JPH0353555U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353555U JPH0353555U JP11376489U JP11376489U JPH0353555U JP H0353555 U JPH0353555 U JP H0353555U JP 11376489 U JP11376489 U JP 11376489U JP 11376489 U JP11376489 U JP 11376489U JP H0353555 U JPH0353555 U JP H0353555U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- corrected
- forming apparatus
- pattern defect
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはそれぞれこの考案に係るパター
ン欠陥修正装置の正面図、側面図、第２図は膜形
成装置の概略断面図、第３図はフオトマスクの表
面の一部を示す部分平面図、第４図ａ，ｂはそれ
ぞれ従来のパターン欠陥修正装置の正面図、平面
図、第５図ａ，ｂは他の従来例のパターン欠陥修
正装置の正面図、平面図である。 ２……膜形成装置、３……Ｘ−Ｙステージ、４
……フオトマスク、８……顕微鏡、９……ＣＣＤ
カメラ、１０……モニタテレビ、２２……陽極、
２５，２６……対向陰極、２７……透過口、３０
……開口部、４０……Ｃｒ膜、４１……欠陥部。
ン欠陥修正装置の正面図、側面図、第２図は膜形
成装置の概略断面図、第３図はフオトマスクの表
面の一部を示す部分平面図、第４図ａ，ｂはそれ
ぞれ従来のパターン欠陥修正装置の正面図、平面
図、第５図ａ，ｂは他の従来例のパターン欠陥修
正装置の正面図、平面図である。 ２……膜形成装置、３……Ｘ−Ｙステージ、４
……フオトマスク、８……顕微鏡、９……ＣＣＤ
カメラ、１０……モニタテレビ、２２……陽極、
２５，２６……対向陰極、２７……透過口、３０
……開口部、４０……Ｃｒ膜、４１……欠陥部。
Claims (1)
- 膜形成装置の外にある被修正体上のパターン欠
陥を修正する装置において、前記被修正体の修正
部分監視装置と膜形成装置を前記被修正体に対し
対向させて相対配置し、前記被修正体を前記膜形
成装置と監視装置との間で位置決め駆動可能な状
態に配置することを特徴とするパターン欠陥修正
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11376489U JPH0353555U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11376489U JPH0353555U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353555U true JPH0353555U (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=31662167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11376489U Pending JPH0353555U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353555U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0688140U (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-22 | 株式会社電研社 | ケーブル用バンドハンガー |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5653368U (ja) * | 1979-09-29 | 1981-05-11 | ||
| JPS6049896A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-19 | Kurita Water Ind Ltd | ベルトプレス型脱水装置 |
-
1989
- 1989-09-27 JP JP11376489U patent/JPH0353555U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5653368U (ja) * | 1979-09-29 | 1981-05-11 | ||
| JPS6049896A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-19 | Kurita Water Ind Ltd | ベルトプレス型脱水装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0688140U (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-22 | 株式会社電研社 | ケーブル用バンドハンガー |