JPH0356965A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、露光対象物、例えば感光膜が表面に塗布さ
れたガラス板などを露光するための露光装置において、
端面を利用して見当合わせを行う位置合わせ機構及び密
着機構の改良に関するものである。

〈従来の技術〉 露光対象物を置くステージ６と、マスク２を保持し該ス
テージと該マスクが平行を保ちつつ該マスクを上下動す
るマスクホルダー３とを備えた露光装置において、従来
の見当合わせ機構は、該ステージ６にＸ方向、ｙ方向に
対応するように配置された見当合わせ用当てピン１と、
同しく該ステージ６上に設けられた該当てピンｌに露光
対象物を押し当てるためのχ方向、ｙ方向のアーム・４
により構成されている。

次に動作について説明する。ステージ６上に置かれた露
光対象物をアーム４により当てピン１に押し当て位置合
わせを行う。次にアーム４で押したままの状態でステー
ジに設けられた固定用バキューム１０を作動して露光対
象物をステージ６上の所定の位置に固定した後、アーム
４を外し、マスク２を露光対象物に重ね合わせる。この
時、露光対象物、例えばガラス基板では、通常１０％程
度の厚さムラがある。このためマスク２と露光対象物と
を重ね合わせただけでは、密着不良により画像がボケて
しまう。

マスク２と露光対象物とを、ボケないように密着させる
装置としては、ステージに密着用バキューム機構１　０
’を備え、言亥バキューム１０′により強制的に密着さ
せるハードコンタクト式と、密着用バキューム機構を持
たず、マスク表面と露光対象物が数μを於いて常に平行
を保状態で露光されるようにステージがセンサを持ち厚
さムラに対応して動くようになっているソフトコンタク
ト式とが一般的である。

〈発明が解決しようとする課題〉 ハードコンタクト式では、位置合わせを行った後、マス
クホルダーによりマスクを下方向に動かし露光対象物に
重ね合わせるため、下方向運動の際にマスクが僅かでも
水平方向にずれると、位置合わせ時の位置からずれてし
まい、厳密には露光対象物上の所定の位置に画像を形或
することができないという欠点がある。また、露光対象
物とマスクをバキュームにより強く密着させ、厚さムラ
に補正をかけるので、解像性の高い画像を得られるが、
反面僅かな異物や擦れによりマスクが傷つき、高価なマ
スクの寿命を縮めるという欠点や、バキュームに著しい
時間を要し、生産性が低いという欠点もある。

一方、ソフトコンタクト式では、マスクと露光対象物が
直接強く触れることがないためにマスクが傷つかず、厚
さムラに対してもステージがセンサにより微調整をする
ようになっており問題はない。また、マスクと露光対象
物が接していないため、精度の微調整も可能で精度の高
い画像を得ることができる。しかし、マスクと露光対象
物が数μを於いて重なっているため、解像性はハーＦ’
コンタクト式に比べ低くなっており、また様々な微調整
機構が必要で高価な装置となっている。

精度、解像性に優れ、安価で生産性の高い装置が望まれ
ている。

〈課題を解決する手段〉 この発明は、当てピンをマスクまたはマスクホルダーに
設け、これに伴い密着をブロア機構により行うことによ
って、前記課題を解決するものである。

この発明は、露光対象物を固定し、交換の際にマスクホ
ルダーの下より取り出すためにスライドするステージ６
と、該ステージ６とマスク２が平行になるようマスク２
を保持するマスクホルダー３とを備え、当てピンとアー
ムにより見当合わせを行う露光装置において、当てピン
１がマスク２またはマスクホルダー３の露光対象物側の
面に取りつけれ、且つ該ステージ６には露光対象物を固
定するバキューム機構１０と露光対象物を浮かせて位置
合わせを行った後、空気の圧力で密着させるためのプロ
ア機構７が設けられた露光装置である。

当てピン１は、マスク２またはマスクホルダー３の露光
対象物側の面に取りつけられているが、アーム４もマス
クホルダー側に取りつけられていてもよい。

ステージ６に備えられている該バキューム機構１０とブ
ロア機構７は別々の機構でも、弁などで切り換え可能な
同一のエア機構でもよい。

第１図はこの発明の縦断面図、第２図はマスクの露光対
象物側から見た平面図、第３図はステージ上面の平面図
である。ステージ６上に設けられた凹字型のＸ方向用ア
ームなとＴ字型のＹ方向用アームμ′のそれぞれに対応
して、Ｘ方向用当てピン２つ、ｙ方向用の当てピン１つ
がマスクの露光対象物側の面に配置されている。基板の
大きさによってはマスク面ではなく、マスクホルダーの
露光対象物側に配置される。

く作用〉 当てピンがマスクまたはマスクホルダーの露光対象物側
に取りつけられ、マスク上に形威されたパターンの位置
と当てピンの位置との相対距離は一定ニｆｔ　リ、この
当てピンを介して露光対象物とマスクの位置合わせを行
うので、密着時の位置の狂いがなくなる。

