JPH0351099B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0351099B2 JPH0351099B2 JP20942081A JP20942081A JPH0351099B2 JP H0351099 B2 JPH0351099 B2 JP H0351099B2 JP 20942081 A JP20942081 A JP 20942081A JP 20942081 A JP20942081 A JP 20942081A JP H0351099 B2 JPH0351099 B2 JP H0351099B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork
- jig
- straightness
- barrier wall
- furnace tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高温熱処理用として開発されたソフト
ランデイング装置に関し、特にウエーハ等の被処
理物を炉内に出し入れするフオークの真直度を修
正する際に使用する修正治具に関するものであ
る。
ランデイング装置に関し、特にウエーハ等の被処
理物を炉内に出し入れするフオークの真直度を修
正する際に使用する修正治具に関するものであ
る。
半導体製造工程においては、ウエーハ等の被処
理物を拡散、CVD、アニール処理するための熱
処理炉を使用しており、このためウエーハを炉に
出し入れするボートローデイング装置が必要とさ
れる。この種の装置として、従来ではボートロー
ダ法に基づく装置やパドル法に基づく装置が採用
されているが、ボートローダ法ではウエーハ治具
を内管内で移動させる際に接触部から塵埃が発生
してウエーハ欠陥の原因をつくるという欠点があ
り、またパドル法では長棒（パドル）を内管内に
挿入したまま熱処理を行なうために炉内に温度変
化を生じさせ、一定した温度下での熱処理ができ
ないという欠点がある。
理物を拡散、CVD、アニール処理するための熱
処理炉を使用しており、このためウエーハを炉に
出し入れするボートローデイング装置が必要とさ
れる。この種の装置として、従来ではボートロー
ダ法に基づく装置やパドル法に基づく装置が採用
されているが、ボートローダ法ではウエーハ治具
を内管内で移動させる際に接触部から塵埃が発生
してウエーハ欠陥の原因をつくるという欠点があ
り、またパドル法では長棒（パドル）を内管内に
挿入したまま熱処理を行なうために炉内に温度変
化を生じさせ、一定した温度下での熱処理ができ
ないという欠点がある。
このため、本出願人はこれらの欠点を除去した
ソフトランデイング装置を開発しかつ提案してい
る。この装置によれば、半導体ウエーハ等の被処
理物を石英製のフオーク先端に搭載し、このフオ
ークを炉内管に接触させないようにして出し入れ
することにより被処理物を炉内外に出し入れで
き、しかもこのときフオークは炉内管と非接触状
態に保たれるため塵埃が発生することはなく、ま
た炉内管で被処理物を自由に搭、降載してその移
動は自由であるため一定した温度下での熱処理を
行なうことができるという利益を得ることができ
る。
ソフトランデイング装置を開発しかつ提案してい
る。この装置によれば、半導体ウエーハ等の被処
理物を石英製のフオーク先端に搭載し、このフオ
ークを炉内管に接触させないようにして出し入れ
することにより被処理物を炉内外に出し入れで
き、しかもこのときフオークは炉内管と非接触状
態に保たれるため塵埃が発生することはなく、ま
た炉内管で被処理物を自由に搭、降載してその移
動は自由であるため一定した温度下での熱処理を
行なうことができるという利益を得ることができ
る。
ところで、このソフトランデイング装置に使用
するフオークは、第１図に示すように、石英製の
円筒部材１の一端部２をその長さの略1/3にわた
つて削り取り、この削り取つた残りの部位３をウ
エーハないしウエーハ治具の搭載部として形成し
た構成となつている。このため、形成されたフオ
ークはその素材が石英であるがために特に前記搭
載部３において外部の温度変化や温度変化と外力
とによつて曲がりが生じ易い。このような曲り
は、特に近年のように炉内管径が小さく設計され
ている場合には炉内管とフオークとの間の隙間は
それだけ少なく、したがつて曲りによつて炉内管
とフオークとが接触されるという不具合が生じる
ことになる。
