JPS614145A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
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- JPS614145A JPS614145A JP59125743A JP12574384A JPS614145A JP S614145 A JPS614145 A JP S614145A JP 59125743 A JP59125743 A JP 59125743A JP 12574384 A JP12574384 A JP 12574384A JP S614145 A JPS614145 A JP S614145A
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- electron beam
- scanning
- supplied
- electron
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/2955—Electron or ion diffraction tubes using scanning ray
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はエレクトロンチャンネリングパターンを表示す
ることのできる電子線装置に関する。
ることのできる電子線装置に関する。
［従来の技術］
第１図に示すように、試料Ｓに対する電子線の照射点を
入射点Ｐを固定した状態において、電子線をθＸ、θｙ
の２方向に順次角度走査すれば、ブラッグ条件を満す角
度の軌跡として表示画面上に結晶面と平行な２本の線が
表示される。尚、ＯＬは対物レンズを示している。この
ような２本の線の集合から成る像はエレクトロンチャン
ネリングパターンと呼ばれており、このエレクトロンチ
ャンネリングパターンを解析することにより結晶の面癖
、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知ることができ
るため、近時エレクトロンチャンネリングパターンの観
察が広く行なわれるようになった。
入射点Ｐを固定した状態において、電子線をθＸ、θｙ
の２方向に順次角度走査すれば、ブラッグ条件を満す角
度の軌跡として表示画面上に結晶面と平行な２本の線が
表示される。尚、ＯＬは対物レンズを示している。この
ような２本の線の集合から成る像はエレクトロンチャン
ネリングパターンと呼ばれており、このエレクトロンチ
ャンネリングパターンを解析することにより結晶の面癖
、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知ることができ
るため、近時エレクトロンチャンネリングパターンの観
察が広く行なわれるようになった。
第２図はエレクトロンチャンネリングパターンの観察を
行なうための従来装置を示すためのもので、図中１は電
子銃であり、この電子銃１よりの電子線ＥＢは集束レン
ズ２．３により集束された後、対物絞り４を通過して偏
向系に入射する。偏向系はＸ（水′平）及びＹ（垂直）
方向走査用の第１段の走査コイル５ａｘ、５ａｙと、第
２段のＸ及びＹ方向走査用の走査コイル５ｂｘ、５ｂｙ
及び走査コイル５ａｘ、５ａｙのすぐ外側に配置された
第１段のアライメント用コイル６ａ’ｘ、６ａｙ及び走
査コイル５ｂｘ、 ５ｂｙのすぐ外側に配置されたアラ
イメント用コイル６ｂｘ、ｓｂｙより成っている。これ
らアライメントコイル６ａｘ。
行なうための従来装置を示すためのもので、図中１は電
子銃であり、この電子銃１よりの電子線ＥＢは集束レン
ズ２．３により集束された後、対物絞り４を通過して偏
向系に入射する。偏向系はＸ（水′平）及びＹ（垂直）
方向走査用の第１段の走査コイル５ａｘ、５ａｙと、第
２段のＸ及びＹ方向走査用の走査コイル５ｂｘ、５ｂｙ
及び走査コイル５ａｘ、５ａｙのすぐ外側に配置された
第１段のアライメント用コイル６ａ’ｘ、６ａｙ及び走
