JPH0351802A - 多層反射防止フイルムの製造法 - Google Patents
多層反射防止フイルムの製造法Info
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- JPH0351802A JPH0351802A JP1188096A JP18809689A JPH0351802A JP H0351802 A JPH0351802 A JP H0351802A JP 1188096 A JP1188096 A JP 1188096A JP 18809689 A JP18809689 A JP 18809689A JP H0351802 A JPH0351802 A JP H0351802A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は巻取式真空蒸着装置を用いた多層反射防止フィ
ルムの製造法に関する。
ルムの製造法に関する。
各種コンピュータのデイスプレィやテレビのブラウン管
などに用いる反射防止フィルムとして、基材フィルム上
に高屈折率誘電体からなる第１層と低屈折率誘電体から
なる第２層との２層構成の反射防止層を設けたものが知
られている。
などに用いる反射防止フィルムとして、基材フィルム上
に高屈折率誘電体からなる第１層と低屈折率誘電体から
なる第２層との２層構成の反射防止層を設けたものが知
られている。
このような反射防止層の形成を真空蒸着法で行うときに
は、第１層と第２Ｎとの形成に別種の誘電体材料が必要
であるうえに、両層を順番に形成しなければならず、こ
の場合第１層の形成後に蒸着装置をリークし、蒸発源の
変更、蒸着装置の清掃、真空引きなどの面倒な手続きを
必要とするため、作業性に著しく劣るという難点がある
。
は、第１層と第２Ｎとの形成に別種の誘電体材料が必要
であるうえに、両層を順番に形成しなければならず、こ
の場合第１層の形成後に蒸着装置をリークし、蒸発源の
変更、蒸着装置の清掃、真空引きなどの面倒な手続きを
必要とするため、作業性に著しく劣るという難点がある
。
このため、生産設備としては、従来より、−度に大面積
の誘電体層を形成しうる巻取式真空蒸着装置、すなわち
、真空チャンバー内の供給ロールと巻取ロールとの間に
導通されて蒸着ロール面に沿って流れるフィルム基材に
対し上記の蒸着ロール上で蒸発源の真空蒸着を連続的に
行うようにした蒸着装置が開発されている。
の誘電体層を形成しうる巻取式真空蒸着装置、すなわち
、真空チャンバー内の供給ロールと巻取ロールとの間に
導通されて蒸着ロール面に沿って流れるフィルム基材に
対し上記の蒸着ロール上で蒸発源の真空蒸着を連続的に
行うようにした蒸着装置が開発されている。
しかるに、このような巻取式真空蒸着装置によって、生
産性のある程度の向上を図ることはできても、第１層と
第２層とを別々に形成しなければならないことに変わり
はないため、蒸発源の変更やそれに伴う蒸着装置の清掃
などはやはり必要で、むしろこれらの手続きはバッチ式
装置に較べてさらに繁雑になるきらいがある。
産性のある程度の向上を図ることはできても、第１層と
第２層とを別々に形成しなければならないことに変わり
はないため、蒸発源の変更やそれに伴う蒸着装置の清掃
などはやはり必要で、むしろこれらの手続きはバッチ式
装置に較べてさらに繁雑になるきらいがある。
ところで、この発明者らは、先に１．ＺｒＯ，の如き高
屈折率の誘電体材料をフィルム基材に対して斜めに蒸着
したとき、通常の垂直蒸着を行ったときよりもその屈折
率が低くなることに気付き、これを利用して、ひとつの
誘電体材料から、垂直蒸着膜からなる高屈折率誘電体層
と斜め蒸着膜からなる低屈折率誘電体層との２層構成の
反射防止層を形成する方法を見い出している。
屈折率の誘電体材料をフィルム基材に対して斜めに蒸着
したとき、通常の垂直蒸着を行ったときよりもその屈折
率が低くなることに気付き、これを利用して、ひとつの
誘電体材料から、垂直蒸着膜からなる高屈折率誘電体層
と斜め蒸着膜からなる低屈折率誘電体層との２層構成の
