JPH0710358Y2 - レチクル整合装置 - Google Patents
レチクル整合装置Info
- Publication number
- JPH0710358Y2 JPH0710358Y2 JP1987134237U JP13423787U JPH0710358Y2 JP H0710358 Y2 JPH0710358 Y2 JP H0710358Y2 JP 1987134237 U JP1987134237 U JP 1987134237U JP 13423787 U JP13423787 U JP 13423787U JP H0710358 Y2 JPH0710358 Y2 JP H0710358Y2
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- Japan
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- reticle
- glass
- mask
- glass mask
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Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 32
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はフォトエッチング加工における上下ガラスマス
クのレチクル上への位置合わせ装置に関する。
クのレチクル上への位置合わせ装置に関する。
本考案はガラスマスクをレチクル上に位置決めする装
置、（これを整合装置と称している、）において整合の
ための基準ピンを上下マスク共用のものと上下マスク個
別のものを設けることにより、整合装置の同一面上で上
下マスクのレチクル上への位置決めができるようにした
ものである。
置、（これを整合装置と称している、）において整合の
ための基準ピンを上下マスク共用のものと上下マスク個
別のものを設けることにより、整合装置の同一面上で上
下マスクのレチクル上への位置決めができるようにした
ものである。
レチクル上ヘのマスクの位置決めをすることを整合と称
している。従来、レチクルを３点基準で所望の位置に仮
固定して、レチクル上の所定の位置にガラスマスクを貼
りつけてレチクルとガラスマスクの整合をするレチクル
整合装置は一般に広く使われている。
している。従来、レチクルを３点基準で所望の位置に仮
固定して、レチクル上の所定の位置にガラスマスクを貼
りつけてレチクルとガラスマスクの整合をするレチクル
整合装置は一般に広く使われている。
しかし、従来の整合装置はマスクの片面だけを位置合わ
せするものが主で、上下両面のマスク位置合わせをあら
かじめ露光装置外で行なう簡便な装置がなかった。フォ
トエッチング加工においてレチクルに接着したガラスマ
スクを被露光体の上下両面にあてて両面露光を行なうた
めの、上下ガラスマスクの簡便な整合装置が望まれてい
た。
せするものが主で、上下両面のマスク位置合わせをあら
かじめ露光装置外で行なう簡便な装置がなかった。フォ
トエッチング加工においてレチクルに接着したガラスマ
スクを被露光体の上下両面にあてて両面露光を行なうた
めの、上下ガラスマスクの簡便な整合装置が望まれてい
た。
レチクル上へのガラスマスクの整合を上下両面とも、装
置の同一面上で行なうために、本考案は第２図のように
レチクル長辺側の共用基準ピン２を上下レチクル共用と
し、レチクル短辺側の基準ピンは上レチクルは上レチク
ル用基準ピン10につきあてて、下レチクルは下レチクル
用基準ピン６につきあてることによりレチクルの基準を
とる。そして、レチクル18の上にガラスマスク19をのせ
て、ガラスマスク19上に形成された整合マーク20が顕微
鏡の視野のクロスマークの中心に来るようにガラスマス
ク19を移動させる。このようにして、上下マスクとも整
合マークの位置、すなわちマスクのパターンが合致す
る。
置の同一面上で行なうために、本考案は第２図のように
レチクル長辺側の共用基準ピン２を上下レチクル共用と
し、レチクル短辺側の基準ピンは上レチクルは上レチク
ル用基準ピン10につきあてて、下レチクルは下レチクル
用基準ピン６につきあてることによりレチクルの基準を
とる。そして、レチクル18の上にガラスマスク19をのせ
て、ガラスマスク19上に形成された整合マーク20が顕微
鏡の視野のクロスマークの中心に来るようにガラスマス
ク19を移動させる。このようにして、上下マスクとも整
合マークの位置、すなわちマスクのパターンが合致す
る。
上記のように構成された整合装置のレチクルテーブルの
上にレチクルをのせ、レチクルを仮固定し、さらにレチ
クルの上にガラスマスクをのせ、該ガラスマスクをアー
ムの先端に取着されている吸着パッドで吸着し、アーム
を介してX,Y,θ方向へ移動させることによって、ガラス
マスクに形成された整合マークを所定の位置に固定され
た顕微鏡の視野内のクロスマークに合わせ込む。ガラス
マスクが所定位置にきたら、レチクルとガラスマスクを
接着剤で接着する。このようにして上下ガラスマスクの
整合が可能になる。
上にレチクルをのせ、レチクルを仮固定し、さらにレチ
クルの上にガラスマスクをのせ、該ガラスマスクをアー
ムの先端に取着されている吸着パッドで吸着し、アーム
を介してX,Y,θ方向へ移動させることによって、ガラス
