JPH0352565B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0352565B2 JPH0352565B2 JP56039472A JP3947281A JPH0352565B2 JP H0352565 B2 JPH0352565 B2 JP H0352565B2 JP 56039472 A JP56039472 A JP 56039472A JP 3947281 A JP3947281 A JP 3947281A JP H0352565 B2 JPH0352565 B2 JP H0352565B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetoresistive
- track
- poles
- magnetic track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ロータリエンコーダ、特に高出力
信号が得られる磁気ロータリエンコーダに関する
ものである。
信号が得られる磁気ロータリエンコーダに関する
ものである。
一般にロータリエンコーダは、例えばNC工作
機械等に使用されるモータの回転数および回転角
度等を正確に測定する手段として多く採用されて
いる。そして、このロータリエンコーダには、モ
ータの回転数および回転角度のみを計測するイン
クリメンタル形エンコーダと、これに加えてモー
タが起動し始める最初の位置をも同時に検知する
ことができるアプソリユート形エンコーダとがあ
り、本発明は前者のインクリメンタル形ロータリ
エンコーダに関するものである。また、インクリ
メンタル形ロータリエンコーダには単に回転に応
じてパルス信号を発生させる手段のみを有するも
のと、これに加えて１周に１回毎に別のパルス信
号を発生させて基準点を明らかにする手段を備え
たものとの２種類がある。本発明は後者のタイプ
に関するもので、かつこの方式を磁気式で実現さ
せるものである。
機械等に使用されるモータの回転数および回転角
度等を正確に測定する手段として多く採用されて
いる。そして、このロータリエンコーダには、モ
ータの回転数および回転角度のみを計測するイン
クリメンタル形エンコーダと、これに加えてモー
タが起動し始める最初の位置をも同時に検知する
ことができるアプソリユート形エンコーダとがあ
り、本発明は前者のインクリメンタル形ロータリ
エンコーダに関するものである。また、インクリ
メンタル形ロータリエンコーダには単に回転に応
じてパルス信号を発生させる手段のみを有するも
のと、これに加えて１周に１回毎に別のパルス信
号を発生させて基準点を明らかにする手段を備え
たものとの２種類がある。本発明は後者のタイプ
に関するもので、かつこの方式を磁気式で実現さ
せるものである。
第１図は近年、提案されている磁気ロータリエ
ンコーダの一例を示す要部斜視図である。同図に
おいて、１は図示しないモータの回転軸にシヤフ
ト１ａを連結して例えば矢印Ａ方向に回転させる
円板状の磁気デイスクであり、この磁気デイスク
１の表面には磁性膜を塗布して所定のピツチで
Ｎ、Ｓ極の交互の繰り返して着磁させた円環状の
第１の磁気トラツク２ａが最外周側に形成され、
さらにこの第１の磁気トラツク２ａの内側には一
対のＮ，Ｓ極に着磁させた円環状の第２の磁気ト
ラツク２ｂが形成されている。また、この磁気デ
イスク１の上面に形成された第１の磁気トラツク
２ａ、第２の磁気トラツク２ｂと対向する表面近
傍には、磁気抵抗効果を有する第１の磁気抵抗素
子３ａ、第２の磁気抵抗素子３ｂがそれぞれに対
応させて配置されている。そして、第１の磁気抵
抗素子３ａからは回転に応じたパルス信号、つま
り回転角度を読み取り、第２の磁気抵抗素子３ｂ
からは１回転に１回毎の基準点検出用パルス信
号、つまり回転数を読み取つている。
ンコーダの一例を示す要部斜視図である。同図に
おいて、１は図示しないモータの回転軸にシヤフ
ト１ａを連結して例えば矢印Ａ方向に回転させる
円板状の磁気デイスクであり、この磁気デイスク
１の表面には磁性膜を塗布して所定のピツチで
Ｎ、Ｓ極の交互の繰り返して着磁させた円環状の
第１の磁気トラツク２ａが最外周側に形成され、
さらにこの第１の磁気トラツク２ａの内側には一
対のＮ，Ｓ極に着磁させた円環状の第２の磁気ト
ラツク２ｂが形成されている。また、この磁気デ
イスク１の上面に形成された第１の磁気トラツク
２ａ、第２の磁気トラツク２ｂと対向する表面近
傍には、磁気抵抗効果を有する第１の磁気抵抗素
子３ａ、第２の磁気抵抗素子３ｂがそれぞれに対
応させて配置されている。そして、第１の磁気抵
抗素子３ａからは回転に応じたパルス信号、つま
り回転角度を読み取り、第２の磁気抵抗素子３ｂ
からは１回転に１回毎の基準点検出用パルス信
号、つまり回転数を読み取つている。
しかしながら上記構成による磁気ロータリエン
コーダは、磁気デイスク１上に形成された第１の
磁気トラツク２ａと第２の磁気トラツク２ｂとを
それぞれ第１の磁気抵抗素子３ａと第２の磁気抵
抗素子３ｂとで別々に検出しているため、磁気検
出装置が大型化され、取り扱い難いという問題が
あつた。また、磁気デイスク１上の第１の磁気ト
ラツク２ａとこれに対向する第１の磁気抵抗素子
３ａ間および第２の磁気トラツク２ｂとこれに対
向する第２の磁気抵抗素子３ｂ間の位置関係の調
節が極めて困難性を伴なうとともに、その調節作
業に多大な労力と調整時間を要するなどの問題が
あつた。さらには、第１、第２の磁気抵抗素子３
ａ，３ｂにはそれぞれ別々の基板上に設けられて
いるので、第１、第２の磁気抵抗素子３ａ，３ｂ
相互間でほぼ同等の温度保償が得られなかつた。
コーダは、磁気デイスク１上に形成された第１の
磁気トラツク２ａと第２の磁気トラツク２ｂとを
それぞれ第１の磁気抵抗素子３ａと第２の磁気抵
抗素子３ｂとで別々に検出しているため、磁気検
出装置が大型化され、取り扱い難いという問題が
あつた。また、磁気デイスク１上の第１の磁気ト
ラツク２ａとこれに対向する第１の磁気抵抗素子
３ａ間および第２の磁気トラツク２ｂとこれに対
向する第２の磁気抵抗素子３ｂ間の位置関係の調
節が極めて困難性を伴なうとともに、その調節作
業に多大な労力と調整時間を要するなどの問題が
あつた。さらには、第１、第２の磁気抵抗素子３
ａ，３ｂにはそれぞれ別々の基板上に設けられて
いるので、第１、第２の磁気抵抗素子３ａ，３ｂ
相互間でほぼ同等の温度保償が得られなかつた。
したがつて本発明は、複数の磁気トラツクの磁
場を検出する磁気抵抗素子を同一基板上に設ける
とともに、磁気デイスク上の１周に１度のパルス
信号を検出する磁気抵抗素子がその検出パターン
を互いに交差させて構成することによつて、磁気
検出装置を小型化させ、かつ磁気トラツクと磁気
抵抗素子との位置関係の調節を容易にさせ、しか
も温度補償された高検出出力が得られる磁気ロー
タリエンコーダを提供することを目的としてい
る。
場を検出する磁気抵抗素子を同一基板上に設ける
とともに、磁気デイスク上の１周に１度のパルス
信号を検出する磁気抵抗素子がその検出パターン
を互いに交差させて構成することによつて、磁気
検出装置を小型化させ、かつ磁気トラツクと磁気
抵抗素子との位置関係の調節を容易にさせ、しか
も温度補償された高検出出力が得られる磁気ロー
タリエンコーダを提供することを目的としてい
る。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第２図は本発明による磁気ロータリエンコーダ
の一例を説明するための図であり、第１図と同記
号は同一要素となるのでその説明は省略する。ま
ず、第２図に要部平面図で示したように円板状磁
気デイスク１の表面には、最外周全周にわたつて
Ｓ極、Ｎ極、Ｎ極Ｓ極の繰り返しの一定ピツチに
よる第１の磁気トラツク４ａが着磁して形成さ
れ、またこの第１の磁気トラツク４ａの内周側に
は一対のＮ、Ｓ極からなる第２の磁気トラツク４
ｂが着磁して形成されている。この場合、第２の
磁気トラツク４ｂのＮ極とＳ極間の間隙（ピツ
チ）Ｐは、第１の磁気トラツク４ａ相互間の磁極
間隙よりも約1.5倍以上大きくして形成されてい
る。
の一例を説明するための図であり、第１図と同記
号は同一要素となるのでその説明は省略する。ま
ず、第２図に要部平面図で示したように円板状磁
気デイスク１の表面には、最外周全周にわたつて
Ｓ極、Ｎ極、Ｎ極Ｓ極の繰り返しの一定ピツチに
よる第１の磁気トラツク４ａが着磁して形成さ
れ、またこの第１の磁気トラツク４ａの内周側に
は一対のＮ、Ｓ極からなる第２の磁気トラツク４
ｂが着磁して形成されている。この場合、第２の
磁気トラツク４ｂのＮ極とＳ極間の間隙（ピツ
チ）Ｐは、第１の磁気トラツク４ａ相互間の磁極
間隙よりも約1.5倍以上大きくして形成されてい
る。
また、第２図に示した磁気デイスク１上の第１
の磁気トラツク４ａ、第２の磁気トラツク４ｂ形
成面上には、第３図に拡大斜視図で示したように
基板５上に第１の磁気トラツク４ａ読み出し用の
第１の磁気抵抗検出素子６および第２の磁気トラ
ツク４ｂ読み出し用の第２の磁気抵抗検出素子７
がそれぞれ形成された磁気抵抗素子８がその磁気
抵抗検出素子６，７形成面側をそれぞれ対応する
面に対向させて近接配置される。そして、上記第
１の磁気トラツク４ａ読み出し用の第１の磁気抵
抗検出素子６は、第４図に要部斜視図で示したよ
うに外部接続用電極６ａ，６a′と共通電極６ｂと
磁気抵抗検出用パターン６ｃ，６c′とリードパタ
ーン６ｄ，６d′とで第１の磁気トラツク４ａの磁
極と同一配列方向で、かつ磁極幅と同一ピツチλ
を有し、しかも相互間ピツチがλ／２を有する１
組の磁気抵抗検出素子６ｅが形成され、この磁気
抵抗素子６ｅが２組で第３図に示す磁気抵抗検出
素子６が構成されている。この場合、この磁気抵
抗素子６は、隣接する磁気抵抗検出パターン６
ｃ，６c′の抵抗値R6c，R6c′が第５図に等価回路図
で示したように温度変化によりその抵抗値が変動
してパルス信号電圧Vputが変動するので、隣接す
る磁気抵抗検出パターン6c，６c′はそれぞれ1/2
周期ずつ位相をずらして配置させることによつ
て、大きなパルス信号電圧Vputが得られるように
構成されている。また、第２図に示した第２の磁
気トラツク４ｂ読み出し用の第２の磁気抵抗検出
素子７は、第６図に要部拡大平面図で示したよう
に外部接続用電極９ａ，９ｂと共通電極９ｃと磁
気抵抗検出用パターン９ｄ，９d′とリードパター
ン９ｅ，９e′とにより、第２の磁気トラツク４ｂ
の磁極の配列方向と交差する方向の磁気抵抗素子
１０ａと上記磁極の配列方向と同方向に延在する
磁気抵抗素子１０ｂとで構成されている。この場
合、磁気抵抗素子１０ａは図示されないが対向す
る第２の磁気トラツク４ｂ（第２図参照）の磁極
の磁界方向と直交されるので磁場を検出するが、
磁気抵抗素子１０ｂは磁極の磁界方向と同方向で
あるので磁場を検出せず、定電流用の固定抵抗と
しての機能を有している。なお、この場合の等価
回路は第７図に示したようにR10aは磁気を検出す
る磁気抵抗素子１０ａの抵抗、R10bは磁気を検出
しない磁気抵抗素子１０ｂの固定抵抗であり、パ
ルス出力電圧Vputは約1/2となる。
の磁気トラツク４ａ、第２の磁気トラツク４ｂ形
成面上には、第３図に拡大斜視図で示したように
基板５上に第１の磁気トラツク４ａ読み出し用の
第１の磁気抵抗検出素子６および第２の磁気トラ
ツク４ｂ読み出し用の第２の磁気抵抗検出素子７
がそれぞれ形成された磁気抵抗素子８がその磁気
抵抗検出素子６，７形成面側をそれぞれ対応する
面に対向させて近接配置される。そして、上記第
１の磁気トラツク４ａ読み出し用の第１の磁気抵
抗検出素子６は、第４図に要部斜視図で示したよ
うに外部接続用電極６ａ，６a′と共通電極６ｂと
磁気抵抗検出用パターン６ｃ，６c′とリードパタ
ーン６ｄ，６d′とで第１の磁気トラツク４ａの磁
極と同一配列方向で、かつ磁極幅と同一ピツチλ
を有し、しかも相互間ピツチがλ／２を有する１
組の磁気抵抗検出素子６ｅが形成され、この磁気
抵抗素子６ｅが２組で第３図に示す磁気抵抗検出
素子６が構成されている。この場合、この磁気抵
抗素子６は、隣接する磁気抵抗検出パターン６
ｃ，６c′の抵抗値R6c，R6c′が第５図に等価回路図
で示したように温度変化によりその抵抗値が変動
してパルス信号電圧Vputが変動するので、隣接す
る磁気抵抗検出パターン6c，６c′はそれぞれ1/2
周期ずつ位相をずらして配置させることによつ
て、大きなパルス信号電圧Vputが得られるように
構成されている。また、第２図に示した第２の磁
気トラツク４ｂ読み出し用の第２の磁気抵抗検出
素子７は、第６図に要部拡大平面図で示したよう
に外部接続用電極９ａ，９ｂと共通電極９ｃと磁
気抵抗検出用パターン９ｄ，９d′とリードパター
ン９ｅ，９e′とにより、第２の磁気トラツク４ｂ
の磁極の配列方向と交差する方向の磁気抵抗素子
１０ａと上記磁極の配列方向と同方向に延在する
磁気抵抗素子１０ｂとで構成されている。この場
合、磁気抵抗素子１０ａは図示されないが対向す
る第２の磁気トラツク４ｂ（第２図参照）の磁極
の磁界方向と直交されるので磁場を検出するが、
磁気抵抗素子１０ｂは磁極の磁界方向と同方向で
あるので磁場を検出せず、定電流用の固定抵抗と
しての機能を有している。なお、この場合の等価
回路は第７図に示したようにR10aは磁気を検出す
る磁気抵抗素子１０ａの抵抗、R10bは磁気を検出
しない磁気抵抗素子１０ｂの固定抵抗であり、パ
ルス出力電圧Vputは約1/2となる。
このように構成された磁気ロータリエンコーダ
において、第１の磁気トラツク４ａと第１の磁気
抵抗検出素子６とは、第１の磁気抵抗検出素子６
の各磁気抵抗検出素子６ｅが第１の磁気トラツク
４ａの磁極と同一ピツチＰを有しかつ相互に1/2
ピツチの位相が偏位されているので、大きなパル
ス出力電圧が得られる。一方第２の磁気トラツク
４ｂと第２の磁気抵抗検出素子７とは、第２の磁
気抵抗検出素子７のパルス出力は上述したように
約1/2となるが、第２の磁気トラツク４ｂの磁極
間ピツチＰ（第２図参照）が第１の磁気トラツク
４ａの磁極間ピツチよりも約1.5倍以上大きいの
で、約３倍以上のパルス出力電圧が得られた。な
お、第２の磁気トラツク４ｂの磁場を検出しない
第２の磁気抵抗素子１０ｂは、第２の磁気トラツ
ク４ｂからの磁場によるノイズを全くなくすため
に第２の磁気トラツク４ｂと第１の磁気トラツク
４ａ間の緩衝帯または第２の磁気トラツク４ｂの
さらに内周側に配設してもよい。
において、第１の磁気トラツク４ａと第１の磁気
抵抗検出素子６とは、第１の磁気抵抗検出素子６
の各磁気抵抗検出素子６ｅが第１の磁気トラツク
４ａの磁極と同一ピツチＰを有しかつ相互に1/2
ピツチの位相が偏位されているので、大きなパル
ス出力電圧が得られる。一方第２の磁気トラツク
４ｂと第２の磁気抵抗検出素子７とは、第２の磁
気抵抗検出素子７のパルス出力は上述したように
約1/2となるが、第２の磁気トラツク４ｂの磁極
間ピツチＰ（第２図参照）が第１の磁気トラツク
４ａの磁極間ピツチよりも約1.5倍以上大きいの
で、約３倍以上のパルス出力電圧が得られた。な
お、第２の磁気トラツク４ｂの磁場を検出しない
第２の磁気抵抗素子１０ｂは、第２の磁気トラツ
ク４ｂからの磁場によるノイズを全くなくすため
に第２の磁気トラツク４ｂと第１の磁気トラツク
４ａ間の緩衝帯または第２の磁気トラツク４ｂの
さらに内周側に配設してもよい。
第８図は本発明によるロータリエンコーダに係
わる第２の磁気トラツクの磁場を検出する第２の
磁気抵抗検出素子の他の実施例を示す要部拡大平
面図であり、第６図と同記号は同一要素となるの
でその説明は省略する。同図において、第２の磁
気トラツク４ｂの磁極の配列方向と交差する方向
に配設されて磁極の磁場を検出する１本の磁気抵
抗検出パターン９ｄからなる磁気抵抗検出素子１
０ａと、磁極の配列方向と同方向に配設されて磁
極の磁場を検出しないいわゆる定電流用の固定抵
抗とする１本の磁気抵抗素子１０ｂとで磁気抵抗
検出素子７を構成したものである。このような構
成においても、前記実施例と全く同様の効果が得
られた。
わる第２の磁気トラツクの磁場を検出する第２の
磁気抵抗検出素子の他の実施例を示す要部拡大平
面図であり、第６図と同記号は同一要素となるの
でその説明は省略する。同図において、第２の磁
気トラツク４ｂの磁極の配列方向と交差する方向
に配設されて磁極の磁場を検出する１本の磁気抵
抗検出パターン９ｄからなる磁気抵抗検出素子１
０ａと、磁極の配列方向と同方向に配設されて磁
極の磁場を検出しないいわゆる定電流用の固定抵
抗とする１本の磁気抵抗素子１０ｂとで磁気抵抗
検出素子７を構成したものである。このような構
成においても、前記実施例と全く同様の効果が得
られた。
以上説明したように本発明によれば、磁気デイ
スク上に書き込まれた複数の磁気トラツクの磁場
を検出する磁気抵抗素子を同一基板上に設けると
ともに、磁気デイスク上の１周に１度のパルス信
号を検出する上記磁気抵抗素子の検出パターンを
互いに交差させて構成したことによつて、磁気検
出装置が小型化され、かつ複数個の磁気トラツク
と磁気抵抗素子との位置関係の調節が容易とな
り、しかも温度保償された高出力のパルス信号が
得られるなどの極めて優れた効果が得られる。
スク上に書き込まれた複数の磁気トラツクの磁場
を検出する磁気抵抗素子を同一基板上に設けると
ともに、磁気デイスク上の１周に１度のパルス信
号を検出する上記磁気抵抗素子の検出パターンを
互いに交差させて構成したことによつて、磁気検
出装置が小型化され、かつ複数個の磁気トラツク
と磁気抵抗素子との位置関係の調節が容易とな
り、しかも温度保償された高出力のパルス信号が
得られるなどの極めて優れた効果が得られる。
第１図は従来のロータリエンコーダの一例を示
す要部斜視図、第２図は本発明によるロータリエ
ンコーダの一例を示す要部平面図、第３図ないし
第７図は第２図の詳細を説明するための図、第８
図は本発明によるロータリエンコーダに係わる第
２の磁気抵抗検出素子の他の実施例を示す要部拡
大平面図である。 １……磁気デイスク、４ａ……第１の磁気トラ
ツク、４ｂ……第２の磁気トラツク、５……基
板、６……第１の磁気抵抗検出素子、６ａ，６
a′……外部接続用電極、６ｂ……共通電極、６
ｃ，６c′……磁気抵抗検出用パターン、６ｄ，６
d′……リードパターン、７……第２の磁気抵抗検
出素子、８……磁気抵抗素子、９ａ，９ｂ……外
部接続用電極、９ｄ，９d′……磁気抵抗検出用パ
ターン、９ｅ，９e′……リードパターン、１０
ａ，１０ｂ……磁気抵抗素子。
す要部斜視図、第２図は本発明によるロータリエ
ンコーダの一例を示す要部平面図、第３図ないし
第７図は第２図の詳細を説明するための図、第８
図は本発明によるロータリエンコーダに係わる第
２の磁気抵抗検出素子の他の実施例を示す要部拡
大平面図である。 １……磁気デイスク、４ａ……第１の磁気トラ
ツク、４ｂ……第２の磁気トラツク、５……基
板、６……第１の磁気抵抗検出素子、６ａ，６
a′……外部接続用電極、６ｂ……共通電極、６
ｃ，６c′……磁気抵抗検出用パターン、６ｄ，６
d′……リードパターン、７……第２の磁気抵抗検
出素子、８……磁気抵抗素子、９ａ，９ｂ……外
部接続用電極、９ｄ，９d′……磁気抵抗検出用パ
ターン、９ｅ，９e′……リードパターン、１０
ａ，１０ｂ……磁気抵抗素子。
Claims (1)
- １ 周方向に回転する円板状の磁気デイスクと、
前記磁気デイスク上の全周に一定周期の繰返し
で、NS極の磁気パターンが着磁された第１の磁
気トラツクと、前記第１の磁気トラツクに沿つて
一対のNS極の磁気パターンが着磁された第２の
磁気トラツクと、前記第１の磁気トラツクの対向
面に配置されてNS極の磁場を検出する第１の磁
気抵抗素子と前記第２の磁気トラツクの１周に１
個のNS極の磁場を検出する第２の磁気抵抗素子
とを備えた磁気ロータリエンコーダにおいて、前
記第２の磁気トラツクの磁極間ピツチは、前記第
１の磁気トラツクの一定周期の繰返しの磁極間ピ
ツチの1.5倍以上であり、前記第１の磁気抵抗素
子と前記第２の磁気抵抗素子とを同一基板上に設
けるとともに、前記第２の磁気抵抗素子は、一方
は前記一対のNS極の磁気パターンからの磁場を
検出し、他方は磁場を検出しない互いに交差する
２個の磁気抵抗検出パターンで構成したことを特
徴とする磁気ロータリエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3947281A JPS57154014A (en) | 1981-03-20 | 1981-03-20 | Magnetic rotary encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3947281A JPS57154014A (en) | 1981-03-20 | 1981-03-20 | Magnetic rotary encoder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57154014A JPS57154014A (en) | 1982-09-22 |
| JPH0352565B2 true JPH0352565B2 (ja) | 1991-08-12 |
Family
ID=12554003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3947281A Granted JPS57154014A (en) | 1981-03-20 | 1981-03-20 | Magnetic rotary encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57154014A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0799338B2 (ja) * | 1985-05-09 | 1995-10-25 | 松下電器産業株式会社 | 磁気エンコーダー |
| JPS62281520A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Yamaha Corp | 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ |
| JPH0244410A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-14 | Yamaha Corp | Ａｃサーボモータ用ロータリエンコーダ |
| KR101705957B1 (ko) | 2012-04-20 | 2017-02-10 | 더 팀켄 컴퍼니 | 인덱스 신호를 생성하기 위한 자기 인코더 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725766B2 (ja) * | 1973-12-12 | 1982-06-01 | ||
| JPS6045804B2 (ja) * | 1978-02-28 | 1985-10-12 | 日本電気株式会社 | 角度検出器 |
| JPS5559314A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Sony Corp | Magnetic scale signal detector |
| JPS562883A (en) * | 1979-06-23 | 1981-01-13 | Shinko Fuaudoraa Kk | Treatment of exhaust regeneration liquid of ion exchange apparatus for purifying electrodeposition paint liquid |
-
1981
- 1981-03-20 JP JP3947281A patent/JPS57154014A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57154014A (en) | 1982-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR890001931B1 (ko) | 위치검출장치부착 엔코오더 | |
| JP2000065596A5 (ja) | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダ付モータ | |
| JPS6086412A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPH0426047B2 (ja) | ||
| JPS59147213A (ja) | 磁気回転センサ | |
| JPH0197826A (ja) | トルク検出装置 | |
| JPH0330089B2 (ja) | ||
| JPH0326324B2 (ja) | ||
| JPH052925B2 (ja) | ||
| JPH02210218A (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH0469348B2 (ja) | ||
| JPS62180216A (ja) | 磁気エンコ−ダの原点検出装置 | |
| JPS6199816A (ja) | 磁気式ロ−タリ−エンコ−ダ | |
| JP2562719B2 (ja) | 磁気センサと磁気ロータリエンコーダ | |
| JPS6123822Y2 (ja) | ||
| JP2767281B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JP2562717B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JPH0441282B2 (ja) | ||
| JP2745627B2 (ja) | Ａｃサーボモータ用磁気式ロータリエンコーダ | |
| JPH0320779Y2 (ja) | ||
| JPS6329837B2 (ja) | ||
| JPH0418777B2 (ja) | ||
| JPS62220809A (ja) | 磁気センサ | |
| JPS5927217A (ja) | 磁気回転センサ | |
| JPH03191820A (ja) | 磁気エンコーダ |