JPH0352214A - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH0352214A JPH0352214A JP1187881A JP18788189A JPH0352214A JP H0352214 A JPH0352214 A JP H0352214A JP 1187881 A JP1187881 A JP 1187881A JP 18788189 A JP18788189 A JP 18788189A JP H0352214 A JPH0352214 A JP H0352214A
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- dielectric ceramic
- ceramic green
- green sheet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は積層セラミックコンデンサの製造方法に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
一般に積層セラミックコンデンサの製造方法は、金属酸
化物等のセラミック粉末をブチラール樹脂等の有機バイ
ンダ，分散剤，有機溶媒を用いて分散混練したスラリー
を製造し、これをドクターブレード法等により数十μｍ
厚のシートに或形し、誘電体セラミックグリーンシート
を得る。
化物等のセラミック粉末をブチラール樹脂等の有機バイ
ンダ，分散剤，有機溶媒を用いて分散混練したスラリー
を製造し、これをドクターブレード法等により数十μｍ
厚のシートに或形し、誘電体セラミックグリーンシート
を得る。
次に、この誘電体セラミックグリーンシート上に所定形
状の内部電極を、電極材ペーストをスクリーン印刷し、
直ちに電極ペースト中の有機溶媒を乾燥させることによ
り内部電極層を形戊する。
状の内部電極を、電極材ペーストをスクリーン印刷し、
直ちに電極ペースト中の有機溶媒を乾燥させることによ
り内部電極層を形戊する。
この様に製造された誘電体セラミックグリーンシートを
複数積み重ねた後に加圧・圧着させ、所定の形状に切断
し、次に誘電体セラミックグリーンシートと内部電極層
を同時焼成し、内部電極露出端面に外部電極を形戊する
。
複数積み重ねた後に加圧・圧着させ、所定の形状に切断
し、次に誘電体セラミックグリーンシートと内部電極層
を同時焼成し、内部電極露出端面に外部電極を形戊する
。
発明が解決しようとする課題
上記、従来の技術では誘電体セラミックグリーンシート
及び内部電極層中の有機物の脱脂過程，焼結過程が同時
焼戊により複雑な挙動を示す。
及び内部電極層中の有機物の脱脂過程，焼結過程が同時
焼戊により複雑な挙動を示す。
従って、内部電極ペーストは焼威後に於いて、誘電体セ
ラミックグリーンシートとの化学反応を起こさない様に
考慮する必要がある。それゆえ、従来積層セラミックコ
ンデンサは焼戊後に誘電体セラミックグリーンシートと
内部電極層との間の密着性が悪く、シート層間での剥離
（以下、デラミネーションという）や、内部電極層上の
ボイド，電極切れ等による弊害をもたらすことがあった
。
ラミックグリーンシートとの化学反応を起こさない様に
考慮する必要がある。それゆえ、従来積層セラミックコ
ンデンサは焼戊後に誘電体セラミックグリーンシートと
内部電極層との間の密着性が悪く、シート層間での剥離
（以下、デラミネーションという）や、内部電極層上の
ボイド，電極切れ等による弊害をもたらすことがあった
。
そこで、本発明は、上記に記述した課題を解消し得る積
層セラミックコンデンサの製造方法を提供するものであ
る。
層セラミックコンデンサの製造方法を提供するものであ
る。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明は誘電体セラミック
グリーンシート上に内部電極材ペーストをスクリーン印
刷して内部電極層を形威した後、未乾燥の上記内部電極
層上に誘電体セラミック原料微粉末を付着させ、その後
に内部電極層中の有機溶媒を乾燥させることにより、誘
電体セラミックグリーンシート上に内部電極層を形戊す
る。この様に得られたシートを複数枚積み重ね、加圧・
圧着後に所定形状に切断後、焼成して独立した積層セラ
ミックコンデンサを得るものである。
グリーンシート上に内部電極材ペーストをスクリーン印
刷して内部電極層を形威した後、未乾燥の上記内部電極
層上に誘電体セラミック原料微粉末を付着させ、その後
に内部電極層中の有機溶媒を乾燥させることにより、誘
電体セラミックグリーンシート上に内部電極層を形戊す
る。この様に得られたシートを複数枚積み重ね、加圧・
圧着後に所定形状に切断後、焼成して独立した積層セラ
ミックコンデンサを得るものである。
作用
上記方法によればグリーンチップに於いては、内部電極
上に誘電体セラミック原料微粉末が付着・コートされた