反射防止層を形成する方法を見い出している。
この発明は、この先行発明に係る方法を前記した巻取式
真空蒸着装置に応用することにより、多層反射防止フィ
ルムの生産性と作業性とをより一段と改善することを目
的としている。
真空蒸着装置に応用することにより、多層反射防止フィ
ルムの生産性と作業性とをより一段と改善することを目
的としている。
この発明者らは、上記の応用に際し、巻取式真空蒸着装
置の蒸着ロールと蒸発源との間に、フィルム基材の流れ
方向に垂直蒸着膜と斜め蒸着膜とを順次連続的に形成す
るための特定の防着板を介在させることにより、上記の
目的をみごと達成できることを知り、この発明を完成し
た。
置の蒸着ロールと蒸発源との間に、フィルム基材の流れ
方向に垂直蒸着膜と斜め蒸着膜とを順次連続的に形成す
るための特定の防着板を介在させることにより、上記の
目的をみごと達成できることを知り、この発明を完成し
た。
すなわち、この発明は、蒸着ロール面に沿って流れるフ
ィルム基材に対し上記ロール上で蒸発源の真空蒸着を行
う巻取式真空蒸着装置を用いて、フィルム基材上に高屈
折率誘電体層と低屈折率誘電体層との２Ｎ構成の反射防
止層を形成するにあたり、上記の蒸着ロールと蒸発源と
の間に、垂直蒸着膜形成用の透孔と斜め蒸着膜形成用の
透孔とを有する防着板を介在させることにより、ひとつ
の蒸発源を使って、フィルム基材上に垂直蒸着膜からな
る高屈折率誘電体層と斜め蒸着膜からなる低屈折率誘電
体層とをこの順に連続的に積層形成することを特徴とす
る多層反射防止フィルムの製造法に係るものである。
ィルム基材に対し上記ロール上で蒸発源の真空蒸着を行
う巻取式真空蒸着装置を用いて、フィルム基材上に高屈
折率誘電体層と低屈折率誘電体層との２Ｎ構成の反射防
止層を形成するにあたり、上記の蒸着ロールと蒸発源と
の間に、垂直蒸着膜形成用の透孔と斜め蒸着膜形成用の
透孔とを有する防着板を介在させることにより、ひとつ
の蒸発源を使って、フィルム基材上に垂直蒸着膜からな
る高屈折率誘電体層と斜め蒸着膜からなる低屈折率誘電
体層とをこの順に連続的に積層形成することを特徴とす
る多層反射防止フィルムの製造法に係るものである。
以下、この発明の多層反射防止フィルムの製造法を図面
を参考にして説明する。
を参考にして説明する。
第１図はこの発明に用いる巻取式真空蒸着装置の一例を
示したもので、この装置は、真空チャンバー１内の供給
ロール２と巻取ロール３との間に導通されて蒸着ロール
４面に沿って流れるフィルム基材５に、上記蒸着ロール
４上で蒸発源６の真空蒸着を行う構成とされ、かつ上記
の蒸着ロール４と蒸発源６との間に、垂直蒸着膜形成用
の透孔７ａと斜め蒸着膜形成用の透孔７ｂとを有する防
着板７が介在されている。
示したもので、この装置は、真空チャンバー１内の供給
ロール２と巻取ロール３との間に導通されて蒸着ロール
４面に沿って流れるフィルム基材５に、上記蒸着ロール
４上で蒸発源６の真空蒸着を行う構成とされ、かつ上記
の蒸着ロール４と蒸発源６との間に、垂直蒸着膜形成用
の透孔７ａと斜め蒸着膜形成用の透孔７ｂとを有する防
着板７が介在されている。
この装置を用いて、フィルム基材５を一定速度で走行さ
せながら、この基材５への蒸発源６の真空蒸着を適宜の
加熱手段で行うと、まず最初に、防着板７の透孔７ａを
介して蒸着ロール４上の４Ａ部分で垂直の蒸着膜が形成
され、ついでこの垂直の蒸着膜上に、それ自身の走行に
伴い、防着板７の透孔７ｂを介して蒸着ロール４上の４
Ｂ部分でさらに斜めの蒸着膜が形成される。
せながら、この基材５への蒸発源６の真空蒸着を適宜の
加熱手段で行うと、まず最初に、防着板７の透孔７ａを
介して蒸着ロール４上の４Ａ部分で垂直の蒸着膜が形成
され、ついでこの垂直の蒸着膜上に、それ自身の走行に
伴い、防着板７の透孔７ｂを介して蒸着ロール４上の４
Ｂ部分でさらに斜めの蒸着膜が形成される。
ここで、蒸発源６として高屈折率の誘電体材料を選択す
ると、第２図に示すように、フィルム基材５上に、垂直
蒸着膜である高屈折率の誘電体層６０Ａからなる第１層
と、斜め蒸着膜である低屈折率の誘電体層６０Ｂからな
る第２層とが、この順に連続的に積層形成されることに
なる。つまり、この方法によれば、ひとつの誘電体材料
を使用して、フィルム基材５上に上記の両層６０Ａ、６
０Ｂからなる２層構成の反射防止層６０を有する多層反
射防止フィルムを、生産性および作業性良好に形成でき
るのである。
ると、第２図に示すように、フィルム基材５上に、垂直
蒸着膜である高屈折率の誘電体層６０Ａからなる第１層
と、斜め蒸着膜である低屈折率の誘電体層６０Ｂからな
る第２層とが、この順に連続的に積層形成されることに
なる。つまり、この方法によれば、ひとつの誘電体材料
を使用して、フィルム基材５上に上記の両層６０Ａ、６
０Ｂからなる２層構成の反射防止層６０を有する多層反
射防止フィルムを、生産性および作業性良好に形成でき
るのである。
この発明において、上記のフィルム基材５としては、透
明性を有するプラスチックフィルムが用いられ、具体的
にはポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポ
リエチレン、ポリカーボネート、ポリアクリル樹脂、ポ
リプロピレン、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイ
ドなどのフィルムが挙げられる。これらフィルムの厚み
としては、通常１０〜２００μｍ程度の範囲にされてい
るのが望ましい。
明性を有するプラスチックフィルムが用いられ、具体的
にはポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポ
リエチレン、ポリカーボネート、ポリアクリル樹脂、ポ
リプロピレン、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイ
ドなどのフィルムが挙げられる。これらフィルムの厚み
としては、通常１０〜２００μｍ程度の範囲にされてい
るのが望ましい。
蒸発源６には、ＺｒＯ□のほか、ＺｒＯ□とＡＩ□０３
との混合物、Ｙ ｚ Ｏｓ 、Ｔ １０ ｚなどの高屈
折率の誘電体材料が用いられる。この材料から形成され
る垂直蒸着膜よりなる第１の誘電体層６０Ａは、その屈
折率が１．８〜２．１の範囲にあり、また斜め蒸着膜よ
りなる第２の誘電体層６０Ｂは、その屈折率力月、４〜
１．６の範囲にあるのがよい。
との混合物、Ｙ ｚ Ｏｓ 、Ｔ １０ ｚなどの高屈
折率の誘電体材料が用いられる。この材料から形成され
る垂直蒸着膜よりなる第１の誘電体層６０Ａは、その屈
折率が１．８〜２．１の範囲にあり、また斜め蒸着膜よ
りなる第２の誘電体層６０Ｂは、その屈折率力月、４〜
１．６の範囲にあるのがよい。
両層の屈折率の差は少なくとも０．４以上であるのが望
ましい。上記第１層と第２層のそれぞれの厚みは、外光
の反射を有効に防止しうる光学的膜厚が適宜設定される
が、一般には８００〜１，５００人程度の範囲にされて
いるのがよい。
ましい。上記第１層と第２層のそれぞれの厚みは、外光
の反射を有効に防止しうる光学的膜厚が適宜設定される
が、一般には８００〜１，５００人程度の範囲にされて
いるのがよい。
防着板７の材質は、蒸着ロール４上の４Ａ部分および４
Ｂ部分以外の部分での蒸着を妨げうるちのであればよく
、一般にはアルミニウムやステンレスなどが用いられる
。また、その透孔７ａと透孔７ｂの大きさおよび間隔は
、上記４Ａおよび４Ｂ部分での蒸着量を計算にいれ、各
層の膜厚が外光の反射を有効に防止しうる光学的膜厚に
なるように設計されておればよい。
Ｂ部分以外の部分での蒸着を妨げうるちのであればよく
、一般にはアルミニウムやステンレスなどが用いられる
。また、その透孔７ａと透孔７ｂの大きさおよび間隔は
、上記４Ａおよび４Ｂ部分での蒸着量を計算にいれ、各
層の膜厚が外光の反射を有効に防止しうる光学的膜厚に
なるように設計されておればよい。
以上のように、この発明においては、巻取式真空蒸着装
置により、ひとつの誘電体材料を使用して、垂直蒸着膜
からなる高屈折率誘電体層と斜め蒸着膜からなる低屈折
