このような２本の線
と集合から成る像はエレクトロンチヤンネリング
パターンと呼ばれており、このエレクトロンチヤ
ンネリングパターンとを解析することにより結晶
の面癖、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知
ることができるため、近時、このパターンの観察
が広く行なわれるようになつた。前述したよう
に、このエレクトロンチヤンネリングパターンを
得るためには角度走査が必要であるが、電子線に
より対物レンズの前焦点面上を走査させることに
より角度走査を行なうようにした装置において
は、焦点距離Ｆが対物レンズの球面収差のため、 ΔF＝CS・θ2 ∝CS・（Xi2＋Yi2） …(1) だけずれてしまう。但し第(1)式においてCSは球面
収差係数、θは電子線のロツキング角を表わして
おり、Xi，Yiは走査信号発生回路より発生する
Ｘ及びＹ方向走査信号を表わしている。そのた
め、従来の装置においては、対物レンズの近傍に
ダイナミツクフオーカスレンズを設け、前記電子
線EBを角度走査するのに同期してXi2＋Yi2に比
例した信号をダイナミツクフオーカスレンズに供
給して、前記ΔFを相殺するようにしている。と
ころで、第(1)式における球面収差係数CSは対物レ
ンズの焦点距離Ｆの関数であるため、対物レンズ
と試料間の距離である作動距離Ｗを変化させよう
として対物レンズの焦点距離Ｆを変化させるとCS
の値が変化してしまうため、ΔFの値が変化して
しまう。同様に電子線EBのロツキング角θの最
大値αを変化させるため、倍率可変回路の増幅率
を変化させた際にもΔFは変化し、更に加速電圧
Ｅを変化させた際にも球面収差係数CSの値やダイ
ナミツクフオーカスレンズのフオーカスシフト量
δFが変化してしまい、ダイナミツクフオーカス
レンズをそのままの励磁状態にしておいた場合に
は、ダイナミツクフオーカスレンズにより対物レ
ンズの焦点距離のずれを精度良く補正できなくな
る。
［発明が解決しようとする問題点］
従つて、従来の装置においては、対物レンズの
焦点距離Ｆ（あるいは作動距離Ｗ）、ロツキング最
大角α（あるいは倍率可変回路の観察倍率値Ｍ）
や加速電圧Ｅを変化させた際には、その都度ダイ
ナミツクフオーカスレンズに供給するXi2＋Yi2
なる信号の増幅利得を試行錯誤により調節しなけ
ればならず、操作が極めて繁雑であつた。
焦点距離Ｆ（あるいは作動距離Ｗ）、ロツキング最
大角α（あるいは倍率可変回路の観察倍率値Ｍ）
や加速電圧Ｅを変化させた際には、その都度ダイ
ナミツクフオーカスレンズに供給するXi2＋Yi2
なる信号の増幅利得を試行錯誤により調節しなけ
ればならず、操作が極めて繁雑であつた。
本発明は、このような従来の欠点を解決して、
前記焦点距離Ｆ、電子線のロツキング最大角α又
は加速電圧Ｅを切換えても、ダイナミツクフオー
カスレンズにより自動的に前記第(1)式で表わされ
る対物レンズの焦点ずれを精度良く相殺すること
のできる電子線装置を提供することを目的として
いる。
前記焦点距離Ｆ、電子線のロツキング最大角α又
は加速電圧Ｅを切換えても、ダイナミツクフオー
カスレンズにより自動的に前記第(1)式で表わされ
る対物レンズの焦点ずれを精度良く相殺すること
のできる電子線装置を提供することを目的として
いる。
［発明の作用］
以下、本発明において基本になつている考えを
詳述する。
詳述する。
ダイナミツクフオーカスレンズに供給する励磁
電流値をＩ，Ｌを対物レンズとダイナミツクフオ
ーカスレンズの主面までの距離、E*を電子線の
加速電圧の相対論的補正値、Ａ、ｎをダイナミツ
クフオーカスレンズに固有の定数とすれば、ダイ
ナミツクフオーカスレンズは以下の式で与えられ
る量だけ焦点距離をシフトできる。
電流値をＩ，Ｌを対物レンズとダイナミツクフオ
ーカスレンズの主面までの距離、E*を電子線の
加速電圧の相対論的補正値、Ａ、ｎをダイナミツ
クフオーカスレンズに固有の定数とすれば、ダイ
ナミツクフオーカスレンズは以下の式で与えられ
る量だけ焦点距離をシフトできる。
δF＝Ａ・（Ｗ＋Ｌ）n・Ｉ／√* …(2)
この式を変形すれば、以下の第(3)式となる。
Ｉ＝Ａ・√*・δF*／（Ｗ＋Ｌ）n …(3)
