JPH0353832U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353832U JPH0353832U JP11446289U JP11446289U JPH0353832U JP H0353832 U JPH0353832 U JP H0353832U JP 11446289 U JP11446289 U JP 11446289U JP 11446289 U JP11446289 U JP 11446289U JP H0353832 U JPH0353832 U JP H0353832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- heating
- cooling
- cooling means
- transfer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本実施例に係るホツトプレート式オー
ブンを示す構成図、第２図は本実施例に係るウエ
ハの搬送機構の一例を示す斜視図、第３図は本実
施例に係るウエハの待機状態を示す説明図、第４
図は本実施例の他の例を示す構成図、第５図は従
来のホトリソグラフイ工程を示すブロツク図、第
６図は従来例に係るキヤリヤの一例を示す斜視図
である。 Ａ……ホツトプレート式オーブン、１……ホツ
トプレート、２……ウエハ、３……カバー、４…
…ヒータ、５……ウエハ収容空間、８……溝、９
……ワイヤ、１０……クーリングプレート、１１
……ウエハ昇降ピンである。
ブンを示す構成図、第２図は本実施例に係るウエ
ハの搬送機構の一例を示す斜視図、第３図は本実
施例に係るウエハの待機状態を示す説明図、第４
図は本実施例の他の例を示す構成図、第５図は従
来のホトリソグラフイ工程を示すブロツク図、第
６図は従来例に係るキヤリヤの一例を示す斜視図
である。 Ａ……ホツトプレート式オーブン、１……ホツ
トプレート、２……ウエハ、３……カバー、４…
…ヒータ、５……ウエハ収容空間、８……溝、９
……ワイヤ、１０……クーリングプレート、１１
……ウエハ昇降ピンである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体装置の製造等に用いられるウエハ加熱装
置において、 加熱手段、冷却手段及び移送手段を備え、上記
加熱手段と上記冷却手段が対向するように配置し
、上記移送手段によりウエハを上記加熱手段と上
記冷却手段間で移送自在にしたことを特徴とする
ウエハ加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11446289U JPH0353832U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11446289U JPH0353832U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353832U true JPH0353832U (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=31662830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11446289U Pending JPH0353832U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353832U (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11446289U patent/JPH0353832U/ja active Pending
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