状態で、これを複数所定の数を積み重ね、加圧・圧着す
ることにより、内部電極上にコートされた誘電体セラミ
ック微粉末が加圧時に内部電極表面の一部及び下地誘電
体セラミックグリーンシートと強く密着し、内部電極層
に誘電体セラミック微粉末が食いこむ様になる。したが
って、こうして得られる誘電体セラミックグリーンシー
トと内部電極をトンネル焼成炉で同時焼成し、誘電体セ
ラミックグリーンシート及び内部電極中の有機バインダ
ーと有機溶媒を脱脂する際にも、セラミックと電極の密
着性が向上しているために剥離，ボイド，デラミネーシ
ョンが抑制できる。また、誘電体セラミック及び内部電
極の膨張，収縮過程に於いても同様の問題を抑制するこ
とができる。
上に誘電体セラミック原料微粉末が付着・コートされた
状態で、これを複数所定の数を積み重ね、加圧・圧着す
ることにより、内部電極上にコートされた誘電体セラミ
ック微粉末が加圧時に内部電極表面の一部及び下地誘電
体セラミックグリーンシートと強く密着し、内部電極層
に誘電体セラミック微粉末が食いこむ様になる。したが
って、こうして得られる誘電体セラミックグリーンシー
トと内部電極をトンネル焼成炉で同時焼成し、誘電体セ
ラミックグリーンシート及び内部電極中の有機バインダ
ーと有機溶媒を脱脂する際にも、セラミックと電極の密
着性が向上しているために剥離，ボイド，デラミネーシ
ョンが抑制できる。また、誘電体セラミック及び内部電
極の膨張，収縮過程に於いても同様の問題を抑制するこ
とができる。
実施例
以下、本発明を具体的実施例により詳細に説明する。
先ず、Ｂ ａ Ｃ ０３， Ｔ ｉ ０２を主成分とし
、他に微量金属酸化物を所定量秤量し、ボールミルに純
水とともに入れ、湿式混合後、脱水乾燥した。この乾燥
粉末を高アルミナ質のルツボに入れ、１１００℃で２時
間仮焼した。この仮焼粉末を仮整粒したのち、乾式粉砕
（ジェット・ミル）にて１μｍ程度の平均粒径となる様
に粉砕する。この粉末にポリビニルブチラールやポリア
クリレート及びフタル酸シブチル等の有機パインダー、
またメチルセロソルブ等の有機溶媒を加えて混練し、ス
ラリーを製造した後、ドクターブレード法等によりグリ
ーンシ一トを製造し、その後、所定の大きさに切り取り
、誘電体セラミックグリーンシートを得る。第１図に示
す様に、この誘電体セラミックグリーンシート１上にス
クリーン印刷法等で内部電極ペーストを印刷し、短冊状
の内部電極層２を形成する。この後、第４図のごとく粉
砕粉末がエアーにて循環しているゾーン４を通過させ、
内部電極層２表面に誘電体セラミック微粉末３を付着さ
せ、その後に、乾燥ゾーン５にて内部電極溶剤を乾燥さ
せる。こうすれば第１図に示す様な誘電体セラミックグ
リーンシート１上に内部電極層２が形成され、この内部
電極層２表面に誘電体セラミック粉末が付着・コートさ
せたものが得られる。こうして得られたものを、第２図
に示す様に所定数積み重ね、３００ｋｇ／ａＩｒの圧力
を加えて圧着し、次にそれを所定形状に切断して、第３
図の様な積層セラミックコンデンサグリーンチップを得
る。これをトンネル焼成中へジルコニア匣鉢中に入れ空
気中において１３００℃で焼成し、内部電極露出面に外
部電極銀を焼き付け、積層セラミックコンデンサを得た
。これらの試料の内部構造，電気特性は下記第１表に示
す通りである。
、他に微量金属酸化物を所定量秤量し、ボールミルに純
水とともに入れ、湿式混合後、脱水乾燥した。この乾燥
粉末を高アルミナ質のルツボに入れ、１１００℃で２時
間仮焼した。この仮焼粉末を仮整粒したのち、乾式粉砕
（ジェット・ミル）にて１μｍ程度の平均粒径となる様
に粉砕する。この粉末にポリビニルブチラールやポリア
クリレート及びフタル酸シブチル等の有機パインダー、
またメチルセロソルブ等の有機溶媒を加えて混練し、ス
ラリーを製造した後、ドクターブレード法等によりグリ
ーンシ一トを製造し、その後、所定の大きさに切り取り
、誘電体セラミックグリーンシートを得る。第１図に示
す様に、この誘電体セラミックグリーンシート１上にス
クリーン印刷法等で内部電極ペーストを印刷し、短冊状
の内部電極層２を形成する。この後、第４図のごとく粉
砕粉末がエアーにて循環しているゾーン４を通過させ、
内部電極層２表面に誘電体セラミック微粉末３を付着さ
せ、その後に、乾燥ゾーン５にて内部電極溶剤を乾燥さ
せる。こうすれば第１図に示す様な誘電体セラミックグ
リーンシート１上に内部電極層２が形成され、この内部
電極層２表面に誘電体セラミック粉末が付着・コートさ
せたものが得られる。こうして得られたものを、第２図
に示す様に所定数積み重ね、３００ｋｇ／ａＩｒの圧力
を加えて圧着し、次にそれを所定形状に切断して、第３
図の様な積層セラミックコンデンサグリーンチップを得
る。これをトンネル焼成中へジルコニア匣鉢中に入れ空
気中において１３００℃で焼成し、内部電極露出面に外
部電極銀を焼き付け、積層セラミックコンデンサを得た
。これらの試料の内部構造，電気特性は下記第１表に示