そこで、対物レンズの焦点距離Ｆ、電子線のロ
ツキング最大角α及び加速電圧Ｅを種々変化させ
た際の対物レンズの焦点距離のずれΔFの最大値
ΔFmaxを測定し、ΔFmaxとダイナミツクフオー
カスレンズによる焦点距離のシフト量の最大値
δFmaxが一致するように、ダイナミツクフオー
カスレンズに供給するXi2＋Yi2なる信号の増幅
利得を求め、この増幅利得を実現するために必要
な増幅率可変増幅器への信号値を各Ｆ，α，Ｅの
組に対して記憶装置にテーブルとして記憶させ、
対物レンズの焦点距離（あるいは作動距離Ｗ）、
ロツキング最大角α及び加速電圧Ｅに対応した信
号に基づいてこの記憶装置に記憶された信号のう
ちから、対応する増幅利得制御信号を読み出し、
この読み出された信号に基づいて増幅率可変増幅
器の増幅利得を制御するようにすれば、繁雑な調
節を行なうことなく最適な補正を行なうことがで
きる。
ツキング最大角α及び加速電圧Ｅを種々変化させ
た際の対物レンズの焦点距離のずれΔFの最大値
ΔFmaxを測定し、ΔFmaxとダイナミツクフオー
カスレンズによる焦点距離のシフト量の最大値
δFmaxが一致するように、ダイナミツクフオー
カスレンズに供給するXi2＋Yi2なる信号の増幅
利得を求め、この増幅利得を実現するために必要
な増幅率可変増幅器への信号値を各Ｆ，α，Ｅの
組に対して記憶装置にテーブルとして記憶させ、
対物レンズの焦点距離（あるいは作動距離Ｗ）、
ロツキング最大角α及び加速電圧Ｅに対応した信
号に基づいてこの記憶装置に記憶された信号のう
ちから、対応する増幅利得制御信号を読み出し、
この読み出された信号に基づいて増幅率可変増幅
器の増幅利得を制御するようにすれば、繁雑な調
節を行なうことなく最適な補正を行なうことがで
きる。
［発明の構成］
本発明はこのような考えに基づくもので、Ｘ方
向及びＹ方向走査信号を各々Xi，Yiとするとき、
Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，Yiを供給して
対物レンズの前焦点面を電子線により走査すると
共に、該対物レンズの近傍に配置されたダイナミ
ツクフオーカスレンズにXi2＋Yi2に比例した電
流を増幅率可変増幅器を介して供給して、対物レ
ンズの球面収差に基づく電子線の照射位置の移動
を相殺して電子線を角度走査し、該角度走査に伴
う検出信号を該走査に同期走査されている表示手
段に導いてエレクトロンチヤンネリングパターン
を表示するようにした装置において、対物レンズ
の焦点距離に対応した値をFi、電子線EBのロツ
キング最大角に対応した値をαj、電子線の加速電
圧に対応した値をEkとするとき、各値Fi，αj，
Ekの組に対する前記増幅率可変増幅器の増幅利
得を指定するための信号を記憶するための記憶手
段と、該焦点距離に対応した信号と該ロツキング
最大角に対応した信号と該加速電圧に対応した信
号に基づいて該記憶手段に格納されている信号を
読み出し、該読み出された信号に基づいて該増幅
率可変増幅器の増幅利得を設定するための手段を
具備していることを特徴としている。
向及びＹ方向走査信号を各々Xi，Yiとするとき、
Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，Yiを供給して
対物レンズの前焦点面を電子線により走査すると
共に、該対物レンズの近傍に配置されたダイナミ
ツクフオーカスレンズにXi2＋Yi2に比例した電
流を増幅率可変増幅器を介して供給して、対物レ
ンズの球面収差に基づく電子線の照射位置の移動
を相殺して電子線を角度走査し、該角度走査に伴
う検出信号を該走査に同期走査されている表示手
段に導いてエレクトロンチヤンネリングパターン
を表示するようにした装置において、対物レンズ
の焦点距離に対応した値をFi、電子線EBのロツ
キング最大角に対応した値をαj、電子線の加速電
圧に対応した値をEkとするとき、各値Fi，αj，
Ekの組に対する前記増幅率可変増幅器の増幅利
得を指定するための信号を記憶するための記憶手
段と、該焦点距離に対応した信号と該ロツキング
最大角に対応した信号と該加速電圧に対応した信
号に基づいて該記憶手段に格納されている信号を
読み出し、該読み出された信号に基づいて該増幅
率可変増幅器の増幅利得を設定するための手段を
具備していることを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。
る。
第２図は本発明の一実施例を示すためのもの
で、第２図において１は電子銃であり、この電子
銃１には加速電源２より所定の高圧が印加されて
いる。この電子銃１よりの電子線EBは集束レン
ズ３ａ，３ｂにより集束された後、対物絞り４を
通過して偏向系に入射する。この偏向系はＸ及び
Ｙ方向走査用の第１段の走査コイル５ax，５ay
と同様の第２段の走査コイル５bx，５byとより
成つている。これら走査コイルによつて偏向され
た電子線EBはダイナミツクフオーカスレンズ６
及び対物レンズ７を経て試料８上に照射される。
９は対物レンズ７へ供給する励磁電流を調節する
ための対物レンズ電源である。１０Ｘは第３図ａ
に示す如きＸ方向の走査信号を発生するＸ走査信
号発生回路であり、このＸ走査信号発生回路１０
Ｘよりの走査信号はスイツチ回路１１Ｘ及び倍率
可変回路１２を介して走査コイル５ax及び５bx
に供給できるようになつている。１０Ｙは第３図
ｂに示す如きＹ方向の走査信号を発生するＹ走査
信号発生回路であり、このＹ走査信号発生回路１
０Ｙよりの走査信号もスイツチ回路１１Ｙ及び倍
率可変回路１２を介して走査コイル５ay及び５
byに供給できるようになつている。これら走査
信号発生回路１０Ｘ，１０ＹよりのＸ及びＹ方向
走査信号は陰極線管１３の走査コイル１３ｘ，１
３ｙにも供給されており、陰極線管１３は電子線
EBの走査に同期して走査されるようになつてい
る。又、走査信号発生回路１０Ｘ，１０Ｙよりの
走査信号は各々スイツチSx，Syを介して各々二
乗回路１４Ｘ，１４Ｙに供給されている。これら
二乗回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号は加算回路１
５に供給されており、加算回路１５の出力信号は
増幅率可変増幅器１６を介して前記ダイナミツク
フオーカスレンズ６に供給されている。この増幅
率可変増幅器１６の増幅利得はDA変換器１７を
介して中央演算処理装置１８より供給される制御
信号に基づいて制御できるようになつている。こ
の中央演算処理装置１８には、対物レンズ電源９
より対物レンズ７の焦点距離に対応した信号が
AD変換器１９を介して供給されていると共に、
前記加速電源２よりの加速電圧を表わす信号が
AD変換器２０を介して供給されており、更には
倍率可変回路１２よりのロツキング最大角を表わ
す信号がAD変換器２４を介して供給されてい
る。２１はメモリであり、対物レンズの焦点距離
をFi（ｉ＝１、２、３、…、ｐ）、電子線EBのロ
ツキング角度の最大値αj（ｊ＝１、２、３、…、
ｑ）、加速電圧をEk（ｋ＝１、２、３、…、ｒ）
とするとき、このメモリ２１には各Fi，αj，Ek
の組に対して増幅率可変増幅器１６の増幅利得を
最適に指定するためのｐ×ｑ×ｒ個の信号が記憶
されている。２２は二次電子検出器であり、この
検出器２２よりの出力信号は増幅器２３を介して
陰極線管１３のグリツド１３ｇに供給されてい
る。
で、第２図において１は電子銃であり、この電子
銃１には加速電源２より所定の高圧が印加されて
いる。この電子銃１よりの電子線EBは集束レン
ズ３ａ，３ｂにより集束された後、対物絞り４を
通過して偏向系に入射する。この偏向系はＸ及び
Ｙ方向走査用の第１段の走査コイル５ax，５ay
と同様の第２段の走査コイル５bx，５byとより
成つている。これら走査コイルによつて偏向され
た電子線EBはダイナミツクフオーカスレンズ６
及び対物レンズ７を経て試料８上に照射される。
９は対物レンズ７へ供給する励磁電流を調節する
ための対物レンズ電源である。１０Ｘは第３図ａ
に示す如きＸ方向の走査信号を発生するＸ走査信
号発生回路であり、このＸ走査信号発生回路１０
Ｘよりの走査信号はスイツチ回路１１Ｘ及び倍率
可変回路１２を介して走査コイル５ax及び５bx
に供給できるようになつている。１０Ｙは第３図
ｂに示す如きＹ方向の走査信号を発生するＹ走査
信号発生回路であり、このＹ走査信号発生回路１
０Ｙよりの走査信号もスイツチ回路１１Ｙ及び倍
率可変回路１２を介して走査コイル５ay及び５
byに供給できるようになつている。これら走査
信号発生回路１０Ｘ，１０ＹよりのＸ及びＹ方向
走査信号は陰極線管１３の走査コイル１３ｘ，１
３ｙにも供給されており、陰極線管１３は電子線
EBの走査に同期して走査されるようになつてい
る。又、走査信号発生回路１０Ｘ，１０Ｙよりの
走査信号は各々スイツチSx，Syを介して各々二
乗回路１４Ｘ，１４Ｙに供給されている。これら
二乗回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号は加算回路１
５に供給されており、加算回路１５の出力信号は
増幅率可変増幅器１６を介して前記ダイナミツク
フオーカスレンズ６に供給されている。この増幅
率可変増幅器１６の増幅利得はDA変換器１７を
介して中央演算処理装置１８より供給される制御
信号に基づいて制御できるようになつている。こ
の中央演算処理装置１８には、対物レンズ電源９
より対物レンズ７の焦点距離に対応した信号が
AD変換器１９を介して供給されていると共に、
前記加速電源２よりの加速電圧を表わす信号が
AD変換器２０を介して供給されており、更には
倍率可変回路１２よりのロツキング最大角を表わ
す信号がAD変換器２４を介して供給されてい
る。２１はメモリであり、対物レンズの焦点距離
をFi（ｉ＝１、２、３、…、ｐ）、電子線EBのロ
ツキング角度の最大値αj（ｊ＝１、２、３、…、
ｑ）、加速電圧をEk（ｋ＝１、２、３、…、ｒ）
とするとき、このメモリ２１には各Fi，αj，Ek
の組に対して増幅率可変増幅器１６の増幅利得を
最適に指定するためのｐ×ｑ×ｒ個の信号が記憶
されている。２２は二次電子検出器であり、この
検出器２２よりの出力信号は増幅器２３を介して
陰極線管１３のグリツド１３ｇに供給されてい
る。
このような構成において、加速電源２を操作し
て加速電圧をEaに設定し、次にスイツチ回路１
１Ｘ，１１Ｙを介して走査コイル５ax，５ayに
走査信号が供給されるようにする。そこで、作動
距離Ｗを選択して試料８を光軸に沿つた所定の位
置に配置した後、励磁電源９を操作して、電子線
EBが試料８への入射点を固定した状態において
ロツキングされるように対物レンズ７の焦点距離
をFbに設定する。更に倍率可変回路１２を調節
して電子線EBのロツキング角の最大値をαcに設
定する。そこで、走査信号発生回路１０Ｘ，１０
Ｙより第３図ａ及びｂに示す如きＸ及びＹ方向走
査信号Xi，Yiを発生すれば、加速電圧Eaにより
加速された電子線が走査コイル５ax，５ayによ
り偏向されて対物レンズ７の前焦点面を走査し、
電子線EBは対物レンズ７により試料８への照射
点を略固定した状態において最大角度αcでロツ
キングされる。そこで、スイツチSx，Syを閉じ
れば、走査信号発生回路１０Ｘ，１０Ｙよりの走
査信号Xi，Yiが二乗回路１４Ｘ，１４Ｙに供給
されるため、加算回路１５から増幅率可変増幅器
１６へXi2＋Yi2に比例した信号が供給される。
一方中央演算処理装置１８には、加速電源２、励
磁電源９、倍率可変回路１２より各々設定した加
速電圧Ea、対物レンズの焦点距離Fb、ロツキン
グ最大角αcを表わす信号が各々AD変換器２０，
１９，２４を介して供給されているため、中央演
算処理装置１８はこれら供給された信号に基づい
てメモリ２１に格納されている増幅率可変増幅器
１６の増幅利得を指定するための信号のうち、
Ea，Fb，αcに対応した信号を読み出し、この信
号をDA変換器１７を介して増幅率可変増幅器１
６に供給する。そのため、増幅率可変増幅器１６
はこのEa，Fb，αcの条件において、前記第(2)式
で表わされるダイナミツクフオーカスレンズによ
る焦点シフトδFによつて前記第(1)式で表わされ
る対物レンズの焦点ずれΔFが相殺されるように、
最適な増幅利得に設定される。このため、増幅率
可変増幅器１６によつて増幅された信号がダイナ
ミツクフオーカスレンズ６に供給されるため、対
物レンズ７の焦点ずれは高精度に補正され、電子
線EBのロツキングに伴う電子線照射位置の移動
