JPH0157283B2 - - Google Patents
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- JPH0157283B2 JPH0157283B2 JP54018868A JP1886879A JPH0157283B2 JP H0157283 B2 JPH0157283 B2 JP H0157283B2 JP 54018868 A JP54018868 A JP 54018868A JP 1886879 A JP1886879 A JP 1886879A JP H0157283 B2 JPH0157283 B2 JP H0157283B2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被検査物体の欠陥検査装置、特に白
黒テレビカメラを用いて被検査物体の欠陥の検査
を自動的に行う、欠陥検査装置に関するものであ
る。
黒テレビカメラを用いて被検査物体の欠陥の検査
を自動的に行う、欠陥検査装置に関するものであ
る。
従来、白黒テレビカメラを用いて被検査物体の
欠陥を検査する装置は、既に提案されているが、
これは、被検査物体をテレビカメラで個々に撮影
し、それをモニターテレビ上に再生し、その映像
を観察して、欠陥の有無を調べていた。従つて、
欠陥の検査の効率が悪く、これにより自動的に被
検査物体の欠陥の検査を行うことは、殆んど不可
能であつた。
欠陥を検査する装置は、既に提案されているが、
これは、被検査物体をテレビカメラで個々に撮影
し、それをモニターテレビ上に再生し、その映像
を観察して、欠陥の有無を調べていた。従つて、
欠陥の検査の効率が悪く、これにより自動的に被
検査物体の欠陥の検査を行うことは、殆んど不可
能であつた。
従つて、本発明の主目的は、白黒テレビカメラ
を用いて、被検査物体の欠陥の検査を自動的に行
い得る、欠陥検査装置を提供せんとするものであ
る。
を用いて、被検査物体の欠陥の検査を自動的に行
い得る、欠陥検査装置を提供せんとするものであ
る。
本発明による欠陥検査装置の特徴とするところ
は、被検査物体を白黒テレビカメラで撮像し、該
白黒テレビカメラよりの被検査物体に対する画像
信号を処理して上記被検査物体の欠陥等を検査す
る欠陥検査装置に於て、上記画像信号の全べての
立ち上り及び立ち下がりに応じて信号を出力する
ように感度を設定した第１の検出回路と、上記画
像信号中の上記被検査物体の欠陥に対応する中間
レベルに対応する立ち上り及び立ち下がりでは信
号を出力せずもその他の立ち上り及び立ち下がり
に対しては信号を出力するように感度を設定した
第２の検出回路とを設けると共に、上記第１及び
第２の検出回路よりの出力信号が共に供給される
合成回路を設け、該合成回路は上記第１及び第２
の検出回路が同時に信号を出力した時は信号を出
力せずも、上記第１の検出回路のみが信号を出力
し上記第２の検出回路が信号を出力しない時は、
前者の信号と同時に欠陥検出信号を出力するよう
になした点に存するものである。
は、被検査物体を白黒テレビカメラで撮像し、該
白黒テレビカメラよりの被検査物体に対する画像
信号を処理して上記被検査物体の欠陥等を検査す
る欠陥検査装置に於て、上記画像信号の全べての
立ち上り及び立ち下がりに応じて信号を出力する
ように感度を設定した第１の検出回路と、上記画
像信号中の上記被検査物体の欠陥に対応する中間
レベルに対応する立ち上り及び立ち下がりでは信
号を出力せずもその他の立ち上り及び立ち下がり
に対しては信号を出力するように感度を設定した
第２の検出回路とを設けると共に、上記第１及び
第２の検出回路よりの出力信号が共に供給される
合成回路を設け、該合成回路は上記第１及び第２
の検出回路が同時に信号を出力した時は信号を出
力せずも、上記第１の検出回路のみが信号を出力
し上記第２の検出回路が信号を出力しない時は、
前者の信号と同時に欠陥検出信号を出力するよう
になした点に存するものである。
以下、上述した特徴を有する本発明による欠陥
検査装置の一例を、添付図面を参照して説明す
る。
検査装置の一例を、添付図面を参照して説明す
る。
第１図は、例えば壜等のキヤツプの如き被検査
物体の上面図、第２図はそれを白黒テレビカメラ
で撮像し、モニターテレビのスクリーン上に映出