す通りである。
尚、比較例として従来の技術にて得られた特性も付記し
ている。
ている。
（ 以 下 余 白 ）
第１表
（注；※は本発明の請求範囲外であり、比較
例として付記している）
発明の効果
以上のように本発明によれば、デラミネーシ３ンを抑制
し、内部電極切れ・引込みによるＥＳＲの劣化，容量低
下を防止することが可能である。
し、内部電極切れ・引込みによるＥＳＲの劣化，容量低
下を防止することが可能である。
また、内部電極層自体の強度も強くなるので、内部電極
層を薄層化する事が可能であり、材料費の低減を図るこ
ともできる。更に、単純な焼戊カーブにて量産が可能と
なり効果は大である。
層を薄層化する事が可能であり、材料費の低減を図るこ
ともできる。更に、単純な焼戊カーブにて量産が可能と
なり効果は大である。
第１図は誘電体セラミックグリーンシート上の内部電極
層上に誘電体セラミック微粉末を付着させたものの平面
図、第２図は第１図に示されるものを３枚積み重ねる前
の正面図、第３図は第２図に示されるものを加圧・圧着
したものを示す断面図である。第４図は内部電極上に誘
電体セラミック粉末を付着及び内部電極中の有機溶媒を
乾燥させる装置の概略図である。 １・・・・・・誘電体セラミックグリーンシート、２・
・・・・・内部電極層、３・・・・・・誘電体セラミッ
ク微粉末。
層上に誘電体セラミック微粉末を付着させたものの平面
図、第２図は第１図に示されるものを３枚積み重ねる前
の正面図、第３図は第２図に示されるものを加圧・圧着
したものを示す断面図である。第４図は内部電極上に誘
電体セラミック粉末を付着及び内部電極中の有機溶媒を
乾燥させる装置の概略図である。 １・・・・・・誘電体セラミックグリーンシート、２・
・・・・・内部電極層、３・・・・・・誘電体セラミッ
ク微粉末。
Claims (1)
- 誘電体セラミックグリーンシート上に内部電極材ペース
トを所定の形状に印刷し、次に上記内部電極上に誘電体
セラミック原料粉末を付着させ、その後内部電極材ペー
スト中の有機溶媒を乾燥させることにより、誘電体セラ
ミックグリーンシート上に内部電極層を設け、次に前記
内部電極層を有する誘電体セラミックグリーンシートを
複数積み重ねることを特徴とする積層セラミックコンデ
ンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1187881A JP2969658B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1187881A JP2969658B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352214A true JPH0352214A (ja) | 1991-03-06 |
| JP2969658B2 JP2969658B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16213837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1187881A Expired - Fee Related JP2969658B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969658B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329634A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびその製法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63260122A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型セラミツク素子の製造方法 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1187881A patent/JP2969658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63260122A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型セラミツク素子の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329634A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびその製法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2969658B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |