JPH0353538A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH0353538A
JPH0353538A JP1189090A JP18909089A JPH0353538A JP H0353538 A JPH0353538 A JP H0353538A JP 1189090 A JP1189090 A JP 1189090A JP 18909089 A JP18909089 A JP 18909089A JP H0353538 A JPH0353538 A JP H0353538A
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JP
Japan
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bonding
wire
control data
data
control
Prior art date
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Pending
Application number
JP1189090A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaru Shimobayashi
下林 勝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH0353538A publication Critical patent/JPH0353538A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
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    • HELECTRICITY
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    • H10W72/547Dispositions of multiple bond wires
    • H10W72/5473Dispositions of multiple bond wires multiple bond wires connected to a common bond pad

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  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、集積回路やハイフリツドIC等の製造に用い
るためのワイヤボンテイング装置に関する。
〔従来の技術〕
集積回路やハイブリッドIC等の製造に使用するワイヤ
ボンデイング装置は、一般に被ボンデイング対象物の位
置ずれを補正するための位置ずれ補正データを取得する
ために画像認識制御を行い、行列椙或で管理した制御デ
ータを有し、この制御データとしてボンデイング点の位
置情報を有し、ボンディング強度などの制御データとし
てボンディング条件制御情報を有している。
このように従来のワイヤボンデイング装置は、位置ずれ
補正データを得た後、行列楕戒で管理したワイヤボンデ
イング制御データの1行に、1本のワイヤに必要なボン
デイング点の位置情報と各ボンディング点に必要なボン
デイング条件制御情報とを記述し、この制御データをボ
ンデイングを行うワイヤの数と同数の行だけ用意して全
ワイヤ制御情報を記述している。
第4図は、上述のような従来のワイヤボンディング装置
の一例の制御データを示すデータ構或図である. 第4図の例は、1ワイヤについて3箇所のボンディング
を行う場合のボンディング制御データを示している。第
4図において、制御データの1行に1番目および2番目
および3番目の3点のボンディング点についてのそれぞ
れのボンディングの位置情報43および45および47
と、ボンディング条件制御情報44および46および4
8とを有して行列構造になっているため、1ワイヤあた
りのボンディング数の2倍の数の列42と、ワイヤ数に
相当する数の行41とを有している。
第4図において、n番目のワイヤにおける1番目および
2番目および3番目の各ボンディング点は、それぞれの
ボンディング位置情報P.およびPn2およびP一と、
ボンディング制御情報B.およびBn2およびBn3と
で表現されている。
第5図に示すように、1ワイヤ分の各ボンディング点(
1番目のボンディング点51および2番目のボンディン
グ点53および3番目のボンディング点55の3箇所〉
の間は、二つのワイヤループ〈1番目のノレーフ゜52
およひ2番目のノレー154)を形成している。
第6図は第4図に示したボンディング制御データを用い
たボンディング動作を示すフローチャートである。
第6図に示すフローチャートを参照して第4図および第
5図に示した例のボンディング動作について説明する。
第6図のフローチャート上の符号nはワイヤの本数を表
し、符号mは全ワイヤ数を表す。先ず画像認識制御を実
行(参照符号81)してボンディング対象物の位置ずれ
データを取得する。次に01に初期化したく参照符号8
2〉後、n行目(この場合1行目)のデータを第4図に
示すワイヤボンディング制御データから読出す(参照符
号83)。次に制御データから読出した位置情報pn.
と上記の位置ずれデータとを用いて最初のワイヤボンデ
ィング点に移動し(参照符号84)、ワイヤボンディン
グ制御情報Bnlをもとに1番目の点のボンディング動
作を行ってワイヤの開始処理を実行する(参照符号85
)。これによって第5図に示した1番目のボンディング
点51を形戒する.次に、位置情報Pa2と上記の位置
ずれデータとをもとにしてループ制御を実行して(参照
符号86)2番目のボンディング点に移動し(参照符号
87)、ワイヤボンディング制御情報Bfi2をもとに
2番目のボンディングを実行して(参照符号88)第5
図に示した1番目のルーブ52と2番目のボンディング
点53とを形戒する。次に、位置情報Pn3と上記の位
置ずれデータとをもとにループ制御を実行して(参照符
号89)3番目のワイヤボンディング点に移動しく参照
符号90〉、ワイヤボンディング制御情報BaSをもと
に3番目のボンディングを実行して(参照符号91)ワ
イヤ終了処理をしく参照符号92)、第5図に示した2
番目ルーブ54と3番目のボンディング点55とを形成
する。上記のnが全ワイヤ数mに達していない場合(参
照符号93)は、nを1増加させて(参照符号94)n
行目の制御データ読込みから処理を開始し、同様な制御
を実行して全ワイヤ数を完了して動作を終了する。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述のような従来のワイヤボンディング装置は、ワイヤ
ボンディング制御データをワイヤ単位で管理しているた
め、以下の様な欠点がある。
(1)1ワイヤあたりのボンディング数を変更すると、
データ構成の行列楕遣を変更する必要があり、ボンディ
ング装置のソフトウエアの改造が必要である. (2)画像認識をボンディング実行の前に行ってボンデ
ィング制御データの列数に相当する位置ずれデータを取
得しているため、ボンディング対象物が増えたとき、ボ
ンディング装置のソフトウエアの改造が必要である。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のワイヤボンディング装置は、1行に一つのボン
ディング点についての位置情報とボンディング条件制御
情報と前の行の示す位置から当該行の示す位置へのワイ
ヤ接続の開始または継続または終了または配線禁止を指
示するループ制御情報とを有し、前犯位置情報と前記ボ
ンディング条件制御情報と前記ループ制御情報とをそれ
ぞれ1列に並べて行列を楕戒した制御データを備え、前
記制御データの2行以上を用いて1本のワイヤ制御情報
を記述し、配線禁止を指示した点において画像認識を実
行することを含んでいる。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。
第1図は本発明の一実施例の制御データを示す制御デー
タ構或図である。
第1図に示すように、制御データは行列構造になってお
り、ボンディング数に相当する数の行11と、位置情報
13およびボンディング条件制御情報14およびループ
制御情報15の3列からなる列12とを有している。1
ワイヤについて3@所のボンディングする3ボンディン
グの場合、まず、配線禁止19がある位置情報P。の点
で画像認識を行って位置ずれデータを算出する。後続す
る3行の制御データには、上記の位置ずれデータと1番
[1および2番目および3番目のボンデイング点のそれ
ぞれについて、ボンデイング位置情報P1およびP2お
よびP,と、ボンデイング制御情報B.およびB2およ
びB3と、ループ制御情報15(ワイヤ開始16または
ワイヤ継続17またはワイヤ終了18)が与えてある。
第1図において、n番目のボンデイング点の制御データ
は、位置情報13として情報P.と、ボンデイング制御
情報14として情報B。と、ループ制御情報15として
ワイヤ継続17とが与えられている。
第2図は、(n−1>行目およびn行目および(n+1
)行目の制御データによって形或する1本のワイヤの3
個のボンディング点(1番目のボンディング点21が(
n−1)行目、2番目のボンディング点23がn行目、
3番目のボンデイング点25が(n+1)行目の制御デ
ータによる〉と2本のワイヤルーブ(1番目のループ2
2がn行目、2番目のループ24が(n+1)行目の制
御データによる)の形状とその工程別の状態を斜視図で
示したものである。
第3図は、第1図に示したボンディング制御データを用
いた本実施例の動作を示すフローチャートである. 以下、第3図に示すフローチャートを参照して第1図お
よび第2図に示した本実施例め動作について説明する. 第3図のフローチャート上の符号nはボンディング番号
を表し、mは全ボンディング数を表す。
第3図に示すように、n=1に初期化し(参照符号61
)た後、n行目(この場合1行目)のデータを第1図に
示すワイヤボンディング制御データから読出す(参照符
号62)。次に、制御データから読出した位置情報Pa
−1を用いて1番目のワイヤボンディング点に移動しく
参照符号63〉、ワイヤボンディング制御情報Bfi−
1をもとに1番目の点のボンディングを行って(参照符
号69)ワイヤの開始処理を実行し、第2図(b)に示
した1番目のボンディング点21を形或してワイヤ開始