した場合の上面図である。第１及び第２図に於
て、１はキヤツプの如き被検査物体で、２はキヤ
ツプ１の遊端面の欠けた部分、即ち欠陥部、３は
キヤツプ１の底部に附着したゴミ等の異物或は欠
陥部を夫々示す。尚、第２図に於て、４はモニタ
ーテレビのスクリーンである。
物体の上面図、第２図はそれを白黒テレビカメラ
で撮像し、モニターテレビのスクリーン上に映出
した場合の上面図である。第１及び第２図に於
て、１はキヤツプの如き被検査物体で、２はキヤ
ツプ１の遊端面の欠けた部分、即ち欠陥部、３は
キヤツプ１の底部に附着したゴミ等の異物或は欠
陥部を夫々示す。尚、第２図に於て、４はモニタ
ーテレビのスクリーンである。
第３図は、本発明による欠陥検査装置の一例の
系統的ブロツク線図で、同図に於て、５は白黒テ
レビカメラで、これで、第１図に示す被検査物体
１を撮像する。テレビカメラ５よりの画像信号ｖ
を、アナログ処理回路６に供給し、画像信号ｖを
必要な程度に増巾すると共に、その不要な成分を
除去する。アナログ処理回路６の出力v′を、第１
及び第２検出回路７及び８に供給する。これ等第
１及び第２検出回路７及び８は、後述するも、
夫々、検出感度が異なつていて、供給される画像
信号v′のレベル変化に応じて、出力信号ｄ１及び
ｄ２を発生する。第１及び第２検出回路７及び８
の出力信号ｄ１及びｄ２を、合成回路９に供給す
る。この合成回路９は、一種の排他的論理回路
で、第１及び第２検出回路７及び８の出力信号ｄ
１及びｄ２が同時に供給された時は出力を出さ
ず、出力信号ｄ１及びｄ２のいずれか一方のみが
供給された時だけ出力信号ｃ１を出す。合成回路
９の出力信号ｃ１を、表示部又は警報部１０に供
給し、出力ｃ１が供給された時に、例えばランプ
又はブザー等を駆動し、表示等の警報を発するよ
うになす。
系統的ブロツク線図で、同図に於て、５は白黒テ
レビカメラで、これで、第１図に示す被検査物体
１を撮像する。テレビカメラ５よりの画像信号ｖ
を、アナログ処理回路６に供給し、画像信号ｖを
必要な程度に増巾すると共に、その不要な成分を
除去する。アナログ処理回路６の出力v′を、第１
及び第２検出回路７及び８に供給する。これ等第
１及び第２検出回路７及び８は、後述するも、
夫々、検出感度が異なつていて、供給される画像
信号v′のレベル変化に応じて、出力信号ｄ１及び
ｄ２を発生する。第１及び第２検出回路７及び８
の出力信号ｄ１及びｄ２を、合成回路９に供給す
る。この合成回路９は、一種の排他的論理回路
で、第１及び第２検出回路７及び８の出力信号ｄ
１及びｄ２が同時に供給された時は出力を出さ
ず、出力信号ｄ１及びｄ２のいずれか一方のみが
供給された時だけ出力信号ｃ１を出す。合成回路
９の出力信号ｃ１を、表示部又は警報部１０に供
給し、出力ｃ１が供給された時に、例えばランプ
又はブザー等を駆動し、表示等の警報を発するよ
うになす。
次に、第４図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ、第５図Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄ及び第６図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す波形図を
参照して、第３図に示す本発明の一例の動作を説
明しよう。
Ｃ，Ｄ及び第６図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す波形図を
参照して、第３図に示す本発明の一例の動作を説
明しよう。
第４図Ａに示すテレビカメラ５よりの画像信号
ｖは、第２図の一水平ラインａに相当するもの
で、この水平ラインａに於ては、被検査物体、こ
の例ではキヤツプ１に欠陥は全くないので（以
下、キヤツプ１の遊端面１ａは黒で、その背景１
ｃ及びその底部１ｄは白と仮定する）、画像信号
ｖは、期間（T1）、（T3）及び（T5）では白レベ
ル（Ｗ）で、他の期間（T2）及び（T4）では黒
レベル（Ｏ）である。この場合、画像信号ｖは、
白及び黒レベル（Ｗ）及び（Ｏ）以外のレベルの
部分は無いと見做す。かかる場合、第１及び第２
検出回路７及び８は、画像信号ｖが白レベル
（Ｗ）から黒レベル（Ｏ）に立ち下がる時点及び
その逆の時点に於て、第４図Ｂ及びＣに示す如
く、共に出力（パルス）信号ｄ１及びｄ２を発生
