JPH0353995B2 - - Google Patents
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- JPH0353995B2 JPH0353995B2 JP57199485A JP19948582A JPH0353995B2 JP H0353995 B2 JPH0353995 B2 JP H0353995B2 JP 57199485 A JP57199485 A JP 57199485A JP 19948582 A JP19948582 A JP 19948582A JP H0353995 B2 JPH0353995 B2 JP H0353995B2
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Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、いわゆる超音波ウエルダー、超音
波溶着機等の超音波加工機のための超音波振動素
子を超音波振動させる超音波振動素子駆動装置に
関する。
波溶着機等の超音波加工機のための超音波振動素
子を超音波振動させる超音波振動素子駆動装置に
関する。
従来技術
従来の超音波振動素子駆動装置においては、超
音波振動素子に設けられた加工用ホーンにひび割
れが生ずるとか、加工用ホーンが交換された時に
は、超音波振動素子が基本周波数以外の異なる周
波数にて振動されるようになり、例えば被加工物
であるプラスチツクの溶着不良を生ずる等の問題
点があつた。
音波振動素子に設けられた加工用ホーンにひび割
れが生ずるとか、加工用ホーンが交換された時に
は、超音波振動素子が基本周波数以外の異なる周
波数にて振動されるようになり、例えば被加工物
であるプラスチツクの溶着不良を生ずる等の問題
点があつた。
目 的
この発明の目的は、上記問題点を解決するため
に為されたものであつて、基本周波数以外の異な
る周波数にて超音波振動素子が振動された場合、
その異なる振動周波数による超音波振動素子の振
動を防止して、基本周波数による振動に自動的に
移行するようにし、被加工物の溶着不良を防止し
得る超音波振動素子駆動装置を提供することにあ
る。
に為されたものであつて、基本周波数以外の異な
る周波数にて超音波振動素子が振動された場合、
その異なる振動周波数による超音波振動素子の振
動を防止して、基本周波数による振動に自動的に
移行するようにし、被加工物の溶着不良を防止し
得る超音波振動素子駆動装置を提供することにあ
る。
実施例
以下この発明の超音波加工機に具体化した一実
施例を図面に従つて説明する。
施例を図面に従つて説明する。
第1図に示すように、テーブル1上には支柱2
が立設され、その支柱2の上部には固定台3が固
定されている。その固定台3には流体圧シリンダ
4が固定され、その下方に延びるピストンロツド
5には可動枠体6が固定されており、その可動枠
体6には超音波振動素子7が保持されている。そ
の超音波振動素子7の下端には加工用ホーン8が
着脱可能に取り付けられ、その下端の加工面8a
は前記テーブル1と対向している。又、超音波振
動素子7を発振させる発振回路9が設けられてい
る。
が立設され、その支柱2の上部には固定台3が固
定されている。その固定台3には流体圧シリンダ
4が固定され、その下方に延びるピストンロツド
5には可動枠体6が固定されており、その可動枠
体6には超音波振動素子7が保持されている。そ
の超音波振動素子7の下端には加工用ホーン8が
着脱可能に取り付けられ、その下端の加工面8a
は前記テーブル1と対向している。又、超音波振
動素子7を発振させる発振回路9が設けられてい
る。
そしてテーブル1上に型10を載置し、その型
10内にプラスチツクからなる2枚の被加工物1
1を重合して載置して、流体圧シリンダ4のピス
トンロツド5を下動させると、可動枠体6ととも
に加工用ホーン8が下動され、その加工面8aが
被加工物11の加工部11aを押圧する。その状
態で発振回路9により超音波振動素子7を振動さ
せ被加工物11に加工面8aから超音波振動を付
与すると両被加工物11の加工部11aが溶着加
工される。加工終了後は流体圧シリンダ4により
加工用ホーン8が上動され、被加工物11がテー
ブル1上から取り除かれる。
10内にプラスチツクからなる2枚の被加工物1
1を重合して載置して、流体圧シリンダ4のピス
