JPS6086412A - 磁気検出装置 - Google Patents
磁気検出装置Info
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- JPS6086412A JPS6086412A JP58194164A JP19416483A JPS6086412A JP S6086412 A JPS6086412 A JP S6086412A JP 58194164 A JP58194164 A JP 58194164A JP 19416483 A JP19416483 A JP 19416483A JP S6086412 A JPS6086412 A JP S6086412A
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- Japan
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- magnetic
- signals
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- tracks
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24438—Special design of the sensing element or scale
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/24476—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は直線位置や回転角度位置を磁気的に検出するも
のに関し、特に複数の磁気トラックを備えた磁気的検出
装置に関するものである。そして、これらの装置は、モ
ータの回転位置検出１回転速度検出、自動機械の位置決
めや速度制仰、更には事務機器等の装置に広く適用でき
るものでおる。
のに関し、特に複数の磁気トラックを備えた磁気的検出
装置に関するものである。そして、これらの装置は、モ
ータの回転位置検出１回転速度検出、自動機械の位置決
めや速度制仰、更には事務機器等の装置に広く適用でき
るものでおる。
前記の磁気検出装置で例えば回転を検出するものは、第
１図に示すように１回転体１例えばモータのシャフト２
先端に磁気記録媒体４を装着し、これに磁気信号を記録
して、これと不さな間隙を介して、パーマロイなどの磁
気抵抗効果素子からなる磁気センサ６を固定板３に対向
配（りさせ、上記回転体１０回転を、前記磁気抵抗効果
素子の抵抗変化として取り出すものである。この磁気検
出装置に診いて、磁気記録媒体４を複数トラックにして
、これに複数チャンネルの磁気センナ６を配置して、複
数チャンネルの磁気回転センサを得る場合には、磁性体
のトラック間の磁気漏洩の問題がある。たとえば第２図
の例では磁気記録媒体４０１つのトラック４ａと他のト
ランク４ｂの間には矢印のように磁気漏洩が生じる。こ
のため、この部分では４ａ、４ｂの両トランク共にお互
いの磁気干渉を受けて各トランクに記録した正ぎな信号
を検出することは不可能になる。
１図に示すように１回転体１例えばモータのシャフト２
先端に磁気記録媒体４を装着し、これに磁気信号を記録
して、これと不さな間隙を介して、パーマロイなどの磁
気抵抗効果素子からなる磁気センサ６を固定板３に対向
配（りさせ、上記回転体１０回転を、前記磁気抵抗効果
素子の抵抗変化として取り出すものである。この磁気検
出装置に診いて、磁気記録媒体４を複数トラックにして
、これに複数チャンネルの磁気センナ６を配置して、複
数チャンネルの磁気回転センサを得る場合には、磁性体
のトラック間の磁気漏洩の問題がある。たとえば第２図
の例では磁気記録媒体４０１つのトラック４ａと他のト
ランク４ｂの間には矢印のように磁気漏洩が生じる。こ
のため、この部分では４ａ、４ｂの両トランク共にお互
いの磁気干渉を受けて各トランクに記録した正ぎな信号
を検出することは不可能になる。
まだ、これをさけるため、トランク４ａと４ｂを近ずけ
ずに間隔を十分あけることも考えられるが、この場合は
磁気記録媒体４およびこれに対向させる磁気センサ６が
大きくなってしまう欠点がある。
ずに間隔を十分あけることも考えられるが、この場合は
磁気記録媒体４およびこれに対向させる磁気センサ６が
大きくなってしまう欠点がある。
本発明の目的は磁気記録媒体４に記録した各トランクの
磁気信号をお互いの磁気干渉を受けずに磁気抵抗効果素
子で検出できる小形な磁気検出装置を提供することにあ
る。
磁気信号をお互いの磁気干渉を受けずに磁気抵抗効果素
子で検出できる小形な磁気検出装置を提供することにあ
る。
本発明は上記目的を達成するため、磁ｉ生体の隣接する
各トランクに記録した磁気信号のＳ、Ｎの中心部を回転
方向に対して直角方向に一直線上に合わせると共に磁気
信号のＮ、８の方向を合わせるように構成したものであ
る。このように構成すれば隣接するトランクが互いに同
極のｉ気信号が並ぶことになるのでトランク間に生じる
磁気漏洩を防止できるものである。さらに各トランクの
境部分に固定抵抗部を配置して磁気抵抗効果素子を３端
子構成して温度補正についても容易に実現できるもので
ある。
各トランクに記録した磁気信号のＳ、Ｎの中心部を回転
方向に対して直角方向に一直線上に合わせると共に磁気
信号のＮ、８の方向を合わせるように構成したものであ
る。このように構成すれば隣接するトランクが互いに同
極のｉ気信号が並ぶことになるのでトランク間に生じる
磁気漏洩を防止できるものである。さらに各トランクの
境部分に固定抵抗部を配置して磁気抵抗効果素子を３端
子構成して温度補正についても容易に実現できるもので
ある。
本発明の一実施例を＄１図、第３図ないし第７図により
説明する。ｇ１図は磁気検出装置の構成で、モータ１の
シャフト２に磁気記録媒体４を表面に担持した非磁性盤
４１を取付けてあシ、この磁気記録媒体４には磁気信号
を記録しである。この磁気記録媒体４とある間隔離して
磁気抵抗効果素子からなされた磁気センサ６を支持台３
によってモータ１に固定している。この磁気記録媒体４
と磁気センサ６の関係を第３図の展開図に示す。
説明する。ｇ１図は磁気検出装置の構成で、モータ１の
シャフト２に磁気記録媒体４を表面に担持した非磁性盤
４１を取付けてあシ、この磁気記録媒体４には磁気信号
を記録しである。この磁気記録媒体４とある間隔離して
磁気抵抗効果素子からなされた磁気センサ６を支持台３
によってモータ１に固定している。この磁気記録媒体４
と磁気センサ６の関係を第３図の展開図に示す。
この実施列は磁性体４は２つのトランク４ａと４ｂに分
割している。トラック４ａには１周連続した磁気信号を
記録しており、これに対して基準位置トランク４ｂには
１回転１１ｂ９又は数個の信号を記録している。この両
トランク４ａ、４ｂに記録する磁気信号Ｎ、Ｓの中心を
それぞれＭ Ｃｔ とＭＣ２とすると、このＭＣとＭＣ
２が回転軸方向に対して一直、碌上に並ぶように記録す
る。また、トランク４ａの信号のＮ、８とトランク４ｂ
の信号のＮ、Ｓを同極とな池ように記録している。これ
に対向する磁気センサ６は磁気抵抗効果素子Ｒ＋ とＲ
２をトランク４ａに対向させると共にその間隔を磁気記
録信号の記録波長λに対してλ／２として配置する。磁
気抵抗効果素子Ｒ３はトランク４ｂＫ対向して配置する
。磁気抵抗効果素子Ｒ＋１−４８はガラス等の上に蒸着
によシ成形され、電流方向に対し直角方向の磁界によシ
抵抗が変化する。第４図はパーマロイ等の強磁性体を用
いた磁気抵抗効果素子の磁界に対する特性で磁界によシ
抵抗が下る特性を有する。
割している。トラック４ａには１周連続した磁気信号を
記録しており、これに対して基準位置トランク４ｂには
１回転１１ｂ９又は数個の信号を記録している。この両
トランク４ａ、４ｂに記録する磁気信号Ｎ、Ｓの中心を
それぞれＭ Ｃｔ とＭＣ２とすると、このＭＣとＭＣ
２が回転軸方向に対して一直、碌上に並ぶように記録す
る。また、トランク４ａの信号のＮ、８とトランク４ｂ
の信号のＮ、Ｓを同極とな池ように記録している。これ
に対向する磁気センサ６は磁気抵抗効果素子Ｒ＋ とＲ
２をトランク４ａに対向させると共にその間隔を磁気記
録信号の記録波長λに対してλ／２として配置する。磁
気抵抗効果素子Ｒ３はトランク４ｂＫ対向して配置する
。磁気抵抗効果素子Ｒ＋１−４８はガラス等の上に蒸着
によシ成形され、電流方向に対し直角方向の磁界によシ
抵抗が変化する。第４図はパーマロイ等の強磁性体を用
いた磁気抵抗効果素子の磁界に対する特性で磁界によシ
抵抗が下る特性を有する。
いま、第１図のモータ１が回転した場合を考える。これ
は第３図の磁気記録媒体４が矢印の方向に移動したと等
価である。磁気記録媒体４が移動するとこれに記録され
た磁気信号によシ、磁気センサＲ，Ｉ〜Ｒ３は第５図に
示すような抵抗変化を示す。すなわち抵抗Ｒ１とＲ２は
λ／２離れているので、第５図のように抵抗Ｒ２は抵抗
Ｒ１の抵抗変化に対して位相が遅れて抵抗が変化する。
は第３図の磁気記録媒体４が矢印の方向に移動したと等
価である。磁気記録媒体４が移動するとこれに記録され
た磁気信号によシ、磁気センサＲ，Ｉ〜Ｒ３は第５図に
示すような抵抗変化を示す。すなわち抵抗Ｒ１とＲ２は
λ／２離れているので、第５図のように抵抗Ｒ２は抵抗
Ｒ１の抵抗変化に対して位相が遅れて抵抗が変化する。
また抵抗Ｒ３は磁気信号がある時のみ抵抗が変化するの
で図のような抵抗変化となる。
で図のような抵抗変化となる。
これらの磁気抵抗効果素子を第６図のよりに、抵抗Ｒ１
１とＲｇを直列接続し、３端子構成とする。
１とＲｇを直列接続し、３端子構成とする。
また、磁気抵抗効果素子Ｒ３は固定抵抗Ｒ４と直列接続
して３端子構成にする。各々の３端子の両端に電源Ｂを
接続して中間端子Ｔ＋ ＋ ’ｒｏの電圧変化を見ると
、第７図のような電圧波形ｅＩ。
して３端子構成にする。各々の３端子の両端に電源Ｂを
接続して中間端子Ｔ＋ ＋ ’ｒｏの電圧変化を見ると
、第７図のような電圧波形ｅＩ。
ｅ（１が得られる。さらに中間端子’Ｉ’ Ｉ＋ Ｔ
ｏは電圧比較器ＣＭＰ＋ 、ＣＭＰＱに加えられる電圧
比較器ＣＭ Ｐ Ｉ、 Ｃ’Ｍ Ｐ ｏにはそれぞれ基
準電圧ｖＩ ｒ ｖＯが加えられておシ、この電圧とそ
れぞれの電圧ｅＩ ｒ ｅＯが比較され、電圧比較器の
出力ＰＩ ＋ Ｐａにはそれぞれ第８図に示すような波
形の信号Ｅｌ ＋ ＥＯが得られる。このように本発明
によれば、磁性体の各トランクに記録した磁気信号がお
互に磁気干渉を起すことなく、磁気信号を磁気抵抗効果
素子で検出することが可能であシ、さらに磁性体の各ト
ランクの間隔を十分小さくして磁気記録媒体および磁気
センナも小形にできる効果がある。
ｏは電圧比較器ＣＭＰ＋ 、ＣＭＰＱに加えられる電圧
比較器ＣＭ Ｐ Ｉ、 Ｃ’Ｍ Ｐ ｏにはそれぞれ基
準電圧ｖＩ ｒ ｖＯが加えられておシ、この電圧とそ
れぞれの電圧ｅＩ ｒ ｅＯが比較され、電圧比較器の
出力ＰＩ ＋ Ｐａにはそれぞれ第８図に示すような波
形の信号Ｅｌ ＋ ＥＯが得られる。このように本発明
によれば、磁性体の各トランクに記録した磁気信号がお
互に磁気干渉を起すことなく、磁気信号を磁気抵抗効果
素子で検出することが可能であシ、さらに磁性体の各ト
ランクの間隔を十分小さくして磁気記録媒体および磁気
センナも小形にできる効果がある。
さらに他の実施例を第９図、第１０図を用いて説明する
。この実施例は前記実施例に於いて３端子構成した固定
抵抗Ｒ４を磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３と同じ材料によ
り同じ基板上に成形することによシ、形状を大きくする
ことなしに磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３の温度変化等を
補正できるようにした。第９図は磁気記録媒体４と磁気
センサ６の展開図であシ、磁気記録媒体はトラック４ａ
と４ｂに分けてあり、４ａには１周連続した磁気信号を
記録してあり、トランク４ｂには１回転に１個又は数個
のパルス状の磁気信号を記録しである。これに対向する
磁気センサ６の磁気抵抗効果素子Ｒ１、ＲＩ２はトラン
ク４ａに対向し、Ｒ３はトランク４ｂに対向するように
配置しである。さらに磁気抵抗効果素子Ｒ４は前記Ｒ１
１−Ｒ３と直角方向でトラック４ａ、４ｂの境界に対向
して配置しである。このよ５な構成において磁気記録媒
体４が移動すると、磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３の抵抗
変化は前記実施例の第５図と全く同じになる。磁気抵抗
効果素子Ｒ４はトランク４ａ、４ｂの境界に配置されて
あシ、その方向もト〉ツク４ａと４ｂ間の磁界を検出す
る向きに配置されているがトラック間の磁気漏洩がない
ため、抵抗変化がなく固定抵抗として動作する。したが
って、磁気抵抗効果素子Ｒ３とＲ４の配置が近くなり、
温度変化に対してほぼ同じように追従できるので温度補
償が可能になる。磁気抵抗効果素子Ｒ＋ とＲ２の接続
点Ｔ＋およびＲ３とＲ４の接続点ＴＯの出力は第７図と
同じになり、これを波形整形すると第８図のような出力
を得ることができる。このように磁気抵抗効果素子を配
置することにより、磁気センサ６の寸法を大きくするこ
となく、磁気抵抗効果素子Ｒ３の温度補償が可能になる
。
。この実施例は前記実施例に於いて３端子構成した固定
抵抗Ｒ４を磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３と同じ材料によ
り同じ基板上に成形することによシ、形状を大きくする
ことなしに磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３の温度変化等を
補正できるようにした。第９図は磁気記録媒体４と磁気
センサ６の展開図であシ、磁気記録媒体はトラック４ａ
と４ｂに分けてあり、４ａには１周連続した磁気信号を
記録してあり、トランク４ｂには１回転に１個又は数個
のパルス状の磁気信号を記録しである。これに対向する
磁気センサ６の磁気抵抗効果素子Ｒ１、ＲＩ２はトラン
ク４ａに対向し、Ｒ３はトランク４ｂに対向するように
配置しである。さらに磁気抵抗効果素子Ｒ４は前記Ｒ１
１−Ｒ３と直角方向でトラック４ａ、４ｂの境界に対向
して配置しである。このよ５な構成において磁気記録媒
体４が移動すると、磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ３の抵抗
変化は前記実施例の第５図と全く同じになる。磁気抵抗
効果素子Ｒ４はトランク４ａ、４ｂの境界に配置されて
あシ、その方向もト〉ツク４ａと４ｂ間の磁界を検出す
る向きに配置されているがトラック間の磁気漏洩がない
ため、抵抗変化がなく固定抵抗として動作する。したが
って、磁気抵抗効果素子Ｒ３とＲ４の配置が近くなり、
温度変化に対してほぼ同じように追従できるので温度補
償が可能になる。磁気抵抗効果素子Ｒ＋ とＲ２の接続
点Ｔ＋およびＲ３とＲ４の接続点ＴＯの出力は第７図と
同じになり、これを波形整形すると第８図のような出力
を得ることができる。このように磁気抵抗効果素子を配
置することにより、磁気センサ６の寸法を大きくするこ
となく、磁気抵抗効果素子Ｒ３の温度補償が可能になる
。
尚、磁気記録媒体は永久磁石を多数有するものでもよい
。
。
磁気記録媒体は直線に移動するものでもよい。
すなわち、前記実施例の回転体は直線移動体あるいは単
に移動体という言葉で表現することができる。
に移動体という言葉で表現することができる。
磁気信号トランクは複数であればよく、その数は任意で
ある。多くなる程小形化という効果は顕著になる。
ある。多くなる程小形化という効果は顕著になる。
本発明によれば磁性体のトラック間隔を密着しても、各
トランク間の磁気信号による磁気干渉を受けずに磁気抵
抗効果素子によシ、正確な磁気信号の検出ができる。
トランク間の磁気信号による磁気干渉を受けずに磁気抵
抗効果素子によシ、正確な磁気信号の検出ができる。
第１図は磁気回転センサの構成図、第２図は先に開発し
た磁気回転センサの磁性体と磁気センサの展開図、第３
図は本発明の一実施例の磁気回転センサの磁性体と磁気
センサの展開図、第４図は磁気抵抗効果素子の特性図、
第５図は本発明の磁気回転センサの磁気抵抗効果素子の
抵抗変化を示す図、第６図は本発明の磁気抵抗効果素子
の接続図と波形整形回路の一例を示す図、第７図は本発
明の磁気センサの出力波形図、第８図は本発明の磁気回
転センサの出力波形図、第９図は本発明の他の実施例を
示す磁性体と磁気センサの展開図、第１０図は本発明の
他の実施例を示す磁気センサの接続図である。 １・・・回転体、２・・・シャフト、３・・・支持台、
４・・・磁性体、４ａ・・・磁性体のエンコーダトラン
ク、４ｂ・・・磁性体の基準位置トランク、ＭＣｔ 、
ＭＣ２・・・磁気記録信号の中心、６・・・磁気センサ
、Ｒ１１〜Ｒ４・・・磁気抵抗効果素子、Ｂ・・・直流
電源、ＣＭＰｏ。 ＣＭ Ｐ ！・・・波形整形用、ＴＩ ＋ ’ｒｏ・・
・磁気センサの出力端子。 躬ＩＩ２］ 石２霞 躬３の 躬 ５０ ３ 籠 ６０ 補７（２１ 的８Ｉ１２］ 第９０
た磁気回転センサの磁性体と磁気センサの展開図、第３
図は本発明の一実施例の磁気回転センサの磁性体と磁気
センサの展開図、第４図は磁気抵抗効果素子の特性図、
第５図は本発明の磁気回転センサの磁気抵抗効果素子の
抵抗変化を示す図、第６図は本発明の磁気抵抗効果素子
の接続図と波形整形回路の一例を示す図、第７図は本発
明の磁気センサの出力波形図、第８図は本発明の磁気回
転センサの出力波形図、第９図は本発明の他の実施例を
示す磁性体と磁気センサの展開図、第１０図は本発明の
他の実施例を示す磁気センサの接続図である。 １・・・回転体、２・・・シャフト、３・・・支持台、
４・・・磁性体、４ａ・・・磁性体のエンコーダトラン
ク、４ｂ・・・磁性体の基準位置トランク、ＭＣｔ 、
ＭＣ２・・・磁気記録信号の中心、６・・・磁気センサ
、Ｒ１１〜Ｒ４・・・磁気抵抗効果素子、Ｂ・・・直流
電源、ＣＭＰｏ。 ＣＭ Ｐ ！・・・波形整形用、ＴＩ ＋ ’ｒｏ・・
・磁気センサの出力端子。 躬ＩＩ２］ 石２霞 躬３の 躬 ５０ ３ 籠 ６０ 補７（２１ 的８Ｉ１２］ 第９０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性体の移動体と、この移動体に担持された磁気
記録媒体と、この磁気記録媒体に設けられ、それぞれの
磁気信号を生成する複数の磁気信号トランクと、この磁
気記録媒体に近接して配置され、前記磁気記録媒体の磁
気に感応して内部抵抗が変化する磁気抵抗効果素子と、
この磁気抵抗効果素子の抵抗変化を電気的に取出して前
記磁気記録媒体の磁気を検出するものにおいて、 隣接する磁気信号トランクの磁気信号同志の位置を合わ
せるように構成したことを特徴とする磁気検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58194164A JPS6086412A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 磁気検出装置 |
| US06/662,013 US4713613A (en) | 1983-10-19 | 1984-10-18 | Device for magnetically detecting displacement of non-magnetic movable member |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58194164A JPS6086412A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 磁気検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086412A true JPS6086412A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0350965B2 JPH0350965B2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=16319988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58194164A Granted JPS6086412A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 磁気検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4713613A (ja) |
| JP (1) | JPS6086412A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0592716U (ja) * | 1992-05-18 | 1993-12-17 | 三菱重工業株式会社 | 超音波探傷器 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62168019A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Hitachi Ltd | 磁気式回転センサ |
| JPS6474411A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Yamaha Corp | Position detector |
| DE4319322C2 (de) * | 1993-06-11 | 1998-04-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| JP2004061149A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Hitachi Ltd | トルクセンサ及びこれを用いた電動パワーステアリング装置 |
| US6747448B2 (en) | 2002-08-14 | 2004-06-08 | Honeywell International Inc. | Rotary position sensor methods and systems |
| WO2009116365A1 (ja) * | 2008-03-17 | 2009-09-24 | 三菱電機株式会社 | 原点位置信号検出器 |
| US7932684B2 (en) * | 2008-03-25 | 2011-04-26 | Bose Corporation | Absolute position sensing |
| JP5379748B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2013-12-25 | Ｎｔｎ株式会社 | 磁気エンコーダ |
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