するフオークは、第１図に示すように、石英製の
円筒部材１の一端部２をその長さの略1/3にわた
つて削り取り、この削り取つた残りの部位３をウ
エーハないしウエーハ治具の搭載部として形成し
た構成となつている。このため、形成されたフオ
ークはその素材が石英であるがために特に前記搭
載部３において外部の温度変化や温度変化と外力
とによつて曲がりが生じ易い。このような曲り
は、特に近年のように炉内管径が小さく設計され
ている場合には炉内管とフオークとの間の隙間は
それだけ少なく、したがつて曲りによつて炉内管
とフオークとが接触されるという不具合が生じる
ことになる。
このため、本出願人はレーザ光線の直進性を利
用してフオークの曲がりを確認しながらフオーク
の各部の曲りを修正することにより、作業者の勘
や熟練度に頼ることなく高能率にかつ良好にフオ
ークの真直度を修正する方法を開発し、既に実用
化を行なつている。しかしながら、この方法を行
なう場合、レーザ光線とフオークとの真直度を高
精度に確認するためには何等かの治具を使用する
ことが好ましい。
用してフオークの曲がりを確認しながらフオーク
の各部の曲りを修正することにより、作業者の勘
や熟練度に頼ることなく高能率にかつ良好にフオ
ークの真直度を修正する方法を開発し、既に実用
化を行なつている。しかしながら、この方法を行
なう場合、レーザ光線とフオークとの真直度を高
精度に確認するためには何等かの治具を使用する
ことが好ましい。
したがつて本発明の目的はフオークの内底面上
を円周方向に転動する転動輪をその下部に有する
衝壁に重錘と透孔を付設した治具を構成すること
により、これらの治具を複数個用いればレーザ光
線とフオークとの真直度の確認を極めて簡単にか
つ高精度に行なうことができる真直度修正治具を
提供することにある。
を円周方向に転動する転動輪をその下部に有する
衝壁に重錘と透孔を付設した治具を構成すること
により、これらの治具を複数個用いればレーザ光
線とフオークとの真直度の確認を極めて簡単にか
つ高精度に行なうことができる真直度修正治具を
提供することにある。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図はソフトランデイング装置１０を示して
おり、詳細な図示を省略した熱処理炉の石英製の
炉内管１１の開口側に隣設してあり、ウエーハ治
具１２上に整列載置したウエーハ１３をこのウエ
ーハ治具１２と共に前記炉内管１１内に搬入しか
つ取出すことができる。即ち、ソフトランデイン
グ装置１０は基台１４とこの基台の後部に立設し
た背壁１５とを有しており、この背壁１５には前
記炉内管１１の管軸方向（以下、前後方向と称す
る）に延設した一対のガイドレール１６，１６を
上下に配置している。このガイドレール１６，１
６には支持台１７を滑動可能に嵌合させ、かつこ
の支持台１７の一部に形成したブロツク１７ａに
は前記ガイドレールと平行にかつ軸転可能に背壁
１５に支架した送り軸１８を嵌挿している。この
送り軸１８はその一端に固着したプーリ１９を前
後動モータ２０にベルト２１連結して軸転され、
軸転されたときには前記ブロツク１７ａ内に内装
した機構によつて前記支持台１７を前後方向に移
動できる。一方、前記支持台１７は上下に立設し
たガイドロツド２２を有しており、略Ｌ字型に形
成した可動台２３を上下動可能に支持している。
おり、詳細な図示を省略した熱処理炉の石英製の
炉内管１１の開口側に隣設してあり、ウエーハ治
具１２上に整列載置したウエーハ１３をこのウエ
ーハ治具１２と共に前記炉内管１１内に搬入しか
つ取出すことができる。即ち、ソフトランデイン
グ装置１０は基台１４とこの基台の後部に立設し
た背壁１５とを有しており、この背壁１５には前
記炉内管１１の管軸方向（以下、前後方向と称す
る）に延設した一対のガイドレール１６，１６を
上下に配置している。このガイドレール１６，１
６には支持台１７を滑動可能に嵌合させ、かつこ
の支持台１７の一部に形成したブロツク１７ａに
は前記ガイドレールと平行にかつ軸転可能に背壁
１５に支架した送り軸１８を嵌挿している。この
送り軸１８はその一端に固着したプーリ１９を前
後動モータ２０にベルト２１連結して軸転され、
軸転されたときには前記ブロツク１７ａ内に内装
した機構によつて前記支持台１７を前後方向に移
動できる。一方、前記支持台１７は上下に立設し
たガイドロツド２２を有しており、略Ｌ字型に形
成した可動台２３を上下動可能に支持している。
前記可動台２３の水平部上には前後方向と直角
な方向（以下、左右方向と称する）に移動可能な
滑動台２４を載置し、左右調節ボルト２５により
可動台２３上での滑動台２４の左右位置を調整で
きる。この滑動台２４上にはフオークを支持する
上下揺動台２６を支持し、その下側に設けた偏心
カム２７をモータ２８にて回転することにより上
下揺動台２６を揺動することができる。この上下
揺動台２６上にはフオーク受台２９をボルト３０
にて取付け、更にこの受台２９上にはフオーク３
１を二本のベルト２９ａにより固定している。前
記フオーク３１は石英製の円筒部材からなり、そ
の基部３１ａをフオーク受台２９に載せ、前記ベ
ルト２９ａをその周囲に巻締て固定する一方、そ
の長さ方向の略1/3の先端部上側を削り取つて搭
載部３１ｂを形成し、この搭載部３１ｂ上に前記
ウエーハ治具１２を搭載することができる。
な方向（以下、左右方向と称する）に移動可能な
滑動台２４を載置し、左右調節ボルト２５により
可動台２３上での滑動台２４の左右位置を調整で
きる。この滑動台２４上にはフオークを支持する
上下揺動台２６を支持し、その下側に設けた偏心
カム２７をモータ２８にて回転することにより上
下揺動台２６を揺動することができる。この上下
揺動台２６上にはフオーク受台２９をボルト３０
にて取付け、更にこの受台２９上にはフオーク３
１を二本のベルト２９ａにより固定している。前
記フオーク３１は石英製の円筒部材からなり、そ
の基部３１ａをフオーク受台２９に載せ、前記ベ
ルト２９ａをその周囲に巻締て固定する一方、そ
の長さ方向の略1/3の先端部上側を削り取つて搭
載部３１ｂを形成し、この搭載部３１ｂ上に前記
ウエーハ治具１２を搭載することができる。
このソフトランデイング装置によれば、フオー
ク３１の搭載部３１ｂ上にウエーハ等を載置した
上でモータ２０を作動すれば、支持台１７はガイ
ドレール１６に沿つて前進し、フオーク３１を炉
内管１１内に進入させる。このとき、ウエーハ等
を搭載したことによりフオーク３１が先端側に向
けて下方に変形されれば、モータ２８を作動させ
て上下揺動台２６を上方へ揺動させることにより
フオークの搭載部３１ｂおよびウエーハ等を水平
状態に保つことができる。そして、フオーク３１
を炉内管１１内へ進入させた後はガイドロツド２
２に沿つて可動台２３を微小下動させればウエー
ハ等を炉内管１１内に配置することができ、以後
フオークを炉内管１１から退出させ或いは炉内管
の開口部近傍で待機させることは自由である。ま
た、このようにして設置したウエーハ等はその熱
処理の完了後に前述と逆のフオーク作動によつて
炉内管外に取り出すことができる。
ク３１の搭載部３１ｂ上にウエーハ等を載置した
上でモータ２０を作動すれば、支持台１７はガイ
ドレール１６に沿つて前進し、フオーク３１を炉
内管１１内に進入させる。このとき、ウエーハ等
を搭載したことによりフオーク３１が先端側に向
けて下方に変形されれば、モータ２８を作動させ
て上下揺動台２６を上方へ揺動させることにより
フオークの搭載部３１ｂおよびウエーハ等を水平
状態に保つことができる。そして、フオーク３１
を炉内管１１内へ進入させた後はガイドロツド２
２に沿つて可動台２３を微小下動させればウエー
ハ等を炉内管１１内に配置することができ、以後
フオークを炉内管１１から退出させ或いは炉内管
の開口部近傍で待機させることは自由である。ま
た、このようにして設置したウエーハ等はその熱
処理の完了後に前述と逆のフオーク作動によつて
炉内管外に取り出すことができる。
そして、前記フオーク３１の真直度の修正に使
用する治具３２は、第３図に示すように略方形の
衝壁３３の下部四隅に転動輪３４を夫々取着し、
この治具３２をフオーク３１の内底面上に載せた
ときには転動輪３４はフオーク３１の円周方向に
転動することができる。また、前記衝壁３３の中
央下部には重錘３５を取着して衝壁３３が常に立
直状態に保持できるようにし、かつこの立直状態
でのフオーク中心軸に相当する衝壁位置にはレー
ザ光線が通過し得る透孔３６を形成している。そ
して、これらの治具３２は同一規格のものを少な
くとも３個使用してフオークの真直度の修正に使
用する。
用する治具３２は、第３図に示すように略方形の
衝壁３３の下部四隅に転動輪３４を夫々取着し、
この治具３２をフオーク３１の内底面上に載せた
ときには転動輪３４はフオーク３１の円周方向に
転動することができる。また、前記衝壁３３の中