は極めて小さなものになる。そのため、検出器２
２の出力信号を増幅器２３を介して陰極線管１３
に導けば、試料１８の極微小領域のエレクトロン
チヤンネリングパターンを陰極線管１３に表示す
ることができる。
て加速電圧をEaに設定し、次にスイツチ回路１
１Ｘ，１１Ｙを介して走査コイル５ax，５ayに
走査信号が供給されるようにする。そこで、作動
距離Ｗを選択して試料８を光軸に沿つた所定の位
置に配置した後、励磁電源９を操作して、電子線
EBが試料８への入射点を固定した状態において
ロツキングされるように対物レンズ７の焦点距離
をFbに設定する。更に倍率可変回路１２を調節
して電子線EBのロツキング角の最大値をαcに設
定する。そこで、走査信号発生回路１０Ｘ，１０
Ｙより第３図ａ及びｂに示す如きＸ及びＹ方向走
査信号Xi，Yiを発生すれば、加速電圧Eaにより
加速された電子線が走査コイル５ax，５ayによ
り偏向されて対物レンズ７の前焦点面を走査し、
電子線EBは対物レンズ７により試料８への照射
点を略固定した状態において最大角度αcでロツ
キングされる。そこで、スイツチSx，Syを閉じ
れば、走査信号発生回路１０Ｘ，１０Ｙよりの走
査信号Xi，Yiが二乗回路１４Ｘ，１４Ｙに供給
されるため、加算回路１５から増幅率可変増幅器
１６へXi2＋Yi2に比例した信号が供給される。
一方中央演算処理装置１８には、加速電源２、励
磁電源９、倍率可変回路１２より各々設定した加
速電圧Ea、対物レンズの焦点距離Fb、ロツキン
グ最大角αcを表わす信号が各々AD変換器２０，
１９，２４を介して供給されているため、中央演
算処理装置１８はこれら供給された信号に基づい
てメモリ２１に格納されている増幅率可変増幅器
１６の増幅利得を指定するための信号のうち、
Ea，Fb，αcに対応した信号を読み出し、この信
号をDA変換器１７を介して増幅率可変増幅器１
６に供給する。そのため、増幅率可変増幅器１６
はこのEa，Fb，αcの条件において、前記第(2)式
で表わされるダイナミツクフオーカスレンズによ
る焦点シフトδFによつて前記第(1)式で表わされ
る対物レンズの焦点ずれΔFが相殺されるように、
最適な増幅利得に設定される。このため、増幅率
可変増幅器１６によつて増幅された信号がダイナ
ミツクフオーカスレンズ６に供給されるため、対
物レンズ７の焦点ずれは高精度に補正され、電子
線EBのロツキングに伴う電子線照射位置の移動
は極めて小さなものになる。そのため、検出器２
２の出力信号を増幅器２３を介して陰極線管１３
に導けば、試料１８の極微小領域のエレクトロン
チヤンネリングパターンを陰極線管１３に表示す
ることができる。
尚、対物レンズの焦点距離と作動距離は一定の
関数関係にあるため、焦点距離を表わす信号とし
て作動距離を表わす信号を用いるようにしても良
い。
関数関係にあるため、焦点距離を表わす信号とし
て作動距離を表わす信号を用いるようにしても良
い。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明に基
づく装置においては、加速電圧、対物レンズの焦
点距離や電子線のロツキング最大角を変化させた
際にも、自動的にダイナミツクフオーカスレンズ
による最適な補正を行なうことができ、操作性を
向上させることができる。
づく装置においては、加速電圧、対物レンズの焦
点距離や電子線のロツキング最大角を変化させた
際にも、自動的にダイナミツクフオーカスレンズ
による最適な補正を行なうことができ、操作性を
向上させることができる。
第１図はエレクトロンチヤンネリングパターン
を得るための電子線の走査を説明するための図、
第２図は本発明の一実施例を示すための図、第３
図は第２図に示した一実施例装置の各回路の出力
信号を例示するための図である。 １：電子銃、２：加速電源、３ａ，３ｂ：集束
レンズ、４：絞り、５ax，５ay，５bx，５by：
走査コイル、６：ダイナミツクフオーカスレン
ズ、７：対物レンズ、８：試料、９：励磁電源、
１０Ｘ，１０Ｙ：走査信号発生回路、１１Ｘ，１
１Ｙ：スイツチ回路、１２：倍率可変回路、１
３：陰極線管、１４Ｘ，１４Ｙ：二乗回路、１
５：加算回路、１６：増幅率可変増幅器、１７：