トンロツド5を下動させると、可動枠体6ととも
に加工用ホーン8が下動され、その加工面8aが
被加工物11の加工部11aを押圧する。その状
態で発振回路9により超音波振動素子7を振動さ
せ被加工物11に加工面8aから超音波振動を付
与すると両被加工物11の加工部11aが溶着加
工される。加工終了後は流体圧シリンダ4により
加工用ホーン8が上動され、被加工物11がテー
ブル1上から取り除かれる。
次にこの実施例の超音波加工機の電子回路を第
2図に従つて説明する。超音波振動素子7は駆動
用素子7aと検出用素子7bとを備えており、発
振回路9により発振される。その発振回路9につ
いて説明すると、検出用素子7bからは超音波振
動素子7の実際の振動周波数の電気的な高周波
信号SG1が出力され、その高周波信号SG1は帰
還回路12に入力される。その帰還回路12は、
一端が超音波振動素子7の検出用素子7bに接続
され、他端が抵抗13を介して接地されたコンデ
ンサ14と、その抵抗13と、その抵抗13に一
次側端子が並列接続されたトランス15とからな
り、トランス15の二次側端子は帰還回路12の
出力端子となつている。帰還回路12の出力端子
から出力されるフイードバツク信号SG2は減衰
回路16に入力される。その減衰回路16、3個
の抵抗R1,R2,R3を直列接続してなり、ト
ランス15の二次側端子に並列接続されている。
抵抗R2の両端にはアナログスイツチ17が並列
接続され、抵抗R1とR2との接続点から減衰回
路16の出力信号SG3が出力される。その出力
信号SG3は可変増幅度増幅回路18と電力増幅
回路19により増幅され、その電力増幅回路19
から高周波電力が超音波振動素子7の駆動用素子
7aに供給される。そして、減衰回路16、可変
増幅度増幅回路18、電力増幅回路19により電
力供給回路20が構成されている。
2図に従つて説明する。超音波振動素子7は駆動
用素子7aと検出用素子7bとを備えており、発
振回路9により発振される。その発振回路9につ
いて説明すると、検出用素子7bからは超音波振
動素子7の実際の振動周波数の電気的な高周波
信号SG1が出力され、その高周波信号SG1は帰
還回路12に入力される。その帰還回路12は、
一端が超音波振動素子7の検出用素子7bに接続
され、他端が抵抗13を介して接地されたコンデ
ンサ14と、その抵抗13と、その抵抗13に一
次側端子が並列接続されたトランス15とからな
り、トランス15の二次側端子は帰還回路12の
出力端子となつている。帰還回路12の出力端子
から出力されるフイードバツク信号SG2は減衰
回路16に入力される。その減衰回路16、3個
の抵抗R1,R2,R3を直列接続してなり、ト
ランス15の二次側端子に並列接続されている。
抵抗R2の両端にはアナログスイツチ17が並列
接続され、抵抗R1とR2との接続点から減衰回
路16の出力信号SG3が出力される。その出力
信号SG3は可変増幅度増幅回路18と電力増幅
回路19により増幅され、その電力増幅回路19
から高周波電力が超音波振動素子7の駆動用素子
7aに供給される。そして、減衰回路16、可変
増幅度増幅回路18、電力増幅回路19により電
力供給回路20が構成されている。
この発振回路9は、電圧増幅率をA〓0、電圧帰
還率をβ〓とすればA〓0・β〓=1なる条件を満足する
とき発振する。
還率をβ〓とすればA〓0・β〓=1なる条件を満足する
とき発振する。
超音波振動素子7の検出用素子7bからの高周
波信号SG1は検波整流回路21へ入力され、そ
の検波整流回路21ぱ高周波信号SG1の電圧値
に比例する直流電圧VDを可変直流電源22に付
与する。その可変直流電源22には電源電圧VC
が付与されており、直流電圧VDにより制御され
る出力電圧VOを可変増幅度増幅回路18に付与
する。その出力電圧VOは、直流電圧VDが高く
なるほど低い値となり、直流電圧VDが低下する
ほど高くなる。前記可変増幅度増幅回路18の増
幅率はその出力電圧VOに比例する。従つて、超
音波振動素子7の振動周波数fが低下すると高周
波信号SG1の電圧値が低くなり、直流電圧VDが
低下し出力電圧VOが高くなる。これにより可変
増幅度増幅回路18の増幅率が高くなり、調音波
振動素子7の駆動用素子7aには大きな高周波電
力が供給される。従つて超音波振動素子7は結果
的に一定の振動数にて振動することになり、高周
波信号SG1の電圧値も一定となる。又、反対に
超音波振動素子7の振動周波数fが高くなつた時
も、同様に制御されて結果的に超音波振動素子7
は一定の振動周波数fにて振動され、高周波信号
SG1の電圧も一定となる。
波信号SG1は検波整流回路21へ入力され、そ
の検波整流回路21ぱ高周波信号SG1の電圧値
に比例する直流電圧VDを可変直流電源22に付
与する。その可変直流電源22には電源電圧VC
が付与されており、直流電圧VDにより制御され
る出力電圧VOを可変増幅度増幅回路18に付与
する。その出力電圧VOは、直流電圧VDが高く
なるほど低い値となり、直流電圧VDが低下する
ほど高くなる。前記可変増幅度増幅回路18の増
幅率はその出力電圧VOに比例する。従つて、超
音波振動素子7の振動周波数fが低下すると高周
波信号SG1の電圧値が低くなり、直流電圧VDが
低下し出力電圧VOが高くなる。これにより可変
増幅度増幅回路18の増幅率が高くなり、調音波
振動素子7の駆動用素子7aには大きな高周波電
力が供給される。従つて超音波振動素子7は結果
的に一定の振動数にて振動することになり、高周
波信号SG1の電圧値も一定となる。又、反対に
超音波振動素子7の振動周波数fが高くなつた時
も、同様に制御されて結果的に超音波振動素子7
は一定の振動周波数fにて振動され、高周波信号
SG1の電圧も一定となる。
しかしながら、超音波振動素子7は基本周波数
f0以外の周波数を含む。この基本周波数f0以外の
周波数としては、高周波、発振回路9の浮遊容量
等に起因する寄生振動によるもの等が存在する
が、超音波振動素子7の周波数に対するいわゆる
スプリアス特性が基本周波数f0に近接した周波数
でピーク値を有すると、超音波振動素子7の実際
の振動周波数fは基本周波数f0から外れてしまう
こととなる。このような状態となると、前述した
ような検波整流回路21、可変直流電源22、可
変増幅度増幅回路18によつては、もはや超音波
振動素子7の振動周波数fを一定に保つことがで
きなくなつてしまう。
f0以外の周波数を含む。この基本周波数f0以外の
周波数としては、高周波、発振回路9の浮遊容量
等に起因する寄生振動によるもの等が存在する
が、超音波振動素子7の周波数に対するいわゆる
スプリアス特性が基本周波数f0に近接した周波数
でピーク値を有すると、超音波振動素子7の実際
の振動周波数fは基本周波数f0から外れてしまう
こととなる。このような状態となると、前述した
ような検波整流回路21、可変直流電源22、可
変増幅度増幅回路18によつては、もはや超音波
振動素子7の振動周波数fを一定に保つことがで
きなくなつてしまう。
そこでこの発明においては発振回路9に以下に
述べるような回路構成を設けている。帰還回路1
2の抵抗13とコンデンサ14との接続点からは
超音波振動素子7の振動周波数fの電気信号が出
力されている。その振動周波数fは周波数−電圧
変換器からなる周波数検出装置23に入力され、
その周波数検出装置23は振動周波数fに比例す
る直流電圧Vを判別手段24に付与する。その
判別手段24は、超音波振動素子7の基本周波数
f0より僅かに高い周波数f0+Δfに比例する直流電
圧VHと、基本周波数f0より僅かに低い周波数f0
−Δfに比例する直流電圧VLとを出力する基準電
圧発生器25と、直流電圧Vfと直流電圧VHとが
2個の入力端子にそれぞれ入力される比較器26
と、直流電圧Vfと直流電圧VLとが2個の入力端
子にそれぞれ入力される比較器27と、両比較器
26,27の出力端子が2個の入力端子にそれぞ
れ接続されたOR回路28とからなる。比較器2
6は直流電圧Vfが直流電圧XHより高くなつた時、
すなわち超音波振動素子7の振動周波数fが基本
周波数f0よりΔfだけ高くなつた時、論理1の出
力信号を出力し、比較器27は直流電圧Vfが直
流電圧VLより低くなつた時、すなわち超音波振
動素子7の振動周波数fが基本周波数f0よりΔf
だけ低くなつた時、論理1の出力信号を出力する
ようになつており、OR回路28は、両比較器2
6,27の出力のいずれか一方又は両方が論理1
となつた時、論理1の判別信号SG4を出力する。
その判別信号SG4は、スイツチ29を介して、
警報表示手段30又はアナログスイツチ駆動回路
31に入力される。その警報表示手段30は、警
報信号を発生する発光ダイオード、スピーカー等
の警報素子32と、その警報素子32を駆動する
