JPH0354827A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0354827A JPH0354827A JP18893889A JP18893889A JPH0354827A JP H0354827 A JPH0354827 A JP H0354827A JP 18893889 A JP18893889 A JP 18893889A JP 18893889 A JP18893889 A JP 18893889A JP H0354827 A JPH0354827 A JP H0354827A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- cleaned
- ultrasonic waves
- cleaning
- swing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は洗浄装置に関し、特にテーパ状に形成された保
持具に保持された被洗浄物の全面に超音波振動を効率的
に印加することのできる洗浄装置に関する。
持具に保持された被洗浄物の全面に超音波振動を効率的
に印加することのできる洗浄装置に関する。
［背景技術］
従来、この種の洗浄装置としては第４図に示すものがあ
る４． 図において、１は洗浄液が満たされている洗浄槽であり
、この洗浄槽１内には断面がテーパ状に形成されている
保持具３が配置されている。この保持具３は上方からウ
エハ等の被洗浄物２を挿入して保持具３に形成されたテ
ーパ面で保持できるように構成されている。この保持具
３の下端部の保持具脚４は上下揺動機横１４の下部に固
定されている。この上下揺動機構１４は図示せぬ駆動手
段により矢印で示す上下方向に移動可能に構成されてい
る。また、洗浄槽１の下部には超音波を発生する振動子
１３が配置されている。
る４． 図において、１は洗浄液が満たされている洗浄槽であり
、この洗浄槽１内には断面がテーパ状に形成されている
保持具３が配置されている。この保持具３は上方からウ
エハ等の被洗浄物２を挿入して保持具３に形成されたテ
ーパ面で保持できるように構成されている。この保持具
３の下端部の保持具脚４は上下揺動機横１４の下部に固
定されている。この上下揺動機構１４は図示せぬ駆動手
段により矢印で示す上下方向に移動可能に構成されてい
る。また、洗浄槽１の下部には超音波を発生する振動子
１３が配置されている。
上記構成を有する従来の装置は、被洗浄物２が保持具３
の上方から垂直に挿入されて保持具３のテーバ面で保持
され、上下揺動機構１４が上下に揺動しながら振動子８
で発生される超音波振動による衝撃波によって被洗浄物
に付着した汚れを破壊洗浄するが、この保持具３の保持
具脚４により被洗浄物２の斜線部で示される部分に陰２
ａ及び２ｂが形成される。これは超音波の直進性による
ためである。
の上方から垂直に挿入されて保持具３のテーバ面で保持
され、上下揺動機構１４が上下に揺動しながら振動子８
で発生される超音波振動による衝撃波によって被洗浄物
に付着した汚れを破壊洗浄するが、この保持具３の保持
具脚４により被洗浄物２の斜線部で示される部分に陰２
ａ及び２ｂが形成される。これは超音波の直進性による
ためである。
この超音波の直進性は「ハイメガソニック」と呼ばれる
加速度が大きく高周波の超音波を用いた洗浄においては
波長が短くなるため一層強くなる。この「ハイメガソニ
ック」洗浄は、除去すべき汚れの粒径が０．１〜０．２
μｍの超微粒子等のサブミクロンの粒子除去を目的とし
ている。
加速度が大きく高周波の超音波を用いた洗浄においては
波長が短くなるため一層強くなる。この「ハイメガソニ
ック」洗浄は、除去すべき汚れの粒径が０．１〜０．２
μｍの超微粒子等のサブミクロンの粒子除去を目的とし
ている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の洗浄装置では上記のような加速度
の大きい高周波の超音波を用いた「ハイメガソニック」
洗浄では波長が短いため直進性が強く障害物による減衰
が激しくなる。したがって、このような「ハイメガソニ
ック」洗浄では保持具３により被洗浄物２に陰２ａ及び
２ｂが形成された場合には充分な洗浄ができないという
欠点がある。
の大きい高周波の超音波を用いた「ハイメガソニック」
洗浄では波長が短いため直進性が強く障害物による減衰
が激しくなる。したがって、このような「ハイメガソニ
ック」洗浄では保持具３により被洗浄物２に陰２ａ及び
２ｂが形成された場合には充分な洗浄ができないという
欠点がある。
そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、加速度が大きく高い周波数による洗浄であっても
被洗浄物の全面に亙って効率よく洗浄することができる
洗浄装置を提供することを目的とするものである。
ので、加速度が大きく高い周波数による洗浄であっても
被洗浄物の全面に亙って効率よく洗浄することができる
洗浄装置を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
本発明の洗浄装置は、洗浄槽と、該洗浄槽に設けられ加
速度が大きく高い周波数の超音波を発生する振動子とを
有する洗浄装置であって、前記洗浄槽内に設けられ被洗
浄物を保持するテーパ面を有する保持具と、該保持具が
固定されるスイング台と、該スイング台を揺動する揺動
手段とを備えるようにしたものである。
速度が大きく高い周波数の超音波を発生する振動子とを
有する洗浄装置であって、前記洗浄槽内に設けられ被洗
浄物を保持するテーパ面を有する保持具と、該保持具が
固定されるスイング台と、該スイング台を揺動する揺動
手段とを備えるようにしたものである。
［実施例］
次に本発明の実施例について図面を用いて詳細に説明す
る。
る。
第１図において、ｌは洗浄液が満たされている洗浄槽で
あり、この洗浄槽１内には断面がテーバ状に形成されて