DA変換器、１８：中央演算処理装置、１９，２
０，２４：AD変換器、２２：検出器、２３：増
幅器。
を得るための電子線の走査を説明するための図、
第２図は本発明の一実施例を示すための図、第３
図は第２図に示した一実施例装置の各回路の出力
信号を例示するための図である。 １：電子銃、２：加速電源、３ａ，３ｂ：集束
レンズ、４：絞り、５ax，５ay，５bx，５by：
走査コイル、６：ダイナミツクフオーカスレン
ズ、７：対物レンズ、８：試料、９：励磁電源、
１０Ｘ，１０Ｙ：走査信号発生回路、１１Ｘ，１
１Ｙ：スイツチ回路、１２：倍率可変回路、１
３：陰極線管、１４Ｘ，１４Ｙ：二乗回路、１
５：加算回路、１６：増幅率可変増幅器、１７：
DA変換器、１８：中央演算処理装置、１９，２
０，２４：AD変換器、２２：検出器、２３：増
幅器。
Claims (1)
- １ Ｘ方向及びＹ方向走査信号を各々Xi，Yiと
するとき、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，Yi
を供給して対物レンズの前焦点面を電子線により
走査すると共に、該対物レンズの近傍に配置され
たダイナミツクフオーカスレンズにXi2＋Yi2に
比例した電流を増幅率可変増幅器を介して供給し
て、対物レンズの球面収差に基づく電子線の照射
位置の移動を相殺して電子線を角度走査し、該角
度走査に伴う検出信号を該走査に同期走査されて
いる表示手段に導いてエレクトロンチヤンネリン
グパターンを表示するようにした装置において、
対物レンズの焦点距離に対応した値をFi、電子線
EBのロツキング最大角に対応した値をαj、電子
線の加速電圧に対応した値をEkとするとき、各
値Fi，αj，Ekの組に対する前記増幅率可変増幅
器の増幅利得を指定するための信号を記憶するた
めの記憶手段と、該焦点距離に対応した信号と該
ロツキング最大角に対応した信号と該加速電圧に
対応した信号に基づいて該記憶手段に格納されて
いる信号を読み出し、該読み出された信号に基づ
いて該増幅率可変増幅器の増幅利得を設定するた
めの手段を具備していることを特徴とする電子線
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125746A JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125746A JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614146A JPS614146A (ja) | 1986-01-10 |
| JPH035022B2 true JPH035022B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=14917775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59125746A Granted JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614146A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432143A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-04 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
| JP2012142299A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型荷電粒子顕微鏡装置および走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP59125746A patent/JPS614146A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS614146A (ja) | 1986-01-10 |
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