JPH0355557B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、板状のめつき物が有する複数の微細
部分にめつきを施すマスク装置に関する。

「従来の技術」 従来、リードフレームの如き板状のめつき物に
めつきを施すためのマスク装置としては、第７図
に示すようにめつき対象部位６が１列に並んだリ
ードフレーム２′にめつきを施すマスク装置１と
して、リードフレーム２′のめつき対象部位６に
対応する間隔Ｌで弾性材製マスク体４をそれぞれ
独立的にマスク体支持台３に嵌合したもの（例え
ば、実開昭60−105658号公報）がある。ところが
このマスク装置１ではピン数の少ないリードフレ
ーム２′の生産性が著しく低いという問題があつ
た。

そこで、第８図に示すようにめつき対象部位６
に並列状に並べたダブルタイプリードフレーム２
が考案された。このリードフレーム２に部分めつ
きを施すマスク装置１としては第８図、第９図に
示すように、リードフレーム２が備える並列状に
並んだめつき対象部位６に対応する間隔で開口部
３ａを穿設したマスク体支持台３に、同じくめつ
き対象部位６に対応する間隔で開口部４ａを穿設
した弾性材製マスク体４を嵌合したものがある。
ところが、ワイヤボンデングの信頼性を向上させ
るためICをのせるアイランド部２ｃを他のリー
ド部よりもくぼませたデプレス構造のリードフレ
ーム２においては、めつきを施す際のシール性が
劣化する。シール性の劣化を防ぐためには押圧手
段により押圧を増さなければならない。しかし、
並列してめつき対象部位６を有するリードフレー
ム２では、アイランド部２ｃが並列して並んでい
るため、アイランド部２ｃを連結する吊り棒２ｂ
に力が集中する。さらに、押圧を増すことは吊り
棒２ｂに加わる力を一層増加させる結果となる。
吊り棒２ｂへの力の集中は弾性材製マスク装置１
における吊り棒２ｂとの対応面４ｂに段差を発生
し、マスク装置１は、使用回数の増加とともに、
対応面１ｂが疲労し、破壊され、寿命が短くなる
という問題があつた。さらに、第１０図に図示す
るように、マスク装置１における吊り棒２ｂとの
対応面１ｂが疲労した異常時には、吊り棒２ｂが
押圧によりマスク体４の中へ押し込まれてしま
い、アイランド部２ｃに変形を誘起する。さら
に、めつき処理の後にリードフレーム２を取り外
す際、押し込まれた吊り棒２ｂはマスク体４に引
つかかり取り外しが困難となる。結果として、ア
イランド部２ｃの変形がより大きくなるという問
題があつた。

「発明が解決しようとする問題点」 そこで、本発明は上記の問題を解決するために
なされたものであり、マスク体に穿設された並列
関係にある開口部の中央部位に位置するように前
記マスク体支持台に硬質な補強体を配設すること
により、めつきを施す際のリードフレームの変形
を抑え、従来のマスク装置より寿命が長く使用す
ることが可能の部分めつき用マスク装置を提供す
ることを目的とする。

「問題点を解決するための手段」 そのため本発明は、並列した複数のめつき対象
部位を有する板状のめつき物を支持し、前記めつ
き物のめつき対象部位に対応する複数の開口部を
穿設した弾性材からなるマスク体と、前記マスク
体の開口部に対応した複数の開口部を穿設し、前
記マスク体を支持するマスク体支持台と、前記マ
スク体に穿設された並列関係にある開口部の中央
部位に位置するように前記マスク体支持台に配設
された補強体とを備えることを特徴とする部分め
つき用マスク装置を提供する。

「作用」 上記構成によれば、マスク体に穿設された並列
関係にある開口部の中央部位に位置するようにマ
スク体支持台に補強体を配設することにより、並
列した複数のめつき対象部位を有する板状のめつ
き物は、マスク体によつて弾性的に、そして補強
体によつてしつかりと支持され、めつき部位に変
形をきたすことなくめつきが施され、マスク装置
から取り外される。