警報表示素子駆動回路33とからなる。超音波振
動素子7の実際の周波数fがf0±Δfの範囲内の
値に収まつていない場合には、判別手段24から
論理1の判別信号SG4が警報表示素子駆動回路
33に付与されて、警報素子32から光、音等の
警報信号が発生される。
述べるような回路構成を設けている。帰還回路1
2の抵抗13とコンデンサ14との接続点からは
超音波振動素子7の振動周波数fの電気信号が出
力されている。その振動周波数fは周波数−電圧
変換器からなる周波数検出装置23に入力され、
その周波数検出装置23は振動周波数fに比例す
る直流電圧Vを判別手段24に付与する。その
判別手段24は、超音波振動素子7の基本周波数
f0より僅かに高い周波数f0+Δfに比例する直流電
圧VHと、基本周波数f0より僅かに低い周波数f0
−Δfに比例する直流電圧VLとを出力する基準電
圧発生器25と、直流電圧Vfと直流電圧VHとが
2個の入力端子にそれぞれ入力される比較器26
と、直流電圧Vfと直流電圧VLとが2個の入力端
子にそれぞれ入力される比較器27と、両比較器
26,27の出力端子が2個の入力端子にそれぞ
れ接続されたOR回路28とからなる。比較器2
6は直流電圧Vfが直流電圧XHより高くなつた時、
すなわち超音波振動素子7の振動周波数fが基本
周波数f0よりΔfだけ高くなつた時、論理1の出
力信号を出力し、比較器27は直流電圧Vfが直
流電圧VLより低くなつた時、すなわち超音波振
動素子7の振動周波数fが基本周波数f0よりΔf
だけ低くなつた時、論理1の出力信号を出力する
ようになつており、OR回路28は、両比較器2
6,27の出力のいずれか一方又は両方が論理1
となつた時、論理1の判別信号SG4を出力する。
その判別信号SG4は、スイツチ29を介して、
警報表示手段30又はアナログスイツチ駆動回路
31に入力される。その警報表示手段30は、警
報信号を発生する発光ダイオード、スピーカー等
の警報素子32と、その警報素子32を駆動する
警報表示素子駆動回路33とからなる。超音波振
動素子7の実際の周波数fがf0±Δfの範囲内の
値に収まつていない場合には、判別手段24から
論理1の判別信号SG4が警報表示素子駆動回路
33に付与されて、警報素子32から光、音等の
警報信号が発生される。
又、スイツチ29がアナログスイツチ駆動回路
31側へ倒されている時には、判別手段24から
論理1の判別信号SG4が出力されるとアナログ
スイツチ駆動回路31が作動し、そのアナログス
イツチ駆動回路31は前記減衰回路16のアナロ
グスイツチ17をオンさせる。減衰回路16の減
衰率は、アナログスイツチ17がオフされている
ときにはR1/(R1+R2+R3)であるが、アナ
ログスイツチ17がオンされた時にはR1/(R1
+R3)となる。従つて、アナログスイツチ17
がオンされた時のほうが減衰回路16の減衰率は
大きくなり、発振回路9の全体の電圧利得は低下
する。それにより超音波振動素子7は、例え基本
周波数f0に接近した周波数てスプリアス特性のピ
ーク値を有する場合でも通常そのピーク値は基本
周波数f0のピーク値より低いため、基本周波数f0
以外の周波数では発振し難くなり、基本周波数f0
で発振するようになる。すると、周波数検出装置
23から出力される直流電圧Vfは、基準電圧発
生器25から出力される直流電圧VL〜VHの範囲
内に収まり、判別手段24からは論理0の信号が
出力される。従つてアナログスイツチ駆動回路3
1は作動せず、アナログスイツチ17がオフされ
る。すると、発振回路9の全体の電圧利得は元の
値に戻つて、そのまま基本周波数f0にて超音波振
動素子7が振動させることとなる。
31側へ倒されている時には、判別手段24から
論理1の判別信号SG4が出力されるとアナログ
スイツチ駆動回路31が作動し、そのアナログス
イツチ駆動回路31は前記減衰回路16のアナロ
グスイツチ17をオンさせる。減衰回路16の減
衰率は、アナログスイツチ17がオフされている
ときにはR1/(R1+R2+R3)であるが、アナ
ログスイツチ17がオンされた時にはR1/(R1
+R3)となる。従つて、アナログスイツチ17
がオンされた時のほうが減衰回路16の減衰率は
大きくなり、発振回路9の全体の電圧利得は低下
する。それにより超音波振動素子7は、例え基本
周波数f0に接近した周波数てスプリアス特性のピ
ーク値を有する場合でも通常そのピーク値は基本
周波数f0のピーク値より低いため、基本周波数f0
以外の周波数では発振し難くなり、基本周波数f0
で発振するようになる。すると、周波数検出装置
23から出力される直流電圧Vfは、基準電圧発
生器25から出力される直流電圧VL〜VHの範囲
内に収まり、判別手段24からは論理0の信号が
出力される。従つてアナログスイツチ駆動回路3
1は作動せず、アナログスイツチ17がオフされ
る。すると、発振回路9の全体の電圧利得は元の
値に戻つて、そのまま基本周波数f0にて超音波振
動素子7が振動させることとなる。
前述した検波整流回路21、可変直流電源22
等からなる回路は、調音波振動素子7の基本周波
数f0の値が何らかの原因によりずれた場合にその
基本周波数f0の値を一定に保つための回路であ
る。これに対して周波数検出装置23、判別手段
24、警報表示手段30、アナログスイツチ駆動
回路31、アナログスイツチ17、減衰回路16
等により構成される回路は、超音波振動素子7が
基本周波数f0以外の高調波成分等による周波数に
よつて発振されるのを防止する回路でありその目
的が異なる。
等からなる回路は、調音波振動素子7の基本周波
数f0の値が何らかの原因によりずれた場合にその
基本周波数f0の値を一定に保つための回路であ
る。これに対して周波数検出装置23、判別手段
24、警報表示手段30、アナログスイツチ駆動
回路31、アナログスイツチ17、減衰回路16
等により構成される回路は、超音波振動素子7が
基本周波数f0以外の高調波成分等による周波数に
よつて発振されるのを防止する回路でありその目
的が異なる。
なお、周波数検出装置23としては、振動周波
数fの高周波信号SG1をその周波数fのパルス
信号に変換するシユミツト回路で構成し、その周
波数fもしくは周期を直接計測することにより判
別信号SG4を出力するように判別手段24を構
成してもよい。
数fの高周波信号SG1をその周波数fのパルス
信号に変換するシユミツト回路で構成し、その周
波数fもしくは周期を直接計測することにより判
別信号SG4を出力するように判別手段24を構
成してもよい。
効 果
以上詳述したようにこの発明は、超音波振動素
子7の検出用素子7bから出力される高周波信号
SG1の周波数fに比例する電気信号Vfを検出す
る周波数検出装置23と、その周波数検出装置2
3によつて検出された電気信号Vfが予め定めら
れた周波数f0と一致するか否かを判別する判別手
段24と、その判別手段24によつて前記検出さ
れた周波数fが前記予め定められた周波数f0と一
致しないと判別された場合、その判別結果に応答
して前記電力供給回路20から駆動用素子7aに
供給する高周波電力を減少させる手段とを設けた
ことにより、新しい加工用ホーンに交換した場合
等には、超音波振動素子7の基本周波数f0と異な
る周波数fにて超音波振動素子7が振動されよう
としても自動的に基本周波数f0にて振動されるよ
うになり、被加工物の加工不良をなくすことがで
きる。
子7の検出用素子7bから出力される高周波信号
SG1の周波数fに比例する電気信号Vfを検出す
る周波数検出装置23と、その周波数検出装置2
3によつて検出された電気信号Vfが予め定めら
れた周波数f0と一致するか否かを判別する判別手
段24と、その判別手段24によつて前記検出さ
れた周波数fが前記予め定められた周波数f0と一
致しないと判別された場合、その判別結果に応答
して前記電力供給回路20から駆動用素子7aに
供給する高周波電力を減少させる手段とを設けた
ことにより、新しい加工用ホーンに交換した場合
等には、超音波振動素子7の基本周波数f0と異な
る周波数fにて超音波振動素子7が振動されよう
としても自動的に基本周波数f0にて振動されるよ
うになり、被加工物の加工不良をなくすことがで
きる。
図面はこの発明を超音波加工機に具体化した一
実施例を示し、第1図は側面図、第2図は回路図
である。 超音波振動素子……7、加工用ホーン……8、
加工面……8a、発振回路……9、被加工物……
11、帰還回路……12、減衰回路……16、ア
ナログスイツチ……17、電力供給回路……2
0、周波数検出装置……23、判別手段……2
4、警報表示手段……30、アナログスイツチ駆
動回路……31、振動周波数……f、基本周波数
……f0、直流電圧……Vf、直流電圧……VH、直
流電圧……VL、判別信号……SG4。
実施例を示し、第1図は側面図、第2図は回路図
である。 超音波振動素子……7、加工用ホーン……8、
加工面……8a、発振回路……9、被加工物……
11、帰還回路……12、減衰回路……16、ア
ナログスイツチ……17、電力供給回路……2
0、周波数検出装置……23、判別手段……2
4、警報表示手段……30、アナログスイツチ駆
動回路……31、振動周波数……f、基本周波数
……f0、直流電圧……Vf、直流電圧……VH、直
流電圧……VL、判別信号……SG4。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 駆動用素子7a及び検出用素子7bを備えた
超音波振動素子7と、 その超音波振動素子7の駆動用素子7aに高周
波電力を供給するための電力供給回路20と、 その電力供給回路20に前記超音波振動素子7
の検出用素子7bから出力される高周波信号SG
1を正帰還する帰還回路12と を含む超音波振動素子駆動装置において、 前記検出用素子7bから出力される高周波信号
SG1の周波数fに比例する電気信号Vfを検出す
る周波数検出装置23と、 その周波数検出装置23によつて検出された電
気信号Vfが予め定められた周波数f0と一致す
るか否かを判別する判別手段24と、 その判別手段24によつて前記検出された周波
数fが前記予め定められた周波数f0と一致しな
いと判別された場合、その判別結果に応答して前
記電力供給回路20から駆動用素子7aに供給す
る高周波電力を減少させる手段と を設けたことを特徴とする超音波振動素子駆動装
置。 2 前記電力供給回路20は前記検出用素子7b
から帰還された高周波信号SG1を減衰させるた
めのアナログスイツチ17を有する減衰回路16
を含み、前記高周波電力を減少させる手段は前記
アナログスイツチ17を駆動するための駆動回路
31を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載の超音波振動素子駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199485A JPS5990672A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 超音波振動素子駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199485A JPS5990672A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 超音波振動素子駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990672A JPS5990672A (ja) | 1984-05-25 |
| JPH0353995B2 true JPH0353995B2 (ja) | 1991-08-16 |
Family
ID=16408586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57199485A Granted JPS5990672A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 超音波振動素子駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990672A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2672797B2 (ja) * | 1995-06-16 | 1997-11-05 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波変換器駆動回路 |
| JP6267050B2 (ja) * | 2014-05-01 | 2018-01-24 | 株式会社イシダ | 超音波包装機 |
-
1982
- 1982-11-13 JP JP57199485A patent/JPS5990672A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5990672A (ja) | 1984-05-25 |
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