する。この両出力パルス信号ｄ１及びｄ２が供給
される合成回路９は、上述の如く、一種の排他的
論理回路であるので、この様に第１及び第２検出
回路７及び８が同時に信号ｄ１及びｄ２を出す場
合は、出力を出さない。従つて、表示部又は警報
部１０は、駆動されない。換言すれば、被検査物
体１の検査されている部分が完全である場合は、
合成回路９は出力を出さず、従つて表示部又は警
報部１０には、何等の表示等がなされない。
ｖは、第２図の一水平ラインａに相当するもの
で、この水平ラインａに於ては、被検査物体、こ
の例ではキヤツプ１に欠陥は全くないので（以
下、キヤツプ１の遊端面１ａは黒で、その背景１
ｃ及びその底部１ｄは白と仮定する）、画像信号
ｖは、期間（T1）、（T3）及び（T5）では白レベ
ル（Ｗ）で、他の期間（T2）及び（T4）では黒
レベル（Ｏ）である。この場合、画像信号ｖは、
白及び黒レベル（Ｗ）及び（Ｏ）以外のレベルの
部分は無いと見做す。かかる場合、第１及び第２
検出回路７及び８は、画像信号ｖが白レベル
（Ｗ）から黒レベル（Ｏ）に立ち下がる時点及び
その逆の時点に於て、第４図Ｂ及びＣに示す如
く、共に出力（パルス）信号ｄ１及びｄ２を発生
する。この両出力パルス信号ｄ１及びｄ２が供給
される合成回路９は、上述の如く、一種の排他的
論理回路であるので、この様に第１及び第２検出
回路７及び８が同時に信号ｄ１及びｄ２を出す場
合は、出力を出さない。従つて、表示部又は警報
部１０は、駆動されない。換言すれば、被検査物
体１の検査されている部分が完全である場合は、
合成回路９は出力を出さず、従つて表示部又は警
報部１０には、何等の表示等がなされない。
ところが、今、第２図の一水平ラインｂの部分
に就いて見ると、期間（T11）、（T21）、（T31）
及び（T51）に就いては、ラインａの期間
（T1）、（T2）、（T3）及び（T5）の場合と同様に
欠陥部は無いが、期間（T41）の部分に欠け２が
欠陥部として、期間（T41）の一部の期間
（T42）に亘つて存在するので、この場合の画像
信号ｖは、第５図Ａに示す如く、（T42）の期間
で白レベル（Ｗ）より低いが、黒レベル（Ｏ）よ
り高いレベル部分（ハーフレベル部分）を含んだ
波形となる。かかる画像信号ｖに対応する画像信
号v′を受ける第１及び第２検出回路７及び８の感
度は、夫々次の如く設定されている。即ち、第１
検出回路７は、画像信号ｖの全ての立ち下がり及
び立ち上り時点で、パルス信号ｄ１を出力するも
（第５図Ｂ参照）、第２検出回路８は、画像信号ｖ
のハーフレベル部に対応する立ち下がり部の時点
では、パルス信号ｄ２を出さない（第５図Ｃ参
照）。従つて、この場合、合成回路９は、第５図
Ｄに示す如く、第２検出回路８がパルス信号を出
さないで、第１検出回路７のみがパルス信号ｄ１
を出力する時点で、検出パルス信号ｃ１を出力す
る。即ち、合成回路９がパルス信号ｃ１を出力す
るのは、検査されるキヤツプ１の遊端面１ａに欠
け２等の欠陥部がある場合である。この場合、表
示部又は警報部１０が、このパルス信号ｃ１で駆
動され、被検査物体１に欠陥部が存在することを
知らせる。
に就いて見ると、期間（T11）、（T21）、（T31）
及び（T51）に就いては、ラインａの期間
（T1）、（T2）、（T3）及び（T5）の場合と同様に
欠陥部は無いが、期間（T41）の部分に欠け２が
欠陥部として、期間（T41）の一部の期間
（T42）に亘つて存在するので、この場合の画像
信号ｖは、第５図Ａに示す如く、（T42）の期間
で白レベル（Ｗ）より低いが、黒レベル（Ｏ）よ
り高いレベル部分（ハーフレベル部分）を含んだ
波形となる。かかる画像信号ｖに対応する画像信
号v′を受ける第１及び第２検出回路７及び８の感
度は、夫々次の如く設定されている。即ち、第１
検出回路７は、画像信号ｖの全ての立ち下がり及
び立ち上り時点で、パルス信号ｄ１を出力するも
（第５図Ｂ参照）、第２検出回路８は、画像信号ｖ
のハーフレベル部に対応する立ち下がり部の時点
では、パルス信号ｄ２を出さない（第５図Ｃ参
照）。従つて、この場合、合成回路９は、第５図
Ｄに示す如く、第２検出回路８がパルス信号を出
さないで、第１検出回路７のみがパルス信号ｄ１
を出力する時点で、検出パルス信号ｃ１を出力す
る。即ち、合成回路９がパルス信号ｃ１を出力す
るのは、検査されるキヤツプ１の遊端面１ａに欠