いる保持具３が配置されている。
あり、この洗浄槽１内には断面がテーバ状に形成されて
いる保持具３が配置されている。
この保持具３には上方からウエハ等の被洗浄物２を挿入
して保持具３のテーパ面で保持できるように構成されて
いる。この保持具３の下端部の保持具脚４はスイング台
５に固定されている。このスイング台５の中心７は洗浄
槽１内に固定され、このスイング中心７を支点として回
動可能に構成されている。このスイング台５のスイング
中心７にはリンク９の一端が結合され、他端は洗浄槽１
に固定されたスイング駆動部６のロッド１０と結合され
ている。このスイング駆動部６の駆動力が付与されてロ
ッド１０が上下に伸縮することによって、スイング台５
はスイング中心７を支点として回動される。この回動に
より保持具３は時計方向（第２図の状態）及び反時計方
向に回動して揺動される。また、洗浄槽ｌの下部には超
音波を発生する振動子８が配置されている。この振動子
８の中心とスイング中心７とが略一致するように配置さ
れている。
して保持具３のテーパ面で保持できるように構成されて
いる。この保持具３の下端部の保持具脚４はスイング台
５に固定されている。このスイング台５の中心７は洗浄
槽１内に固定され、このスイング中心７を支点として回
動可能に構成されている。このスイング台５のスイング
中心７にはリンク９の一端が結合され、他端は洗浄槽１
に固定されたスイング駆動部６のロッド１０と結合され
ている。このスイング駆動部６の駆動力が付与されてロ
ッド１０が上下に伸縮することによって、スイング台５
はスイング中心７を支点として回動される。この回動に
より保持具３は時計方向（第２図の状態）及び反時計方
向に回動して揺動される。また、洗浄槽ｌの下部には超
音波を発生する振動子８が配置されている。この振動子
８の中心とスイング中心７とが略一致するように配置さ
れている。
上記構成を有する本実施例の作用について図面を用いて
以下に説明する。
以下に説明する。
まず、第１図に示すように被洗浄物２は保持具３の上方
から垂直に挿入されて保持具３のテーパ面に保持される
。この保持具３の保持具脚４により被洗浄物２の斜綿部
で示す部分に陰２ａ及び２ｂが形成される。この状態で
振動子８により加速度が大きく高い周波数の超音波振動
が印加されると、超音波の直進性により被洗浄物２の斜
線部２ａ及び２ｂ以外の部分のみに照射されることにな
る。したがって、第２図及び第３図に示すようにスイン
グ駆動部６を駆動してロッド１０を上下に伸縮させスイ
ング台５を時計方向（第３図の１２は保持具３が右にス
イングした状態を示す）及び反時計方向（第３図の１１
は保持具３が左にスイングした状態）に揺動させること
によって、振動子８から照射された超音波振動による衝
撃波が第１図に示すような陰２ａ及び２ｂにも照射され
て被洗浄物２に付着している汚れを破壊して洗浄する。
から垂直に挿入されて保持具３のテーパ面に保持される
。この保持具３の保持具脚４により被洗浄物２の斜綿部
で示す部分に陰２ａ及び２ｂが形成される。この状態で
振動子８により加速度が大きく高い周波数の超音波振動
が印加されると、超音波の直進性により被洗浄物２の斜
線部２ａ及び２ｂ以外の部分のみに照射されることにな
る。したがって、第２図及び第３図に示すようにスイン
グ駆動部６を駆動してロッド１０を上下に伸縮させスイ
ング台５を時計方向（第３図の１２は保持具３が右にス
イングした状態を示す）及び反時計方向（第３図の１１
は保持具３が左にスイングした状態）に揺動させること
によって、振動子８から照射された超音波振動による衝
撃波が第１図に示すような陰２ａ及び２ｂにも照射され
て被洗浄物２に付着している汚れを破壊して洗浄する。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、加速度の大きい高
周波の超音波を用いた「ハイメガソニック」洗浄であっ
ても、保持具による陰の影響を被洗浄物に与えることな
く効率よく洗浄することができる。
周波の超音波を用いた「ハイメガソニック」洗浄であっ
ても、保持具による陰の影響を被洗浄物に与えることな
く効率よく洗浄することができる。
第ｌ図は本発明の洗浄装置の断面図、第２図は本発明の
洗浄装置の右にスイングした状態を示す断面図、第３図
は本発明の揺動状態を示す図、第４図は従来の洗浄装置
の断面図である。 １・・・洗浄槽、２・・・被洗浄物、３・・・保持具、
４・・・保持具脚、５・・・スイング台、６・・・スイ
ング駆動部、７・・・スイング中心、８・・・振動子、
９・・・リンク、１０・・・ロッド、１１・・・左にス
イングした時の保持具、１２・・・右にスイングした時
の保持具、１３・・・振動子、１４・・・上下揺動機構
。
洗浄装置の右にスイングした状態を示す断面図、第３図
は本発明の揺動状態を示す図、第４図は従来の洗浄装置
の断面図である。 １・・・洗浄槽、２・・・被洗浄物、３・・・保持具、
４・・・保持具脚、５・・・スイング台、６・・・スイ
ング駆動部、７・・・スイング中心、８・・・振動子、
９・・・リンク、１０・・・ロッド、１１・・・左にス
イングした時の保持具、１２・・・右にスイングした時
の保持具、１３・・・振動子、１４・・・上下揺動機構
。
Claims (1)
- 洗浄槽と、該洗浄槽に設けられ加速度が大きく高い周
波数の超音波を発生する振動子とを有する洗浄装置であ
って、前記洗浄槽内に設けられ被洗浄物を保持するテー
パ面を有する保持具と、該保持具が固定されるスイング
台と、該スイング台を揺動する揺動手段とを備えてなる
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188938A JP2622883B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188938A JP2622883B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354827A true JPH0354827A (ja) | 1991-03-08 |