央下部には重錘３５を取着して衝壁３３が常に立
直状態に保持できるようにし、かつこの立直状態
でのフオーク中心軸に相当する衝壁位置にはレー
ザ光線が通過し得る透孔３６を形成している。そ
して、これらの治具３２は同一規格のものを少な
くとも３個使用してフオークの真直度の修正に使
用する。
即ち、前記フオーク３１の真直度の修正に際し
ては、第４図に示すようにフオーク３１をその基
部３７において適宜の支持台３８により略水平に
支持した上で、フオーク３１内の異なる二箇所に
夫々前記治具３２Ａ，３２Ｂを設置し、更にこれ
ら治具３２Ａ，３２Ｂと異なる位置（修正位置）
に治具３２Ｃを載置する。また、フオーク３１の
基部３７側の支持台３８上にはレーザ発信機３９
を配設し、射出されるレーザ光をフオークの中心
軸位置に設定している。
ては、第４図に示すようにフオーク３１をその基
部３７において適宜の支持台３８により略水平に
支持した上で、フオーク３１内の異なる二箇所に
夫々前記治具３２Ａ，３２Ｂを設置し、更にこれ
ら治具３２Ａ，３２Ｂと異なる位置（修正位置）
に治具３２Ｃを載置する。また、フオーク３１の
基部３７側の支持台３８上にはレーザ発信機３９
を配設し、射出されるレーザ光をフオークの中心
軸位置に設定している。
したがつて、このレーザ発信機３９のレーザ光
が治具３２Ａ，３２Ｂの透孔３６Ａ，３６Ｂを
夫々通過するようにレーザ発信機３９を設定すれ
ば、このレーザ光はフオークの中心軸として規定
されることになる。このレーザ光は肉眼にて確認
できるため、修正作業者は治具３２Ｃをフオーク
３１内で軸方向に移動しながらレーザ光が透孔３
６Ｃを通過するか否かを確認するだけでフオーク
の曲りを認めることができる。つまり、レーザ光
が治具３２Ｃの透孔３６Ｃを通過する箇所には曲
りはないが、レーザ光が衝壁３３に当つたときに
はそのフオーク位置に曲りが生じているのであ
る。これにより、作業者は治具を移動させてフオ
ークの曲りを確認しながらフオークの曲り箇所に
例えば炎を当ててフオークを軟化させかつこれを
真直方向に修正するようにするだけでフオークの
真直度の修正を行なうことができるのである。
が治具３２Ａ，３２Ｂの透孔３６Ａ，３６Ｂを
夫々通過するようにレーザ発信機３９を設定すれ
ば、このレーザ光はフオークの中心軸として規定
されることになる。このレーザ光は肉眼にて確認
できるため、修正作業者は治具３２Ｃをフオーク
３１内で軸方向に移動しながらレーザ光が透孔３
６Ｃを通過するか否かを確認するだけでフオーク
の曲りを認めることができる。つまり、レーザ光
が治具３２Ｃの透孔３６Ｃを通過する箇所には曲
りはないが、レーザ光が衝壁３３に当つたときに
はそのフオーク位置に曲りが生じているのであ
る。これにより、作業者は治具を移動させてフオ
ークの曲りを確認しながらフオークの曲り箇所に
例えば炎を当ててフオークを軟化させかつこれを
真直方向に修正するようにするだけでフオークの
真直度の修正を行なうことができるのである。
この結果、肉眼によりフオークの真直度を確認
しながらフオークの真直度の修正を行なうことが
でき、作業者の勘や熟練度を殆んど必要とせずに
良好な修正を高効率で行なうことができる。
しながらフオークの真直度の修正を行なうことが
でき、作業者の勘や熟練度を殆んど必要とせずに
良好な修正を高効率で行なうことができる。
ここで、治具３２に形成した透孔３６は特にフ
オークの中心軸位置に合わせる必要はなく、任意
の位置であつてもよい。また、転動輪や重錘の配
置等は適宜の変形は可能である。
オークの中心軸位置に合わせる必要はなく、任意
の位置であつてもよい。また、転動輪や重錘の配
置等は適宜の変形は可能である。
以下のように本発明の修正治具によれば、転動
輪を有する衝壁に重錘や透孔を設けた構成とし、
この治具を複数個組合わせてレーザ光を利用しな
がらフオークの修正を行なうことができるので、
フオークの真直度の修正を高効率かつ高精度に行
なうことができるという効果を奏する。
輪を有する衝壁に重錘や透孔を設けた構成とし、
この治具を複数個組合わせてレーザ光を利用しな
がらフオークの修正を行なうことができるので、
フオークの真直度の修正を高効率かつ高精度に行
なうことができるという効果を奏する。
また、本発明は、芯合わせ治具を用いることに
より、ソフトランデイング装置のフオークと炉内
管との位置合わせ（芯合せ）を容易に行なうもの
であり、上記位置合わせを行なうためにレーザ光
線による位置合わせ方法を考案し、その目標物と
してかかる芯合わせ治具を開発したものである。
すなわち、炉管左右に治具を置き、この治具のタ
ーゲツト孔をレーザ光が通過するようにレーザ発
振器を設置するものである。また、フオークを設
置し、フオークに治具をのせ、この治具のターゲ
ツト孔をレーザ光が通過するようにフオークの位
置を調整するものである。
より、ソフトランデイング装置のフオークと炉内
管との位置合わせ（芯合せ）を容易に行なうもの
であり、上記位置合わせを行なうためにレーザ光
線による位置合わせ方法を考案し、その目標物と
してかかる芯合わせ治具を開発したものである。
すなわち、炉管左右に治具を置き、この治具のタ
ーゲツト孔をレーザ光が通過するようにレーザ発
振器を設置するものである。また、フオークを設
置し、フオークに治具をのせ、この治具のターゲ
ツト孔をレーザ光が通過するようにフオークの位
置を調整するものである。
第１図はフオークの斜視図、第２図はソフトラ
ンデイング装置の斜視図、第３図は治具の斜視
図、第４図は修正方法の斜視図である。 １０……ソフトランデイング装置、１１……炉
内管、１２……ウエーハ治具、１７……支持台、
２０……前後動モータ、２６……上下揺動台、２
７……偏心カム、３１……フオーク、３２，３２
Ａ〜３２Ｃ……治具、３３……衝壁、３４……転
動輪、３５……重錘、３６……透孔。
ンデイング装置の斜視図、第３図は治具の斜視
図、第４図は修正方法の斜視図である。 １０……ソフトランデイング装置、１１……炉
内管、１２……ウエーハ治具、１７……支持台、
２０……前後動モータ、２６……上下揺動台、２
７……偏心カム、３１……フオーク、３２，３２
Ａ〜３２Ｃ……治具、３３……衝壁、３４……転
動輪、３５……重錘、３６……透孔。
Claims (1)
- １ フオークの内底面上を円周方向に転動する転
動輪をその下部に有する衝壁と、この衝壁の下部
に取着して衝壁を常に立直状態に保つ重錘と、前
記衝壁の一部に形成し、フオークの一端側から軸
方向に投射したレーザ光を透過させる透孔とを備
えることを特徴とするソフトランデイング装置に
おけるフオークの真直度修正治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20942081A JPS58111340A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | ソフトランディング装置におけるフォ−クの真直度修正治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20942081A JPS58111340A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | ソフトランディング装置におけるフォ−クの真直度修正治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111340A JPS58111340A (ja) | 1983-07-02 |
| JPH0351099B2 true JPH0351099B2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=16572572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20942081A Granted JPS58111340A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | ソフトランディング装置におけるフォ−クの真直度修正治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111340A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437033U (ja) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP20942081A patent/JPS58111340A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58111340A (ja) | 1983-07-02 |
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