け２等の欠陥部がある場合である。この場合、表
示部又は警報部１０が、このパルス信号ｃ１で駆
動され、被検査物体１に欠陥部が存在することを
知らせる。
次に、第２図の一水平ラインｃの部分に就いて
は、期間（T12）、（T22）、（T43）及び（T52）
に就いては、ラインａの期間（T1）、（T2）、
（T4）及び（T5）と同様に欠陥部は無いが、期
間（T32）の期間（T33）に相当する部分にゴミ
３等の欠陥部が存在するので、このラインｃに於
ける画像信号ｖは、第６図Ａに示す如く、期間
（T33）に相当する部分のレベルが、白レベル
（Ｗ）より低いが黒レベル（Ｏ）より高いレベル
部を含むものとなる。従つて、第１検出回路７
は、画像信号の全レベル変化に対応して、第６図
Ｂに示す如く、パルス信号ｄ１を出力するが、第
２検出回路８は、第６図Ｃに示す如く、画像信号
ｖのハーフレベル変化部に対しては、パルス信号
を出力せず、白及び黒間のレベル変化部に対して
のみ、パルス信号ｄ２を出力する。従つて、合成
回路９は、第６図Ｄに示す如く、第１検出回路７
のみがパルス信号を出力する時点で、検出パルス
信号ｃ１を出力する。即ち、ゴミ３等の欠陥部が
存在する期間に、検出パルス信号ｃ１が出力され
るので、このパルス信号ｃ１により、表示部又は
警報部１０が駆動され、欠陥の存在がわかる。
は、期間（T12）、（T22）、（T43）及び（T52）
に就いては、ラインａの期間（T1）、（T2）、
（T4）及び（T5）と同様に欠陥部は無いが、期
間（T32）の期間（T33）に相当する部分にゴミ
３等の欠陥部が存在するので、このラインｃに於
ける画像信号ｖは、第６図Ａに示す如く、期間
（T33）に相当する部分のレベルが、白レベル
（Ｗ）より低いが黒レベル（Ｏ）より高いレベル
部を含むものとなる。従つて、第１検出回路７
は、画像信号の全レベル変化に対応して、第６図
Ｂに示す如く、パルス信号ｄ１を出力するが、第
２検出回路８は、第６図Ｃに示す如く、画像信号
ｖのハーフレベル変化部に対しては、パルス信号
を出力せず、白及び黒間のレベル変化部に対して
のみ、パルス信号ｄ２を出力する。従つて、合成
回路９は、第６図Ｄに示す如く、第１検出回路７
のみがパルス信号を出力する時点で、検出パルス
信号ｃ１を出力する。即ち、ゴミ３等の欠陥部が
存在する期間に、検出パルス信号ｃ１が出力され
るので、このパルス信号ｃ１により、表示部又は
警報部１０が駆動され、欠陥の存在がわかる。
上述の如く、本発明によれば、テレビカメラの
出力に基づいて、被検査物体の欠陥を自動的に検
出し得るものである。
出力に基づいて、被検査物体の欠陥を自動的に検
出し得るものである。
尚、第３図に於て、テレビカメラ５の出力画像
信号ｖを、モニターテレビ１１に供給して、被検
査物１を、同時に、目で観察し得るようにしても
よい。又、合成回路９の出力ｃ１を、適当なる増
巾回路１２等を介して、被検査物体が欠陥品であ
る場合、これを振り分ける装置１３等に供給し、
この装置１３を駆動するようになしてもよい。
信号ｖを、モニターテレビ１１に供給して、被検
査物１を、同時に、目で観察し得るようにしても
よい。又、合成回路９の出力ｃ１を、適当なる増
巾回路１２等を介して、被検査物体が欠陥品であ
る場合、これを振り分ける装置１３等に供給し、
この装置１３を駆動するようになしてもよい。
尚、背影１ｃと、被検査物体１の遊端面１ａ
と、その底部１ｄとのレベルは、上述した白及び
黒レベルに限定する必要はなく、他の適当なレベ
ルにしても良い。この際、第１及び第２検出回路
７及び８の感度を、それ等のレベルに合せて選択
し、両者が、上述した如き関係の出力を発生する
ようになせば、同様の効果が得られるものであ
る。
と、その底部１ｄとのレベルは、上述した白及び
黒レベルに限定する必要はなく、他の適当なレベ
ルにしても良い。この際、第１及び第２検出回路
７及び８の感度を、それ等のレベルに合せて選択
し、両者が、上述した如き関係の出力を発生する
ようになせば、同様の効果が得られるものであ
る。
第１図は被検査物体の上面図、第２図は被検査
物体の像がモニターテレビのスクリーン上に再生
されている状態の上面図、第３図は本発明による
欠陥検査装置の一例の系統を示すブロツク線図、
第４，５及び６図のＡ，Ｂ，Ｃ及びＤは夫々第３
図に示す例の動作の説明に供する波形図である。 図に於て、１は被検査物体、２及び３は欠陥
部、４はスクリーン、５は白黒テレビカメラ、６
はアナログ処理回路、７及び８は第１及び第２検
出回路、９は合成回路、１０は表示部又は警報
部、１１はモニターテレビ、１２は増巾回路、１
３は振り分け装置である。
物体の像がモニターテレビのスクリーン上に再生
されている状態の上面図、第３図は本発明による
欠陥検査装置の一例の系統を示すブロツク線図、
第４，５及び６図のＡ，Ｂ，Ｃ及びＤは夫々第３
図に示す例の動作の説明に供する波形図である。 図に於て、１は被検査物体、２及び３は欠陥
部、４はスクリーン、５は白黒テレビカメラ、６
はアナログ処理回路、７及び８は第１及び第２検
出回路、９は合成回路、１０は表示部又は警報
部、１１はモニターテレビ、１２は増巾回路、１
３は振り分け装置である。
Claims (1)
- １ 被検査物体を白黒テレビカメラで直接撮像
し、該白黒テレビカメラよりの被検査物体に対す
る画像信号を受け、その全べての立ち上り及び立
ち下がりのレベル変化に応じて信号を出力するよ
うに感度を設定した第１の検出回路と、上記画像
信号中を受けその上記被検査物体の欠陥に対応す
る中間レベルに対応する立ち上り及び立ち下がり
のレベル変化では信号を出力せずもその他の立ち
上り及び立ち下がりのレベル変化に対しては信号
を出力するように感度を設定した第２の検出回路
とを設けると共に、上記第１及び第２の検出回路
よりの出力信号が共に供給される合成回路を設
け、該合成回路は上記第１及び第２の検出回路が
同時に信号を出力した時は信号を出力せずも、上
記第１の検出回路のみが信号を出力し上記第２の
検出回路が信号を出力しない時は、前者の信号と
同時に欠陥検出信号を出力するようになしたこと
を特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1886879A JPS55110905A (en) | 1979-02-20 | 1979-02-20 | Defect detecting device |
| US06/121,516 US4302773A (en) | 1979-02-20 | 1980-02-14 | Defect inspection system |
| CA345,970A CA1126855A (en) | 1979-02-20 | 1980-02-19 | Defect inspection system |
| FR8003716A FR2449884A1 (fr) | 1979-02-20 | 1980-02-20 | Systeme de detection de defauts |
| GB8005710A GB2046899B (en) | 1979-02-20 | 1980-02-20 | Defect inspection system |
| DE19803006341 DE3006341A1 (de) | 1979-02-20 | 1980-02-20 | Defektpruefsystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1886879A JPS55110905A (en) | 1979-02-20 | 1979-02-20 | Defect detecting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55110905A JPS55110905A (en) | 1980-08-27 |
| JPH0157283B2 true JPH0157283B2 (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=11983513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1886879A Granted JPS55110905A (en) | 1979-02-20 | 1979-02-20 | Defect detecting device |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4302773A (ja) |
| JP (1) | JPS55110905A (ja) |
| CA (1) | CA1126855A (ja) |
| DE (1) | DE3006341A1 (ja) |
| FR (1) | FR2449884A1 (ja) |
| GB (1) | GB2046899B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU553069B2 (en) * | 1981-07-17 | 1986-07-03 | W.R. Grace & Co.-Conn. | Radial scan, pulsed light article inspection ccv system 0 |
| US4598420A (en) * | 1983-12-08 | 1986-07-01 | Mts Systems Corporation | Optical grid analyzer system for automatically determining strain in deformed sheet metal |
| GB2175396B (en) * | 1985-05-22 | 1989-06-28 | Filler Protection Developments | Apparatus for examining objects |
| JPS6219738A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Tokan Kogyo Co Ltd | 使い捨てコツプのカ−ル部不良検査装置 |
| DE3734294A1 (de) * | 1987-10-09 | 1989-04-27 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische oberflaechen-inspektionsvorrichtung |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3584963A (en) * | 1968-12-27 | 1971-06-15 | Rca Corp | Optical flaw detector |
| US3749496A (en) * | 1971-07-16 | 1973-07-31 | Bendix Corp | Automatic quality control surface inspection system for determining the character of a surface by measuring the shape and intensity of a modulated beam |
| US3700909A (en) * | 1972-03-09 | 1972-10-24 | Columbia Research Corp | Method for detecting pinhole defects in foil material |
| US4025201A (en) * | 1975-04-21 | 1977-05-24 | Ball Brothers Service Corporation | Method and apparatus for video inspection of articles of manufacture by decussate paths of light |
| DE2617111C3 (de) * | 1976-04-17 | 1986-02-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zum Feststellen einer Bewegung im Überwachungsbereich einer Fernsehkamera |
| JPS5571937A (en) * | 1978-11-24 | 1980-05-30 | Kanebo Ltd | Method of and device for inspecting surface |
-
1979
- 1979-02-20 JP JP1886879A patent/JPS55110905A/ja active Granted
-
1980
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