時の制御を行う。
次に、位置情報P7−1をもとに、第2図(C)に示す
ようにループ制御を実行して(参照符号68)1番目の
ループ22を形成しながら2番目のワイヤボンディング
点に移動し(参照符号63)、ワイヤボンディング制御
情報Bn−2をもとに2番目のボンディング点23を形
戒して(参照符号69〉ワイヤ継続時の制御を行う。次
に、第2図(d)に示すように、位置情報P0−3をも
とにループ制御を行って(参照符号68〉2番目のルー
プ24を形威しながら3番目のワイヤボンディング点に
移動し(参照符号63)、ワイヤボンディング制御情報
Bn−3をもとに3番目のボンディングを行って(参照
符号69)ワイヤ終了か否かを判断〈参照符号70〉し
て終了の場合はワイヤ終了処理を行う(参照符号71〉
。上記のnが全ボンディング数mに達していない場合(
参照符号72〉は、nを1増加させて(参照符号73)
n行目の制御データの読込み(参照符号62)から処理
を開始し、同様な制御を実行して全ボンディング数を実
行して動作を終了する。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明のワイヤボンディング装置
は、1行に一つのボンディング点を管理するワイヤボン
ディング制御データを用いるため、以下のような効果が
ある。
(l〉1ワイヤあたりのボンディング数を変更するとき
、データ楕戒の行列構造を変更する必要がなく、ボンデ
ィング装置の制御データのみの変更で対応することがで
きる。
(2)画像認識の実行を制御データのながの配線禁止コ
ードで制御しているため、ボンディング対象が増加して
も制御データの増加で対応することができ、装置全体の
ソフトウェアを変更する必要がない.
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の制御データを示すデータ構
成図、第2図は第1図の実施例の1ワイヤ分のボンディ
ング点とワイヤルーブとを示す斜視図、第3図は第1図
の実施例の動作を示すフローチャート、第4図は従来の
ワイヤボンディング装置の一例の制御データを示すデー
タ構戒図、第5図は第4図の例の1ワイヤ分のボンディ
ング点とワイヤループとを示す斜視図、第6図は第4図
の例の動作を示すフローチャートである。 l1・41・・・行、12・42・・・列、13・43
・45・47・・・位置情報、14・44・4ゝ6・4
8・・・ボンディング条件制御情報、15・・・ループ
制御情報、16・・・ワイヤ開始、17・・・ワイヤ継
続、18・・・ワイヤ終了、19・・・配線禁止、21
・23・25・5l・53・55・・・ボンディング点
、22・24・52・54・・・ループ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1行に一つのボンディング点についての位置情報とボン
    ディング条件制御情報と前の行の示す位置から当該行の
    示す位置へのワイヤ接続の開始または継続または終了ま
    たは配線禁止を指示するループ制御情報とを有し、前記
    位置情報と前記ボンディング条件制御情報と前記ループ
    制御情報とをそれぞれ1列に並べて行列を構成した制御
    データを備え、前記制御データの2行以上を用いて1本
    のワイヤ制御情報を記述し、配線禁止を指示した点にお
    いて画像認識を実行することを含むことを特徴とするワ
    イヤボンディング装置。
JP1189090A 1989-07-20 1989-07-20 ワイヤボンディング装置 Pending JPH0353538A (ja)

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JP1189090A JPH0353538A (ja) 1989-07-20 1989-07-20 ワイヤボンディング装置

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JP1189090A JPH0353538A (ja) 1989-07-20 1989-07-20 ワイヤボンディング装置

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JP1189090A Pending JPH0353538A (ja) 1989-07-20 1989-07-20 ワイヤボンディング装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5959249A (en) * 1997-02-24 1999-09-28 Yazaki Corporation Drain structure for electric connection box
WO2011097559A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 Sandisk Corporation Rule-based semiconductor die stacking and bonding within a multi-die package

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