JPH03109340U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109340U JPH03109340U JP1804590U JP1804590U JPH03109340U JP H03109340 U JPH03109340 U JP H03109340U JP 1804590 U JP1804590 U JP 1804590U JP 1804590 U JP1804590 U JP 1804590U JP H03109340 U JPH03109340 U JP H03109340U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- support
- vacuuming
- tweezer
- thin film
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 2
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
Description
第１図ａは本考案ウエーハ支持具の第１実施例
の構成を示す正面図、第１図ｂは第２実施例の構
成を示す正断面図、第１図ｃは第３実施例の構成
を示す正断面図、第２図ａは従来のピンセツトで
シリコンウエーハを挟持している状態を示す正面
図、第２図ｂは従来のウエーハ支持台にシリコン
ウエーハを載置した状態を示す正断面図、第２図
ｃは従来のツイーザに真空引きによりシリコンウ
エーハを吸着した状態を示す正断面図である。 １……（シリコン）ウエーハ、２……ウエーハ
支持具、２ａ……ピンセツト、２ｂ……ウエーハ
支持台、２ｃ……ツイーザ、３……ダイヤモンド
薄膜、４……開口、５……管部。
の構成を示す正面図、第１図ｂは第２実施例の構
成を示す正断面図、第１図ｃは第３実施例の構成
を示す正断面図、第２図ａは従来のピンセツトで
シリコンウエーハを挟持している状態を示す正面
図、第２図ｂは従来のウエーハ支持台にシリコン
ウエーハを載置した状態を示す正断面図、第２図
ｃは従来のツイーザに真空引きによりシリコンウ
エーハを吸着した状態を示す正断面図である。 １……（シリコン）ウエーハ、２……ウエーハ
支持具、２ａ……ピンセツト、２ｂ……ウエーハ
支持台、２ｃ……ツイーザ、３……ダイヤモンド
薄膜、４……開口、５……管部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハ１を支持する支持具２の少なくと
もウエーハ１と接触する部分にダイヤモンド薄膜
３をコートしてなるウエーハ支持具。 (2) 支持具２はセラミツクスで出来ている請求
項第１項記載のウエーハ支持具。 (3) 支持具２はウエーハ１を挟持するピンセツ
ト２ａ、ウエーハ１を載置するウエーハ支持台２
ｂまたはウエーハ１を真空引きにより吸着するツ
イーザ２ｃあるいはウエーハチヤツクである請求
項第１項記載のウエーハ支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1804590U JPH03109340U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1804590U JPH03109340U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109340U true JPH03109340U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31521221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1804590U Pending JPH03109340U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109340U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10298780A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-11-10 | Citizen Watch Co Ltd | 絶縁材への被膜形成方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02186656A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-20 | Hitachi Ltd | 低発塵装置 |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP1804590U patent/JPH03109340U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02186656A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-20 | Hitachi Ltd | 低発塵装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10298780A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-11-10 | Citizen Watch Co Ltd | 絶縁材への被膜形成方法 |