「実施例」 次に本発明の実施例を第１図から第４図に基づ
いて説明する。

第１図および第２図に示されるように、第１実
施例におけるマスク装置１は、マスク体支持台
３、マスク体４と補強体５よりなつている。マス
ク体支持台３はポリ塩化ビニル製である。マスク
体支持台３には、デプレス構造したダブルタイプ
リードフレーム２が有するところの、アイランド
部２ｃおよびリード２ａの端部を囲んだめつき対
象部位６に対応する間隔Ｌで、開口部３ａが穿設
されている。開口部３ａは、断面がマスク体４を
支持する支持面３ｂに向かつて縮小し、支持面３
ｂにおける断面積がめつき対象部位６の面積に等
しい形状をしている。マスク体４は、可撓弾性、
耐薬品性を有する弾性材、例えばシリコンゴム、
エチレンプロピレンゴム等より形成されている。
マスク体４は、開口部４ａを穿設する際に生じる
寸法誤差を減じるため、マスク小体４１，４２に
分割されている。マスク小体４１，４２には、リ
ードフレーム２のめつき対象部位６に対応する間
隔Ｌで開口部４ａが穿設され、開口部４ａはめつ
き対象部位６の面積に等しい断面形状をしてい
る。そして、マスク小体４１，４２は、開口部４
ａをマスク体支持台３が有する開口部３ａに対応
させて、それぞれ支持面３ｂに結合されている。
さらに、２つのマスク小体４１，４２の中央部位
にあたる支持面３ｂには補強体５が配設されてい
る。補強体５は、高さt5がマスク小体４１，４２
における厚みｔ４と同程度以下である。そして、
補強体５は、通電性がなく、マスク小体４１，４
２に使用した材料より硬質なポリ塩化ビニル製で
ある。なお、リードフレーム２には、リード２ａ
が打抜き成形されており、吊り棒２ｂによりアイ
ランド部２ｃがリードフレーム２と結合されてい
る。

部分めつきを施すためには、マスク装置１にお
ける裏面１ｃより、ノズル８が網目状の陽極９と
とともにマスク体支持台３に差し込まれる。さら
に、図示しない押圧手段により上押えスポンジ１
０を介してリードフレーム２はマスク装置１に押
圧される。

第３図に示されるように、第２実施例マスク装
置１は、マスク体支持台３と補強体５が一体とな
つている。マスク体支持台３には、並列関係をし
た開口部３ａの中央部位に、マスク小体４１，４
２における厚さｔ４と同程度以下なる高さｔ５を
した補強体５が一体成形されている。そして、補
強体５の両側には、前記第１実施例におけるマス
ク小体４１，４２と同様な形状をしたマスク小体
４１，４２が開口部４ａをマスク体支持台３が有
する開口部３ａに対応させて結合されている。

第４図に示されるように、第３実施例マスク装
置１は、補強体５が小分割されている。補強体５
は、吊り棒２ｂと対応面１ｂの近傍に配設されて
いる。マスク装置１は、マスク体支持台３と、マ
スク体４と、分割した補強体５とよりなつてい
る。マスク体支持台３は前記第１実施例と同様な
構造をしている。マスク体４は一体からなり、並
列した開口部４ａと、並列した開口部４ａの中央
部位に補強体５を埋設するための配設口７とが穿
設されている。補強体５は、マスク体４の厚さｔ
４と同程度以下なる高さを有した直方体形状であ
る。補強体５の材質はポリ塩化ビニルである。そ
して、マスク体４は、開口部４ａをマスク体支持
台３における開口部３ａに対応させて支持面３ｂ
上に結合されている。さらに、補強体５は配設口
７にそれぞれ埋設され、マスク体支持台３３に配
設されている。

「作動」 次に、上記構成においてその作動を説明する。

デプレス構造をしたダブルタイプリードフレー
ム２は、めつき対象部位６をマスク体４の開口部
４ａに対応させてマスク装置１上に搭載される。
搭載したリードフレーム２（図示しない）に押圧
手段より上押えスポンジ１０を介して圧力が加え
られると、補強体５によつて吊り棒２ｂはしつか
りと保持され、また、マスク体４によつてリード
フレーム２は弾性的に保持され、マスク体４とリ
ードフレーム２との間にはシール性が保たれる。
この時、リードフレーム２における吊り棒２ｂは
補強体５によつてしつかりと保持されているた
め、アイランド部２ｃはなんら変形をきたさな
い。そして、リードフレーム２は押圧されるとと
もに電圧を加えてカソード化され、陽極９との間
に電流が流される。噴射ノズル８より噴射された
メツキ液は、マスク体支持台３の開口部３ａ、マ
スク体４の開口部４ａを通してリードフレーム２
のメツキ対象部位６に至り、部分めつき処理が施
される。そして、吊り棒２ｂがマスク装置１に押
し込まれることなく補強体５により保持されてい
るため、めつき処理の後にリードフレーム２を取
り外す際、吊り棒２ｂはマスク装置１に引つ掛か
ることがなくなる。これによりリードフレーム２
の変形はほぼ完全に押えられる。

第５図ａに本発明第１実施例の効果を示す。第
５図ｂに示されるように、めつき前におけるアイ
ランド部２ｃのデプレス量をθ１、めつき後にお
けるアイランド部２ｃのデプレス量をθ２とし
て、デプレス変形量θをθ＝｜θ2−θ1｜で表わ
し、デプレス変形量θをリードフレーム２の生産
量累計Ｎに対して表わした。第５図ａより明らか
なように、第１実施例のマスク装置１は5000シー
ト生産後もデプレス変形量θが従来例よりも充分
に小さい値となつており、リードフレーム２の変
形がほとんどないことが理解される。

第６図ａに本発明第１実施例のもう１つの効果
を示す。第６図ｂに示すマスク装置１において、
吊り棒２ｂとの対応面１ｂの矢印−線に沿う
断面を第６図ｃに示す。第６図ｃに示される対応
面１ｂのくぼみ量δとリードフレーム２の生産累
計Ｎとの関係を表わしたものである。第６図ａよ
り明らかなように、本発明マスク装置１では5000
シート生産後もくぼみ量δがほとんど発生してお
らず、従来と比較してマスク装置１の寿命が著し
く改善されていることがわかる。

「その他の実施例」 本発明は上記の実施例の細部にまで限定される
ものでなく、例えばマスク体４の材質は可撓弾性
および耐薬品性を有する弾性材ならよく、補強体
６の材質もアクリル、テフロン、ガラスエポキシ
等の樹脂やアルミナ、シリカ等のセラミツクスで
あつてもよい。さらに、補強体５の形状もこれに
限られたものでなく、吊り棒２ｂがマスク装置１
に押し込まれることなく支持できる形状であれば
よい。マスク体支持台の材質もポリ塩化ビニルに
限られたものでなく、ガラスエポキシ等の樹脂で
あつてもよい。

「効果」 以上述べたごとく本発明部分めつき用マスク装
置は上記の構成を有するから、並列した複製のめ
つき対象部位を有する板状のめつき物になんら変
形を与えることなくめつきすることを可能とし、
さらに、マスク装置自体の寿命を著しく改善する
ことができるという優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明部分めつき用マスク装置の第１
実施例とデプレス構造をしたダブルタイプリード
フレームの組合せを示す概略斜視図、第２図は第
１図図示の実施例にリードフレームをセツトした
状態において矢印−線に沿う拡大断面図、第
３図は本発明第２実施例を示すマスク装置概略斜
視図、第４図は本発明第３実施例を示すマスク装
置概略斜視図、第５図ａは本発明マスク装置の第
１実施例においてデプレス変形量と生産量累計の
関係を示す特性図、第５図ｂはめつき前後におけ
るリードフレーム断面図、第６図ａは本発明マス
ク装置の第１実施例においてマスク装置のくぼみ
量と生産量累計の関係を示す特性図、第６図ｂは
マスク装置における対応面の拡大図、第６図ｃは
マスク装置における対応面の断面拡大図、第７図
は従来のマスク装置とリードフレームとの組合せ
の一例を示す概略斜視図、第８図は従来のマスク
装置とダブルタイプリードフレームとの組合せの
一例を示す概略斜視図、第９図は第８図図示従来
のマスク装置にリードフレームをセツトした状態
における矢印−線に沿う拡大断面図、第１０
図は第８図図示従来のマスク装置において、吊り
棒との対応面の異常時を説明するための拡大断面
図である。 １……マスク装置、２……デプレス構造をした
ダブルタイプリードフレーム、３……マスク体支
持台、３ａ……マスク体支持台開口部、３ｂ……
支持面、４……マスク体、４ａ……マスク体開口
部、５……補強体、６……めつき対象部位。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 並列した複数のめつき対象部位を有する板状
   のめつき物を支持し、前記めつき物のめつき対象
   部位に対応する複数の開口部を穿設した弾性材か
   らなるマスク体と、前記マスク体の開口部に対応
   した複数の開口部を穿孔し、前記マスク体を支持
   するマスク体支持台と、前記マスク体に穿設され
   た並列関係にある開口部の中央部位に位置するよ
   うに前記マスク体支持台に配設された補強体とを
   備えることを特徴とする部分めつき用マスク装
   置。