率誘電体層との２層構成の反射防止層を連続的に形成で
きるため、多層反射防止フィルムの生産性と作業性との
大幅な改善を図ることができる。
置により、ひとつの誘電体材料を使用して、垂直蒸着膜
からなる高屈折率誘電体層と斜め蒸着膜からなる低屈折
率誘電体層との２層構成の反射防止層を連続的に形成で
きるため、多層反射防止フィルムの生産性と作業性との
大幅な改善を図ることができる。
つぎに、この発明の実施例を記載して、より具体的に説
明する。
明する。
実施例１
第１図に示す巻取式真空蒸着装置において、互いに７０
ｃｍの距離を隔てて配設された蒸着ロール４と蒸発源６
との間に、蒸発源６より５０ｃｍ上方の位置に、垂直断
面の水平長さ５Ｃ１ｌの垂直蒸着膜形成用の透孔７ａと
同水平長さ７■の斜め蒸着膜形成用の透孔７ｂとを有し
、かつ上記両孔７ａ。
ｃｍの距離を隔てて配設された蒸着ロール４と蒸発源６
との間に、蒸発源６より５０ｃｍ上方の位置に、垂直断
面の水平長さ５Ｃ１ｌの垂直蒸着膜形成用の透孔７ａと
同水平長さ７■の斜め蒸着膜形成用の透孔７ｂとを有し
、かつ上記両孔７ａ。
７ｂとの間の水平長さが５０ｆｆｉであるアルミニウム
製の防着板７を設置した。
製の防着板７を設置した。
この蒸着装置を用い、真空チャンバー１内の真空度を２
Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ以上に設定し、フィルム基材５とし
て厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムを、蒸発源６としてＺｒＯ２を使用して、巻取速度７
０ｃｍ／分の条件で真空蒸着を行って、フィルム基材５
上に厚さが１，２５０人の垂直蒸着膜からなる屈折率が
２．０５の第１層６０Ａと厚さが８６０人の斜め蒸着膜
からなる屈折率が１．４８の第２層６０Ｂとからなる反
射防止層６０を有する第２図に示す構造の多層反射防止
フィルムを連続的に作製した。
Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ以上に設定し、フィルム基材５とし
て厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムを、蒸発源６としてＺｒＯ２を使用して、巻取速度７
０ｃｍ／分の条件で真空蒸着を行って、フィルム基材５
上に厚さが１，２５０人の垂直蒸着膜からなる屈折率が
２．０５の第１層６０Ａと厚さが８６０人の斜め蒸着膜
からなる屈折率が１．４８の第２層６０Ｂとからなる反
射防止層６０を有する第２図に示す構造の多層反射防止
フィルムを連続的に作製した。
このようにして作製した多層反射防止フィルムは、入射
光（波長４００〜７００ｎｍ）に対する平均反射率が０
．８％と小さく、非常に良好な反射特性を有していた。
光（波長４００〜７００ｎｍ）に対する平均反射率が０
．８％と小さく、非常に良好な反射特性を有していた。
実施例２
防着板７として、垂直断面の水平長さ８ｃｍの垂直蒸着
膜形成用の透孔７ａと同水平長さ１５ｃｍの斜め蒸着膜
形成用の透孔７ｂとを有し、かつ上記両孔７ａ、７ｂと
の間の水平長さが５ ｃｍであるアルミニウム製のもの
を使用するとともに、蒸発源６としてＴ ｉ Ｏ，を使
用し、巻取速度を１５ｃｍ／分に変更した以外は、実施
例１と同様にして真空蒸着を行った。
膜形成用の透孔７ａと同水平長さ１５ｃｍの斜め蒸着膜
形成用の透孔７ｂとを有し、かつ上記両孔７ａ、７ｂと
の間の水平長さが５ ｃｍであるアルミニウム製のもの
を使用するとともに、蒸発源６としてＴ ｉ Ｏ，を使
用し、巻取速度を１５ｃｍ／分に変更した以外は、実施
例１と同様にして真空蒸着を行った。
これにより、フィルム基材５上に厚さが１，１００人の
垂直蒸着膜からなる屈折率が２．３の第１層６０Ａと厚
さが８５０人の斜め蒸着膜からなる屈折率力月、５の第
２層６０Ｂとからなる反射防止層６０を有する第２図に
示す構造の多層反射防止フィルムを連続的に作製できた
。
垂直蒸着膜からなる屈折率が２．３の第１層６０Ａと厚
さが８５０人の斜め蒸着膜からなる屈折率力月、５の第
