JPH0353847U - - Google Patents
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- JPH0353847U JPH0353847U JP11485989U JP11485989U JPH0353847U JP H0353847 U JPH0353847 U JP H0353847U JP 11485989 U JP11485989 U JP 11485989U JP 11485989 U JP11485989 U JP 11485989U JP H0353847 U JPH0353847 U JP H0353847U
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- JP
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- back side
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 2
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- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例である表面打点式
裏面外観チエツカの構成図を、また、第２図に従
来使用していたピンセツトの斜視図を示す。 １……光軸合わせ用光源、２ａ，２ｂ，２ｃ…
…反射鏡、３……接眼レンズ、４……打点用マー
カ、５……透明ガラス台、６……ウエール、７…
…裏面外観チヤツカ（光学顕微鏡型）。
裏面外観チエツカの構成図を、また、第２図に従
来使用していたピンセツトの斜視図を示す。 １……光軸合わせ用光源、２ａ，２ｂ，２ｃ…
…反射鏡、３……接眼レンズ、４……打点用マー
カ、５……透明ガラス台、６……ウエール、７…
…裏面外観チヤツカ（光学顕微鏡型）。
Claims (1)
- 透明ガラス等の透明物質の台に支持されたウエ
ーハの素子形成面の裏面側の外観異常を観察でき
る裏面外観チエツカと裏面側に外観異常が発見さ
れた不良チツプに表面から不良コークを打点する
マーキング部とを有する表面打点式裏面外観チエ
ツカ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11485989U JPH0353847U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11485989U JPH0353847U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353847U true JPH0353847U (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=31663207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11485989U Pending JPH0353847U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353847U (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11485989U patent/JPH0353847U/ja active Pending
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