JPH0354804A - レーザートリミング方法 - Google Patents

レーザートリミング方法

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Publication number
JPH0354804A
JPH0354804A JP1190986A JP19098689A JPH0354804A JP H0354804 A JPH0354804 A JP H0354804A JP 1190986 A JP1190986 A JP 1190986A JP 19098689 A JP19098689 A JP 19098689A JP H0354804 A JPH0354804 A JP H0354804A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
laser
resistance value
trimming method
laser trimming
Prior art date
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Pending
Application number
JP1190986A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Nakamura
仁 中村
Shinji Kanayama
金山 真司
Takahiro Endo
隆弘 遠藤
Nobuhiko Muraoka
信彦 村岡
Shozo Minamitani
南谷 昌三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は,電子回路の抵抗値を設定値通りに調整する、
抵抗トリミング方法に関するものである。
従来の技術 近年、レーザートリミング方法は、電子回路基板の高密
度実装化,高機能化に伴うHICの普及に不可欠な技術
として高機能化が要求されている。
以下、図面を参照しながら、上述した従来のレーザート
リミング方法について説明する。
第4図は、従来のレーザートリミング方法でカットした
抵抗体の略図を示すものである。第4図において、13
.14は導体電極で抵抗端子として働く。15は抵抗体
で16はレーザー加工した痕跡、17はレーザー光線の
照射スポットである。
以上のように構威されたレーザートリミング方法につい
て、以下その原理を説明する。
抵抗体15の抵抗値は、目標としている値に比べ低く抵
抗体の外側よりレーザー光線を照射し、スポット17を
矢印方向へ走査させて行く。その時レーザーの痕跡16
によって抵抗体の断面積が少なくなるので抵抗値は上昇
する。やがて、目標としている抵抗値と現在の抵抗値が
一致した時、この動作を停止させる。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のようなトリミング方法では、抵抗体
を焼き切り電流の流れる領域を狭くするので、抵抗値を
高くすることは可能であるが、低くすることが出来ない
という問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、抵抗値を低くすることが可
能なレーザートリミング方法を提供するものである。
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明のレーザートリミン
グ方法は、被トリミング物すなわち抵抗体の長手方向に
向ってレーザー光線を走査する工程を備えたものである
作   用 本発明は、上記した構戒によって被トリミング物すなわ
ち、抵抗体の一部を長手方向に部分焼成できるので部分
的に低い抵抗値を呈する部分を形成することが出来るの
で抵抗値を低い方向にトリミングすることが可能となる
実施例 以下本発明の実施例のレーザートリミング方法について
、図面を参照しながら説明する。
第1図は本発明の一実施例におけるレーザートリミング
方法を実現するためのレーザートリミング装置の主要構
戒図を示すものである。第l図において、1は被トリミ
ング物すなわち抵抗体、2は抵抗体を形戒するための基
板、3は加工用YAGレーザー発振器、4はレーザー光
線を走査させるためのガルバノメータ光学系、5はレー
ザー発振器及び光学系を制御するためのレーザーコント
ローラ、6は抵抗体の抵抗値を計測するための抵抗計測
器、7は装置全体を制御するためのメインコントローラ
ーである。
以上のように構成されたレーザートリミング装置につい
て、以下第1図及び第2図を用いてその動作を説明する
まず第2図は抵抗体のトリミングの様子を示すものであ
って8は抵抗体、9,10は導体パターン、1lはレー
ザー光線の照射スポット、■2はレーザー光線の走査痕
跡である。
さらに第3図は抵抗体材料の特性を示したちので抵抗体
を形成する王程のーっである焼戒工程において焼成温度
と抵抗値の関係を示したものである。
以上のように本実施例によれば、第3図T1温度で焼威
した抵抗の抵抗値がRであるとき、第2図12のように
、抵抗体の一部分にレーザーを照射し部分的に加熱する
ことによって、焼成温度T2で焼成したのと同じ効果を
示し抵抗値は、R2となりRより低い抵抗値を呈し、抵
抗値を低下させる抵抗1・リミングを行うことが出来る
発明の効果 以上のように本発明は、抵抗体の長手方向にレーザー光
線を走査させることによって、部分的に焼成を進め抵抗
値を低くトリミングすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるレーザートJミング
装置の主要構成図、第2図は本発明の一実施例における
レーザートリミング方法によりトリミングを示した抵抗
体の説明図、第3図は抵抗体の焼成温度と抵抗値の関係
図、第4図は従来のレーザートリミング方法によりトリ
ミングを示した抵抗体の説明図である。 1・・・・・・抵抗体、2・・・・・・回路基板、3・
・・・・・レーザー発振器、4・・・・・・スキャンニ
ング用光学系、l2・・・・・・レーザー痕跡。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電子回路に形成された被トリミング物の抵抗値を
    所定の抵抗値までトリミングする方法であって、レーザ
    ー光線により抵抗体の一部を焼成することを特徴とする
    レーザートリミング方法。
  2. (2)レーザー光線を抵抗体の長手方向に走査させた特
    許請求の範囲第1項記載のレーザートリミング方法。
JP1190986A 1989-07-24 1989-07-24 レーザートリミング方法 Pending JPH0354804A (ja)

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