２層６０Ｂとからなる反射防止層６０を有する第２図に
示す構造の多層反射防止フィルムを連続的に作製できた
。
このようにして得られた多層反射防止フィルムは、実施
例１の場合と同様に、入射光（波長４００〜７００ｎｍ
）に対する平均反射率が０．９％と小さく、良好な反射
特性を有していた。
例１の場合と同様に、入射光（波長４００〜７００ｎｍ
）に対する平均反射率が０．９％と小さく、良好な反射
特性を有していた。
第１図はこの発明の方法に用いる巻取式真空蒸着装置の
一例を示す概略図、第２図はこの発明の方法にて得られ
る多層反射防止フィルムの一例を示す断面図である。 ４・・・蒸着ロール、５・・・フィルム基材、６・・・
蒸発源、 ７・・・防着板、 ７ａ・・・垂直膜形成用の透孔、 ７ｂ・・・斜め蒸着膜形成用の透孔、 ０・・・反射防 止層、 ＯＡ・・・高屈折率誘電体層、 ６０Ｂ・・・低 屈折率誘電体層
一例を示す概略図、第２図はこの発明の方法にて得られ
る多層反射防止フィルムの一例を示す断面図である。 ４・・・蒸着ロール、５・・・フィルム基材、６・・・
蒸発源、 ７・・・防着板、 ７ａ・・・垂直膜形成用の透孔、 ７ｂ・・・斜め蒸着膜形成用の透孔、 ０・・・反射防 止層、 ＯＡ・・・高屈折率誘電体層、 ６０Ｂ・・・低 屈折率誘電体層
Claims (1)
- （１）蒸着ロール面に沿つて流れるフィルム基材に対し
上記ロール上で蒸発源の真空蒸着を行う巻取式真空蒸着
装置を用いて、フィルム基材上に高屈折率誘電体層と低
屈折率誘電体層との２層構成の反射防止層を形成するに
あたり、上記の蒸着ロールと蒸発源との間に、垂直蒸着
膜形成用の透孔と斜め蒸着膜形成用の透孔とを有する防
着板を介在させることにより、ひとつの蒸発源を使つて
、フィルム基材上に垂直蒸着膜からなる高屈折率誘電体
層と斜め蒸着膜からなる低屈折率誘電体層とをこの順に
連続的に積層形成することを特徴とする多層反射防止フ
ィルムの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188096A JPH0351802A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 多層反射防止フイルムの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188096A JPH0351802A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 多層反射防止フイルムの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351802A true JPH0351802A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16217632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188096A Pending JPH0351802A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 多層反射防止フイルムの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5392156A (en) * | 1992-03-31 | 1995-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188096A patent/JPH0351802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5392156A (en) * | 1992-03-31 | 1995-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device |
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