査コイル５ｂｘ、 ５ｂｙのすぐ外側に配置されたアラ
イメント用コイル６ｂｘ、ｓｂｙより成っている。これ
らアライメントコイル６ａｘ。
６ａｙ、６ｂｘ、６ｂｙには、偏向電源７ａｘ。
７ａｙ、７．ｂｘ、 ７ｂｙよりの偏向電流が供給でき
るようになっている。各走査コイル及びアライメントコ
イルによって偏向された電子線ＥＢはダイナミックフォ
ーカスレンズ８及び対物レンズ９を経て試料１０上に照
射される。１１Ｘは第３図（ａ）に示す如きＸ方向の走
査信号を発生する走（。ヶ＠え、、−１あ。１．。−４
８−−６１１Ｘよりの走査信号はスイッチ回路１２Ｘを
介して走査コイル５ａｘ及び５ｂｘに供給できるように
なっている。１１Ｙは第３図（ｂ）に示す如きＹ方向の
走査信号を発生する走査信号発生回路であり、この走査
信号発生回路１１Ｙよりの走査信号はスイッチ回路１２
Ｙを介して走査コイル５ａｙ及び５ｂｙに供給できるよ
うになっている。この走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙ
よりのＸ及びＹ方向走査信号は陰極線管ＣＲの走査コイ
ルＣＲＸ、ＣＲＹにも供給されており、陰極線管ＣＲは
電子線ＥＢの走査に同期して走査されるようになってい
る。又、走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙよりの走査信
号は各々スイッチＳｘ、Ｓｙを介して加算回路１３Ｘ、
１３Ｙに供給されている。これら加算回路１３Ｘ、’１
３Ｙには各々ポテンショメーター１４Ｘ、１４．Ｙより
の信号が供給されている。加算回路１３Ｘ、１３Ｙの出
力信号は各々二乗回路１５Ｘ、１５Ｙに供給されている
。これら二乗回路１５Ｘ、１５Ｙの出力信号は加算回路
１６に供給されており、加算回路１６の出力信号は増幅
率可変増幅器１７を介して前記ダイナミックフォーカス
レンズ８に供給されている。このダイナミックフォーカ
スレンズ８は、Ｃ８を対物レンズの球面収差係数とする
とき、対物レンズの焦点距離Ｆが球面収差のため見かけ
上 ΔＦ＜Ｃｓ （Ｘｉ ２ ＋Ｙｉ ２）
・・・（１）だけずれてしまうため、（１）式で与えら
れる量だけ焦点距離を電子線の走査に同期させてシフト
させ、このずれを補正するためのものである。１８は二
次電子検出器であり、この検出器１８よりの出力信号は
増幅器１９を介して陰極線管ＯＲのグリッドＣＲＣＩに
供給されている。
るようになっている。各走査コイル及びアライメントコ
イルによって偏向された電子線ＥＢはダイナミックフォ
ーカスレンズ８及び対物レンズ９を経て試料１０上に照
射される。１１Ｘは第３図（ａ）に示す如きＸ方向の走
査信号を発生する走（。ヶ＠え、、−１あ。１．。−４
８−−６１１Ｘよりの走査信号はスイッチ回路１２Ｘを
介して走査コイル５ａｘ及び５ｂｘに供給できるように
なっている。１１Ｙは第３図（ｂ）に示す如きＹ方向の
走査信号を発生する走査信号発生回路であり、この走査
信号発生回路１１Ｙよりの走査信号はスイッチ回路１２
Ｙを介して走査コイル５ａｙ及び５ｂｙに供給できるよ
うになっている。この走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙ
よりのＸ及びＹ方向走査信号は陰極線管ＣＲの走査コイ
ルＣＲＸ、ＣＲＹにも供給されており、陰極線管ＣＲは
電子線ＥＢの走査に同期して走査されるようになってい
る。又、走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙよりの走査信
号は各々スイッチＳｘ、Ｓｙを介して加算回路１３Ｘ、
１３Ｙに供給されている。これら加算回路１３Ｘ、’１
３Ｙには各々ポテンショメーター１４Ｘ、１４．Ｙより
の信号が供給されている。加算回路１３Ｘ、１３Ｙの出
力信号は各々二乗回路１５Ｘ、１５Ｙに供給されている
。これら二乗回路１５Ｘ、１５Ｙの出力信号は加算回路
１６に供給されており、加算回路１６の出力信号は増幅
率可変増幅器１７を介して前記ダイナミックフォーカス
レンズ８に供給されている。このダイナミックフォーカ
スレンズ８は、Ｃ８を対物レンズの球面収差係数とする
とき、対物レンズの焦点距離Ｆが球面収差のため見かけ
上 ΔＦ＜Ｃｓ （Ｘｉ ２ ＋Ｙｉ ２）
・・・（１）だけずれてしまうため、（１）式で与えら
れる量だけ焦点距離を電子線の走査に同期させてシフト
させ、このずれを補正するためのものである。１８は二
次電子検出器であり、この検出器１８よりの出力信号は
増幅器１９を介して陰極線管ＯＲのグリッドＣＲＣＩに
供給されている。
このような構成の従来装置において、ダイナミックフォ
ーカスレンズによる補正の効果を発揮させて、極微小領
域のエレクトロンチャンネリングパターンを観察するた
め、まず偏向電源７ａｘ’。
ーカスレンズによる補正の効果を発揮させて、極微小領
域のエレクトロンチャンネリングパターンを観察するた
め、まず偏向電源７ａｘ’。
７ａｙ、７ｂＸ、７ｂｙより各偏向コイル６ａｘ。
６ａｙ、６ｂｘ、６ｂｙに供給する偏向電流を調整して
、ダイナミックフォーカスレンズ８の軸と対物レンズ９
の軸とを軸合せする。しかる後、試料１０として例えば
メツシュをセットし、更に集束レンズ３の励磁強度とス
イッチ回路１’２Ｘ、１２Ｙを調整して、第２因におい
て点線で示すように電子線ＥＢが対物レンズ９の中心を
偏向支点として偏向され、それにより試料１０が二次元
的に走査されて通常の走査像が得られるようにする。
、ダイナミックフォーカスレンズ８の軸と対物レンズ９
の軸とを軸合せする。しかる後、試料１０として例えば
メツシュをセットし、更に集束レンズ３の励磁強度とス
イッチ回路１’２Ｘ、１２Ｙを調整して、第２因におい
て点線で示すように電子線ＥＢが対物レンズ９の中心を
偏向支点として偏向され、それにより試料１０が二次元
的に走査されて通常の走査像が得られるようにする。
その結果、陰極線管ＣＲの画面には第４図（ａ＞に示す
如きメツシュ像が得られる。そこで、このメツシュを構
成する格子線の交差点が画面中心に位置するように試料
１０を移動した後、集束レンズ３の励磁強度を切換える
と共にスイッチ回路１：２Ｘ、１２Ｙを介して走査コイ
ル５ａｘ、５ａｙに走査信号を供給し、第２図において
細線で示されるように電子線ＥＢが対物レンズ９の前焦
点面Ｓを走査するようにする。その結果、電子線ＥＢは
試−料１０上の狭い領域に照射された状態で角度走査さ
れる。そのため、陰極線管ＣＲには第４図（ｂ）に示す
如き画像が表示される。この第４図（ｂ）及び後述する
第４図＜Ｃ）において、イはメツシュを構成している格
子線を示している。そこで、スイッチ３ｘ、ｓｙを閉じ
れば、Ｘ及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙよ
りの第３図（ａ＞、（ｂ）に示す如き走査信号が各々加
算回路１３Ｘ、１３Ｙに供給される。この加算回路１３
Ｘ、 １ｊｙには、各々ポテンショメーター１４Ｘ、１
４Ｙより値ａ、ｂに対応した信号が供給されているため
、二乗回路１５Ｘ、１５Ｙの出力信号は各々 （Ｘｉ−
ａ）２ 、（Ｙｉ−ｂ）２に比例したものとなる。従っ
て、増幅率可変増幅器１７を介してダイナミックフォー
カスレンズ８にはＫを比例定数とするとき、 Ｋ （（Ｘｉ−ａ）２＋ （Ｙｉ −ｂ）２）なる信号
が供給される。そのため、対物レンズの球面収差に基づ
く電子線ＥＢの照射領域の移動は完全にではないが補正
され、陰極線管ＣＲに表示される画像は第４図（Ｃ）に
示す如きものとなる。
如きメツシュ像が得られる。そこで、このメツシュを構
成する格子線の交差点が画面中心に位置するように試料
１０を移動した後、集束レンズ３の励磁強度を切換える
と共にスイッチ回路１：２Ｘ、１２Ｙを介して走査コイ
ル５ａｘ、５ａｙに走査信号を供給し、第２図において
細線で示されるように電子線ＥＢが対物レンズ９の前焦
点面Ｓを走査するようにする。その結果、電子線ＥＢは
試−料１０上の狭い領域に照射された状態で角度走査さ
れる。そのため、陰極線管ＣＲには第４図（ｂ）に示す
如き画像が表示される。この第４図（ｂ）及び後述する
第４図＜Ｃ）において、イはメツシュを構成している格
子線を示している。そこで、スイッチ３ｘ、ｓｙを閉じ
れば、Ｘ及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１Ｙよ
りの第３図（ａ＞、（ｂ）に示す如き走査信号が各々加
算回路１３Ｘ、１３Ｙに供給される。この加算回路１３
Ｘ、 １ｊｙには、各々ポテンショメーター１４Ｘ、１
４Ｙより値ａ、ｂに対応した信号が供給されているため
、二乗回路１５Ｘ、１５Ｙの出力信号は各々 （Ｘｉ−
ａ）２ 、（Ｙｉ−ｂ）２に比例したものとなる。従っ
て、増幅率可変増幅器１７を介してダイナミックフォー
カスレンズ８にはＫを比例定数とするとき、 Ｋ （（Ｘｉ−ａ）２＋ （Ｙｉ −ｂ）２）なる信号
が供給される。そのため、対物レンズの球面収差に基づ
く電子線ＥＢの照射領域の移動は完全にではないが補正
され、陰極線管ＣＲに表示される画像は第４図（Ｃ）に
示す如きものとなる。
この図から明らかなように、一般に前記ダイナミックフ
ォーカスレンズ８と対物レンズ９の軸合せは完全に行な
うことはできないため、電子線ＥＢ（をロッキングした
際の中心点Ｑ（実際に（よ表示されない）は画面の中心
からずれた種々の位置をとる。一方、ダイナミックフォ
ーカスレンズ８によ位置にあるから、最初の状態におい
ては、一般にロッキング中心点と補正の中心点は一致し
ていず、このまま増幅率可変増幅器１７の増幅率を増大
させてもダイナミックフォーカスレンズ８による補正を
有効に行なうことができない。そこで、ポテンショメー
ター１４Ｘ、１４Ｙの出力を調節して、Ｋ （（Ｘｉ
−ａ）２ ＋ （Ｙｉ−ｂ）２）がＯとなる補正の中心
をロッキング中心Ｑに一致させるようにしている。
ォーカスレンズ８と対物レンズ９の軸合せは完全に行な
うことはできないため、電子線ＥＢ（をロッキングした
際の中心点Ｑ（実際に（よ表示されない）は画面の中心
からずれた種々の位置をとる。一方、ダイナミックフォ
ーカスレンズ８によ位置にあるから、最初の状態におい
ては、一般にロッキング中心点と補正の中心点は一致し
ていず、このまま増幅率可変増幅器１７の増幅率を増大
させてもダイナミックフォーカスレンズ８による補正を
有効に行なうことができない。そこで、ポテンショメー
ター１４Ｘ、１４Ｙの出力を調節して、Ｋ （（Ｘｉ
−ａ）２ ＋ （Ｙｉ−ｂ）２）がＯとなる補正の中心
をロッキング中心Ｑに一致させるようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら従来装置におけるこの調節は、ポテンショ
メーター１４Ｘ、１４Ｙの出力を変化させる毎に増幅率
可変増幅器１７の増幅率を増大させて、それによって得
られる画像が第４図（ｄ）に示す如き輝度のムラのある
ものから、第４図（ｅ）に示す如き輝度ムラの無いもの
になるまで、繰り返し試行錯誤により行なわざるを得ず
、調節に時間と熟練を要した。
メーター１４Ｘ、１４Ｙの出力を変化させる毎に増幅率
可変増幅器１７の増幅率を増大させて、それによって得
られる画像が第４図（ｄ）に示す如き輝度のムラのある
ものから、第４図（ｅ）に示す如き輝度ムラの無いもの
になるまで、繰り返し試行錯誤により行なわざるを得ず
、調節に時間と熟練を要した。
本発明はこのような従来の欠点を解決して、簡単且つ短
時間に上記調節を行なうことのできる電子線装置を提供
することを目的としている。
時間に上記調節を行なうことのできる電子線装置を提供
することを目的としている。
［発明の構成］
本発明はＸ方向及びＹ方向走査信号を各々Ｘｉ。
Ｙｌとするとぎ、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にＸｉ、Ｙ
ｉを供給して対物レンズの前焦点面を電子線により走査
すると共に、該対物レンズの近傍に゛配置されたダイナ
ミックフォーカスレンズに、位相値ａ、ｂを含んだ＜Ｘ
ｌ−ａ）２ ＋ （Ｙｉ −ｂ）２なる補正信号を供給
して対物レンズの球面収差に基づく電子線の照射位置の
移動を補正して電子線を角度走査し、該角度走査に伴う
検出信号を該走査に同期走査されている表示手段に導い