マスクに形成された整合マークを所定の位置に固定され
た顕微鏡の視野内のクロスマークに合わせ込む。ガラス
マスクが所定位置にきたら、レチクルとガラスマスクを
接着剤で接着する。このようにして上下ガラスマスクの
整合が可能になる。
以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図において顕微鏡1a,1bを２台、定盤12の所定の位置に
固定する。片側の顕微鏡1aの直下にアームベース13の回
転中心軸14が来るようにする。前記アームベース13には
X,Y,θテーブル15が固着されていて、該X,Y,θテーブル
15はＸ方向微動用マイクロメータ３とＹ方向微動用マイ
クロメータ４とθ方向微動用マイクロメータ５によりX,
Y,θ方向へ滑動自在になっている。前記X,Y,θテーブル
15には、アーム16が固着されており、該アーム16の先端
には上下動可能な吸着パッド11が取着されている。該吸
着パッド11はガラスマスクを吸着して、X,Y,θテーブル
15の動きにより、レチクル上をガラスマスクが滑動でき
るようにするためのものである。前記吸着パッド11には
チューブ17が取り付けられていて真空手動弁７を介し
て、図示しない真空ポンプに接続されている。定盤12の
上には、レチクルテーブル８が３個所固着されていて、
該レチクルテーブル８の上にレチクルがつきあてられ
る、共用基準ピン2,下レチクル用基準ピン6,上レチクル
用基準ピン10が埋設されている。第２図（ａ），（ｂ）
は上下レチクルとガラスマスクの整合状態を説明する図
であり、第２図のようにレチクル18a,18bに、所定の位
置にあらかじめ整合マーク20を形成させておいたガラス
マスク19a,19bをのせて、レチクル18とガラスマスク19
を接着するのである。上レチクル18aの場合、（第２図
ａ）上レチクル18aは共用基準ピン２と上レチクル用基
準ピン10とにつきあてられて、レチクル固定つまみ９で
仮固定される。さらに上レチクル18aの上に上ガラスマ
スク19aが所定の位置に移動され、接着剤で接着して固
定される。下レチクル18bの場合でも上記と同様にして
下ガラスマスク19bが固定される。この際、ガラスマス
ク19a,19b内の整合マーク20と共用基準ピン２間の距離d
1は上下レチクルとも同一であり、上レチクル用基準ピ
ン10と整合マーク20間の距離d2と下レチクル用基準ピン
６と整合マーク20間の距離d3はd2＝d3になるように作ら
れている。位置合わせの確認は、第３図のように、所定
の位置に固定された顕微鏡の視野内のクロスマーク21に
整合マーク20が重なったことで達成可能となる。このよ
うにして整合の終了したレチクル18a,18bはガラス面を
合わせると、レチクル18a,18bの外縁から整合マークま
での距離が等しくなる。すなわち上下マスク、19a,19b
内のパターンが合致することになる。もちろん上マスク
19a,下マスク19b内のパターンは整合マーク20から等距
離にパターニングされていなければならないことはいう
までもない。このようにして整合の終了したレチクル18
a,18bはこの整合装置とまったく同じ位置関係で基準ピ
ンが設けられている。図示しない露光ホルダーに固定さ
れ、露光機内で使用される。
図において顕微鏡1a,1bを２台、定盤12の所定の位置に
固定する。片側の顕微鏡1aの直下にアームベース13の回
転中心軸14が来るようにする。前記アームベース13には
X,Y,θテーブル15が固着されていて、該X,Y,θテーブル
15はＸ方向微動用マイクロメータ３とＹ方向微動用マイ
クロメータ４とθ方向微動用マイクロメータ５によりX,
Y,θ方向へ滑動自在になっている。前記X,Y,θテーブル
15には、アーム16が固着されており、該アーム16の先端
には上下動可能な吸着パッド11が取着されている。該吸
着パッド11はガラスマスクを吸着して、X,Y,θテーブル
15の動きにより、レチクル上をガラスマスクが滑動でき
るようにするためのものである。前記吸着パッド11には
チューブ17が取り付けられていて真空手動弁７を介し
て、図示しない真空ポンプに接続されている。定盤12の
上には、レチクルテーブル８が３個所固着されていて、
該レチクルテーブル８の上にレチクルがつきあてられ
る、共用基準ピン2,下レチクル用基準ピン6,上レチクル
用基準ピン10が埋設されている。第２図（ａ），（ｂ）
は上下レチクルとガラスマスクの整合状態を説明する図
であり、第２図のようにレチクル18a,18bに、所定の位
置にあらかじめ整合マーク20を形成させておいたガラス
マスク19a,19bをのせて、レチクル18とガラスマスク19
を接着するのである。上レチクル18aの場合、（第２図
ａ）上レチクル18aは共用基準ピン２と上レチクル用基
準ピン10とにつきあてられて、レチクル固定つまみ９で
仮固定される。さらに上レチクル18aの上に上ガラスマ
スク19aが所定の位置に移動され、接着剤で接着して固
定される。下レチクル18bの場合でも上記と同様にして
下ガラスマスク19bが固定される。この際、ガラスマス
ク19a,19b内の整合マーク20と共用基準ピン２間の距離d
1は上下レチクルとも同一であり、上レチクル用基準ピ
ン10と整合マーク20間の距離d2と下レチクル用基準ピン
６と整合マーク20間の距離d3はd2＝d3になるように作ら
れている。位置合わせの確認は、第３図のように、所定
の位置に固定された顕微鏡の視野内のクロスマーク21に
整合マーク20が重なったことで達成可能となる。このよ
うにして整合の終了したレチクル18a,18bはガラス面を
合わせると、レチクル18a,18bの外縁から整合マークま
での距離が等しくなる。すなわち上下マスク、19a,19b
内のパターンが合致することになる。もちろん上マスク
19a,下マスク19b内のパターンは整合マーク20から等距
離にパターニングされていなければならないことはいう
までもない。このようにして整合の終了したレチクル18
a,18bはこの整合装置とまったく同じ位置関係で基準ピ
ンが設けられている。図示しない露光ホルダーに固定さ
れ、露光機内で使用される。
本考案は以上説明したように、上と下とで反対側の基準
ピンを使って位置決めしたレチクル上にガラスマスクを
滑動させて、レチクルとガラスマスクの整合を行わせる
機構により装置内の同一面上で上下両面の鏡に写した像
の状態にあるレチクルの整合が容易にできるという効果
がある。
ピンを使って位置決めしたレチクル上にガラスマスクを
滑動させて、レチクルとガラスマスクの整合を行わせる
機構により装置内の同一面上で上下両面の鏡に写した像
の状態にあるレチクルの整合が容易にできるという効果
がある。
第１図は本考案にかかるレチクル整合装置の斜視図、第
２図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上下レチクルとガラスマ
スクの整合状態を表わす平面図、第３図は顕微鏡の視野
内を表わす平面図である。 1a,1b……顕微鏡 ２……共用基準ピン ６……下レチクル用基準ピン ８……レチクルテーブル 10……上レチクル用基準ピン 11……吸着パッド 14……回転中心軸 15……X,Y,θテーブル 16……アーム 18a,18b……レチクル 19a,19b……ガラスマスク 20……整合マーク
２図（ａ），（ｂ）はそれぞれ上下レチクルとガラスマ
スクの整合状態を表わす平面図、第３図は顕微鏡の視野
内を表わす平面図である。 1a,1b……顕微鏡 ２……共用基準ピン ６……下レチクル用基準ピン ８……レチクルテーブル 10……上レチクル用基準ピン 11……吸着パッド 14……回転中心軸 15……X,Y,θテーブル 16……アーム 18a,18b……レチクル 19a,19b……ガラスマスク 20……整合マーク
Claims (1)
- 【請求項１】露光装置でセットにして使用する上下２枚
のガラスマスクをレチクル外縁から位置合わせをする装
置において、基準ピンを長辺側に２本、短辺側にそれぞ
れ１本ずつ設置し、かつ、前記基準ピンから所定の距離
に２個所の位置決め点を設定して、該位置決め点に顕微
鏡視野内のクロスマークの中心がくるように顕微鏡を２
台設置して、一方の位置決め点の直下が回転中心となっ
て、回動自在なベースにX,Yテーブルと真空吸着パッド
の固定されたアームを取着して、基準位置に載置された
レチクル上を前記ガラスマスクが、X,Yおよび回転方向
へ滑動自在とすることにより、個別に上下２枚のガラス
マスクの位置合わせをすることを特徴とするレチクル整
合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987134237U JPH0710358Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | レチクル整合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987134237U JPH0710358Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | レチクル整合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6438640U JPS6438640U (ja) | 1989-03-08 |
| JPH0710358Y2 true JPH0710358Y2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=31392809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987134237U Expired - Lifetime JPH0710358Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | レチクル整合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710358Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6436349B1 (en) | 1991-03-04 | 2002-08-20 | Bayer Corporation | Fluid handling apparatus for an automated analyzer |
-
1987
- 1987-09-02 JP JP1987134237U patent/JPH0710358Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6438640U (ja) | 1989-03-08 |
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