JPH0351836U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0351836U JPH0351836U JP11369089U JP11369089U JPH0351836U JP H0351836 U JPH0351836 U JP H0351836U JP 11369089 U JP11369089 U JP 11369089U JP 11369089 U JP11369089 U JP 11369089U JP H0351836 U JPH0351836 U JP H0351836U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion
- collector
- bipolar transistor
- planar bipolar
- base
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Bipolar Transistors (AREA)
Description
第１図は本考案を施したフオトトランジスタの
内部構造を示す断面図、第２図は第１図における
フオトトランジスタの製造工程を示す断面図、第
３図は最も一般的なプレーナ型トランジスタの製
造工程を示す断面図、第４図はエピタキシヤル成
長の構図を示す平面図、第５図はエピタキシヤル
成長したウエーハを用いた従来のフオトトランジ
スタの内部構造を示す断面である。 １……エピタキシヤル、２……ベース拡散、３
……コレクタ拡散、４……エミツタ拡散、５……
コレクタ配線、６……エミツタ配線、７……酸化
膜、８……パツシベーシヨン。
内部構造を示す断面図、第２図は第１図における
フオトトランジスタの製造工程を示す断面図、第
３図は最も一般的なプレーナ型トランジスタの製
造工程を示す断面図、第４図はエピタキシヤル成
長の構図を示す平面図、第５図はエピタキシヤル
成長したウエーハを用いた従来のフオトトランジ
スタの内部構造を示す断面である。 １……エピタキシヤル、２……ベース拡散、３
……コレクタ拡散、４……エミツタ拡散、５……
コレクタ配線、６……エミツタ配線、７……酸化
膜、８……パツシベーシヨン。
Claims (1)
- 半導体単結晶ウエーハに半導体プロセスを施し
て作成されたエミツタ拡散とコレクタ拡散、そし
て、ベース拡散を有し、トランジスタとしての動
作を行うプレーナバイポーラトランジスタにおい
て、上記コレクタ拡散を上記ベース拡散上に重ね
て設けることを特徴とするプレーナバイポーラト
ランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11369089U JPH0351836U (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11369089U JPH0351836U (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351836U true JPH0351836U (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=31662097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11369089U Pending JPH0351836U (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351836U (ja) |
-
1989
- 1989-09-28 JP JP11369089U patent/JPH0351836U/ja active Pending