JPH0354064U - - Google Patents

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JPH0354064U
JPH0354064U JP11211289U JP11211289U JPH0354064U JP H0354064 U JPH0354064 U JP H0354064U JP 11211289 U JP11211289 U JP 11211289U JP 11211289 U JP11211289 U JP 11211289U JP H0354064 U JPH0354064 U JP H0354064U
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JP
Japan
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inspected
image processing
processing device
microscope
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JP11211289U
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の説明図、第２図は
上記一実施例のテレビカメラが検出する映像の説
明図、第３図は上記一実施例のテレビカメラが検
出する欠陥部分の輝度の説明図、第４図は上記一
実施例の試料ステージによる被検査材料移動の説
明図、第５図は上記一実施例の表示装置により表
示された欠陥の模式図、第６図は第５図の部分
の拡大図である。 １……光学顕微鏡、２……被検査材料、３……
テレビカメラ、４……画像処理装置、５……光デ
イスク、６……試料ステージ、７……コンピユー
タ、８……欠陥。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検査部材の表面組織の映像を拡大する顕微鏡
    、同顕微鏡の被検査部材観察部に設けられた被検
    査部材撮影装置、上記顕微鏡の被検査部材搭載部
    に設けられ被検査部材を二次元的に移動可能に搭
    載する試料ステージ、上記撮影装置より映像信号
    を入力して被検査部材の欠陥の有無を判別する画
    像処理装置、同画像処理装置が接続され上記試料
    ステージへ駆動信号を出力するコンピユータ、上
    記画像処理装置より被検査部材の欠陥の画像とそ
    の位置を入力して記憶する記憶装置、および上記
    画像処理装置に接続され被検査部材の表面組織を
    映し出す表示装置を備えたことを特徴とする欠陥
    検出表示装置。
JP11211289U 1989-09-27 1989-09-27 Pending JPH0354064U (ja)

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JP11211289U JPH0354064U (ja) 1989-09-27 1989-09-27

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JPH0354064U true JPH0354064U (ja) 1991-05-24

Family

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JP11211289U Pending JPH0354064U (ja) 1989-09-27 1989-09-27

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6211139A (ja) * 1985-06-28 1987-01-20 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 異物検査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6211139A (ja) * 1985-06-28 1987-01-20 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 異物検査装置

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