てエレクトロンチャンネリングパターンを表示するよう
にした装置において、該位相値ａ、ｂの調節に伴って該
表示手段の画面上の該ａ及びｂの値に対応した位置にマ
ークを表示するための手段を具備することを特徴として
いる。
ｉを供給して対物レンズの前焦点面を電子線により走査
すると共に、該対物レンズの近傍に゛配置されたダイナ
ミックフォーカスレンズに、位相値ａ、ｂを含んだ＜Ｘ
ｌ−ａ）２ ＋ （Ｙｉ −ｂ）２なる補正信号を供給
して対物レンズの球面収差に基づく電子線の照射位置の
移動を補正して電子線を角度走査し、該角度走査に伴う
検出信号を該走査に同期走査されている表示手段に導い
てエレクトロンチャンネリングパターンを表示するよう
にした装置において、該位相値ａ、ｂの調節に伴って該
表示手段の画面上の該ａ及びｂの値に対応した位置にマ
ークを表示するための手段を具備することを特徴として
いる。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第５図は本発明の一実施例を示すためのもので、第５図
においては第２図と同一の構成要素に対して同一番号を
付している。従来と異なり、前記ポテンショメーター１
４Ｘ、１４Ｙの出力信号は各々比較回路２０Ｘ、２０Ｙ
に供給されている。この比較回路２０Ｘ、２０Ｙには各
々前記Ｘ方向及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１
Ｙよりの走査信号も供給されている。この比較回路１４
Ｘ。
においては第２図と同一の構成要素に対して同一番号を
付している。従来と異なり、前記ポテンショメーター１
４Ｘ、１４Ｙの出力信号は各々比較回路２０Ｘ、２０Ｙ
に供給されている。この比較回路２０Ｘ、２０Ｙには各
々前記Ｘ方向及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１
Ｙよりの走査信号も供給されている。この比較回路１４
Ｘ。
１４Ｙの出力信号は加算回路２１に供給されている。こ
の加算回路２１には増幅器１９の出力信号も供給されて
いる。加算回路２１の出力信号は陰極線管ＣＲのグリッ
ドＣＲＣ）に供給されている。
の加算回路２１には増幅器１９の出力信号も供給されて
いる。加算回路２１の出力信号は陰極線管ＣＲのグリッ
ドＣＲＣ）に供給されている。
このような構成において、走査信号発生回路１１’Ｘ’
、ＩＩＹには第３図（ａ）及び（ｂ）に示す如き走査信
号が供給されているが、これら比較回路２０Ｘ、２０Ｙ
はポテンショメーター１４Ｘ。
、ＩＩＹには第３図（ａ）及び（ｂ）に示す如き走査信
号が供給されているが、これら比較回路２０Ｘ、２０Ｙ
はポテンショメーター１４Ｘ。
１４Ｙの出力信号値とＸ及びＹ方向走査信号値が一致し
た際に一致パルスを発生する。この一致パルスは加算回
路１９において二次電子検出器２０よりの画像信号と加
算されて陰極線管ＣＲのグリラドＣＰＣＩに供給される
ため、陰極線管ＯＲの画面上にはポテンショメーター１
４Ｘ、１４Ｙの出力信号値ａ、ｂに対応した位置に第６
図においてＬＸ、Ｌ’Ｖで示す如き輝線が像に重畳して
表示される。そこで、スイッチ３ｘ、ｓｙを閉じてＸ及
びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１’Ｙよりの第３
図（ａ）、（ｂ）に示す如き走査信号を各々加算回路１
．３Ｘ、１３Ｙに供給すれば、増幅率可変増幅器１７を
介してダイナミックフォーカスレ。
た際に一致パルスを発生する。この一致パルスは加算回
路１９において二次電子検出器２０よりの画像信号と加
算されて陰極線管ＣＲのグリラドＣＰＣＩに供給される
ため、陰極線管ＯＲの画面上にはポテンショメーター１
４Ｘ、１４Ｙの出力信号値ａ、ｂに対応した位置に第６
図においてＬＸ、Ｌ’Ｖで示す如き輝線が像に重畳して
表示される。そこで、スイッチ３ｘ、ｓｙを閉じてＸ及
びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ、１１’Ｙよりの第３
図（ａ）、（ｂ）に示す如き走査信号を各々加算回路１
．３Ｘ、１３Ｙに供給すれば、増幅率可変増幅器１７を
介してダイナミックフォーカスレ。
ンズ８にはＫを比例定数とするとき、Ｋ （（Ｘｉ−ａ
）２＋ （Ｙｉ−ｂ）２ ）なる信号が供給されるため
、前記第４図（Ｃ）に示す像と同様の像を陰極線管１０
に表示することができる。そこで、この画面が得られた
ら、ポテンショメーター１４Ｘ、１４Ｙの出力信号を調
節して、第６図において点線で示すように、輝線の交点
Ｕがロッキング中心点Ｑに一致するようにする。その結
果、ロッキング中心点Ｑにおいて、ダイナミックフォー
カスレンズ９に供給される補正信号値はＯとなり、この
ロッキング中心を補正中心として対物レンズ８の球面収
差が補正される。そこで、増幅率可変増幅器１７の増幅
率を増大させれば、第４図（ｅ）に示した像と同様の明
るさムラのない像が得られる。このようにして調節が完
了できるので、試料を観察すべき試料に交換すれば、ダ
イナミックフォーカスレンズ８による補正の中心をロッ
キングの中心点に一致させて補正が行なわれるため、試
料上の極めて狭い領域にのみ電子線を照射した状態でロ
ッキングを行なうことができ、極微小領域のエレクトロ
ンチャンネリングパターンを陰極線管１０上に表示する
ことができる。
）２＋ （Ｙｉ−ｂ）２ ）なる信号が供給されるため
、前記第４図（Ｃ）に示す像と同様の像を陰極線管１０
に表示することができる。そこで、この画面が得られた
ら、ポテンショメーター１４Ｘ、１４Ｙの出力信号を調
節して、第６図において点線で示すように、輝線の交点
Ｕがロッキング中心点Ｑに一致するようにする。その結
果、ロッキング中心点Ｑにおいて、ダイナミックフォー
カスレンズ９に供給される補正信号値はＯとなり、この
ロッキング中心を補正中心として対物レンズ８の球面収
差が補正される。そこで、増幅率可変増幅器１７の増幅
率を増大させれば、第４図（ｅ）に示した像と同様の明
るさムラのない像が得られる。このようにして調節が完
了できるので、試料を観察すべき試料に交換すれば、ダ
イナミックフォーカスレンズ８による補正の中心をロッ
キングの中心点に一致させて補正が行なわれるため、試
料上の極めて狭い領域にのみ電子線を照射した状態でロ
ッキングを行なうことができ、極微小領域のエレクトロ
ンチャンネリングパターンを陰極線管１０上に表示する
ことができる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明に基づく装置
によれば、ダイナミックフォーカスレンズによる補正の
中心をロッキングの中心に一致させるための調節を簡単
且つ短時間に行なうことができ、この種の電子線装置の
操作性を向上させることができる。
によれば、ダイナミックフォーカスレンズによる補正の
中心をロッキングの中心に一致させるための調節を簡単
且つ短時間に行なうことができ、この種の電子線装置の
操作性を向上させることができる。
第１図は、エレクトロンチャンネリングパターンを得る
ための装置の基本的な構成を示すための図、第２図は従
来装置を例示するための図、第３図は第２図及び第５図
に示す装置の各回路よりの出力信号を例示するための図
、第４図は従来における陰極線管の表示像を説明するた
めの図、第５図は本発明の一実施例を説明するための図
である。 第６図は一実施例装置の動作を説明するための図である
。 １：電子銃、ＥＢ：電子線、２，３：集束レンズ、４：
対物絞り、５ａ、、ｘ、５ａｙ、５ｂｘ、５ｂｙ：走査
コイル、６ａｘ、６ａｙ、６ｂｘ、６ｂｙ：アライメン
ト用コイル、７ａｘ、７ａｙ。 ７ｂｘ、７ｂｙ：偏向電源、８：ダイナミックフォーカ
スレンズ、９：対物レンズ、１０：試料、１１、Ｘ、
１１ Ｙ ：走査信号発生回路、１’２Ｘ’、１２Ｙ：
スイッチ回路、ＣＲ：陰極線管、Ｓｘ、Ｓｙ：スイッチ
、１３Ｘ、１３Ｙ、１６．２１：加算回路、１４Ｘ、１
４Ｙ：ポテンショメーター、１５Ｘ、１・５Ｙ：二乗回
路、１７：増幅率可変増幅器、１８：二次電子検出器、
１９：増幅器、２ＯＸ、２０Ｙ：比較回路。
ための装置の基本的な構成を示すための図、第２図は従
来装置を例示するための図、第３図は第２図及び第５図
に示す装置の各回路よりの出力信号を例示するための図
、第４図は従来における陰極線管の表示像を説明するた
めの図、第５図は本発明の一実施例を説明するための図
である。 第６図は一実施例装置の動作を説明するための図である
。 １：電子銃、ＥＢ：電子線、２，３：集束レンズ、４：
対物絞り、５ａ、、ｘ、５ａｙ、５ｂｘ、５ｂｙ：走査
コイル、６ａｘ、６ａｙ、６ｂｘ、６ｂｙ：アライメン
ト用コイル、７ａｘ、７ａｙ。 ７ｂｘ、７ｂｙ：偏向電源、８：ダイナミックフォーカ
スレンズ、９：対物レンズ、１０：試料、１１、Ｘ、
１１ Ｙ ：走査信号発生回路、１’２Ｘ’、１２Ｙ：
スイッチ回路、ＣＲ：陰極線管、Ｓｘ、Ｓｙ：スイッチ
、１３Ｘ、１３Ｙ、１６．２１：加算回路、１４Ｘ、１
４Ｙ：ポテンショメーター、１５Ｘ、１・５Ｙ：二乗回
路、１７：増幅率可変増幅器、１８：二次電子検出器、
１９：増幅器、２ＯＸ、２０Ｙ：比較回路。
Claims (1)
- Ｘ方向及びＹ方向走査信号を各々Ｘｉ、Ｙｉとするとき
、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にＸｉ、Ｙｉを供給して対
物レンズの前焦点面を電子線により走査すると共に、該
対物レンズの近傍に配置されたダイナミックフォーカス
レンズに、位相値ａ、ｂを含んだ（Ｘｉ−ａ）＾２＋（
Ｙｉ−ｂ）＾２なる補正信号を供給して対物レンズの球
面収差に基づく電子線の照射位置の移動を補正して電子
線を角度走査し、該角度走査に伴う検出信号を該走査に
同期走査されている表示手段に導いてエレクトロンチャ
ンネリングパターンを表示するようにした装置において
、該位相値ａ、ｂの調節に伴って該表示手段の画面上の
該ａ及びｂの値に対応した位置にマークを表示するため
の手段を具備することを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125743A JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125743A JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614145A true JPS614145A (ja) | 1986-01-10 |
| JPH035020B2 JPH035020B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=14917693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59125743A Granted JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614145A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12347640B2 (en) | 2018-06-04 | 2025-07-01 | Hitachi High-Tech Corporation | Electron beam apparatus |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP59125743A patent/JPS614145A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12347640B2 (en) | 2018-06-04 | 2025-07-01 | Hitachi High-Tech Corporation | Electron beam apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH035020B2 (ja) | 1991-01-24 |
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