また、ブロアは、バキュームに比べて圧力を調整しやす
いので、露光対象物の厚さムラを矯正して、マスクと露
光対象物を密着させるのに必要十分な圧力をかけること
ができる。位置合わせ時には軽く露光対象物を持ち上げ
、位置合わせ後ブロア機構の空気圧を強めることにより
、マスクと露光対象物とにかかる圧力が密着に必要な圧
力で且つ必要以上の圧力が加わらないように調整できる
。

この時、ブロア機構の空気圧を強めると同時にマスクホ
ルダーを下げて、この二つの動作により空気圧を調整し
てもよい。

〈実施例〉 予め、マスク２上の所定の位置に、接着剤を用いて３個
の当てピン１を配置した。ステージ６には、露光対象物
を上置してステージをマスク下に移動する際に、露光対
象物８を固定するためのバキューム機構１０と、露光対
象物をアーム４により当てピン１に押し当てる際に露光
対象物８を軽く持ち上げ、且つ露光の際にはマスク２と
露光対象物８とを密着させるためのブロア機構７とを兼
ねたエア機構が備えられている。該バキューム機構は約
７０ｍｍＨｇ，該プロア機構は約２　０　ｇ／ｃボであ
る。

次にこの発明による位置合わせ及び露光の工程を第４図
により簡単に説明する。当てピン、アームの位置につい
ては第２図、第３図参照する。

ａ．ステージ６上の２本のアーム４４′を引いた状態と
して、該アーム４４′に当てるようにして露光対象物（
厚さ１．１ｎ＋ｍ　、３００　Ｘ３００ｍｍガラス製基
板）を位置決めしてバキュームをかけて固定する。

ｂ．ガラス基板を固定したステージ６、マスクホルダー
３の下に移動する。

Ｃ．バキューム１０を切り、ブロアをかけ、ガラス基板
を浮かせる。

よ．この状態でガラス基板をまずＸ方向のアーム４で押
し当て、χ方向のアーム４を押し当てたままＹ方向のア
ーム４′で押し当て、マスク上に取りつけてある当てピ
ンに基手反をセットする。

ｅ．ガラスの厚さムラを矯正するのに必要十分な圧力に
なるまでマスクホルダーを下げ、マスクとガラス基板を
密着させる。この状態で露光する。

ｆ．露光停止後、２本のアーム４４′を引く．９．ブロ
アを切り、バキュームをかけ、ガラス基板を再度固定し
、マスクホルダーを上げる。

ｈ．ステージをマスクホルダー下より外に移動する． バキュームを切り、ガラス基板を取り出す。

く発明の効果〉 この発明は、当てピンとマスク上のパターンの相対距離
が常に一定であり、この当てピンを介して露光対象物と
マスクパターンの位置合わせを行うので、極めて高い位
置精度が得られ、露光後の基板上のパターンの位置のバ
ラツキは殆ど見られない。

さら，にこの発明は、プロア機構により露光対象物とマ
スクを密着させるため、露光対象物の厚さムラによる接
触部、非接触部ができるのを防ぐのに必要十分な圧力で
露光対象物をマスクに押しつけるので、ソフトコンタク
ト式に比べ、解像性が高く、しかもこの圧力はハードコ
ンタクト式に比べ小さく、従ってマスクが傷つくのを減
少させる。

また、ブロアはバキュームに比べ所定の圧力に達するま
でに要する時間が短く作業性、生産性も高められる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は露光装置におけるこの発明のマスク、ステージ
部分の縦断面図。第２図はマスクホルダーにセットした
この発明によるマスクの露光対象物側から見た平面図。 第３図はステージの露光対象物側から見た平面図。第４
図はこの発明実施例による位置合わせ、露光工程の説明
図。第５図は、従来の露光装置におけるマスク、ステー
ジ部分の縦断面図。 ■、１は当てピン、２はマスク、３はマスクホルダー　
４、４′はアーム、５はシリンダー　６はステージ、７
はブロア機構、８は露光対象物、９はクンション、１ｏ
、１　０’はハキューム機構。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）露光対象物を固定し、交換の際にマスクホルダー
   の下より取り出すためにスライドするステージ６と、該
   ステージ６とマスク２が平行を保つよう該マスクを保持
   するマスクホルダー３とを備え、当てピンとアームによ
   り見当合わせを行う露光機において、該当てピン１がマ
   スク２の露光対象物側の面に取りつけられ、且つ該ステ
   ージ６には露光対象物を固定するバキューム機構１０と
   露光対象物を浮かせて位置合わせを行った後、空気の圧
   力によりマスクと密着させるためのブロア機構７とが備
   えられていることを特徴とする露光装置。
2. （２）該当てピン１がマスクホルダー３の露光対象物側
   の面に取りつけられている請求項（１）記載の露光装置
   。