| JP2622883B2 JP2622883B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=16232530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188938A Expired - Fee Related JP2622883B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2622883B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062685U (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-14 | 株式会社カイジョー | 半導体基板自動処理装置 |
| JP2012151320A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Sumco Corp | ウェーハ洗浄装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418229A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | Super-ultrasonic cleaning device |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1188938A patent/JP2622883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418229A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | Super-ultrasonic cleaning device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062685U (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-14 | 株式会社カイジョー | 半導体基板自動処理装置 |
| JP2012151320A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Sumco Corp | ウェーハ洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2622883B2 (ja) | 1997-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6085764A (en) | Cleaning apparatus and method | |
| JP2002280343A (ja) | 洗浄処理装置、切削加工装置 | |
| JP2617535B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2622883B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH0234923A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2023550340A (ja) | 超音波洗浄のためのカルーセルとその使用方法 | |
| JP2024119263A (ja) | 洗浄装置 | |
| KR101921106B1 (ko) | 웨이퍼 세정장치 및 바이브레이션 유닛 | |
| JP3394508B2 (ja) | 筒形フィルタ用超音波洗浄装置 | |
| JPH10138116A (ja) | 板材のバリ取り方法およびその装置 | |
| JPS59142885A (ja) | 超音波処理方法およびその装置 | |
| KR100303885B1 (ko) | 초음파 세정기 | |
| JP2000150439A5 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH1064868A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
| CN119213540A (zh) | 用于清洗衬底的设备和方法 | |
| JPH07328572A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
| JP2003033735A (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 | |
| JPH06112184A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH07136605A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH1140524A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3367336B2 (ja) | 洗浄物の乾燥装置及び方法 | |
| CN102725825A (zh) | 超声精密清洁装置 | |
| JPH06333906A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH1190366A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH04247276A (ja) | 超音波洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |