JPH0357466B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0357466B2 JPH0357466B2 JP57151779A JP15177982A JPH0357466B2 JP H0357466 B2 JPH0357466 B2 JP H0357466B2 JP 57151779 A JP57151779 A JP 57151779A JP 15177982 A JP15177982 A JP 15177982A JP H0357466 B2 JPH0357466 B2 JP H0357466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lamp
- cylindrical body
- exposure apparatus
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
この発明は、均一照射領域の拡張を目的とした
円筒型露光装置に関する。 円筒型露光装置は特開昭50−11024号の第３頁
に記述されるとおり、均一な照度分布を得やす
く、光の利用率も高いことが知られている。 ところで同公報の第140頁に「ランプの軸方向
の前後の不均等配光分布を遮蔽して、均等部分の
みが露光に与える方法は通常の光学知識で容易に
実施し得るものとする」と記述されている。即
ち、直管状ランプの両端部では均一な配光分布が
得られないことから、当該部分を遮蔽し均一な配
光の得られる部分のみを使用する技術は既に知ら
れている。 しかしこのような遮蔽を行なう結果、ランプ発
光長に対する実用照射域（均一な配光分布が得ら
れる部分）の割合は低下せざるを得ず、その結果
常に実用照射域に対して比較的長目の直管状ラン
プを使用する必要があつた。 本発明は透明円筒体の両端部に、光拡散係数α
≦1.0、かつ光反射率β≧0.7である反射帯を設け
ることにより、透明円筒体上の均一照射域を拡張
しランプ発光長に対する実用照射域の比率を著し
く増大させた露光装置に関するものでその詳細を
図面により説明する。 尚、本発明の説明に用いる光拡散係数αは、次
の式で表される係数である。 Ｙ＝（１−sinX）〓 Ｙ：比光度 Ｘ：正反射方向より先は Ｘ＝X1（90°／（90°−θ）） 正反射方向より手前は Ｘ＝X2（90°／（90°＋θ）） 但し、X1、X2は正反射方向からの角度 θ：入射角 また、光反射率βは、界面で反射された光エネ
ルギーの入射光エネルギーに対する比を表す。 第１図は本発明の露光装置を示す斜視図であつ
て、直管状光源１の両端には側面反射板３があ
り、直管状光源１を軸とする透明円筒体２の両端
部に反射帯４が設けられている。 側面反射板３はランプの発光端に位置し、ラン
プの支持体と兼用できる。また反射帯４は、第２
図及び第３図に示すように、透明円筒体２の側面
或いは内面に沿つて設けられ、該円筒体２の両端
から発光端の真上６−６′より内側に帯状に設け
られている。 本発明の露光装置に用いることのできる直管状
ランプ１は放電管、例えばネオンランプ、水銀ラ
ンプ、螢光ランプ、ケミカルランプ、キセノンフ
ラツシユランプ等、また電気抵抗体の加熱発光を
用いるフイラメント管、例えばタングステンラン
プ、ハロゲンランプ等である。 本発明の反射帯４に用いられる材料は例えばア
ート紙、ケント紙、合成紙のような白色紙類、白
色アクリル板のような白色合成樹脂板、或いは白
色塗料で塗装した金属板、合成樹脂板、木板等で
あつて光拡散係数α≦1.0、かつ光反射率β≧0.7
であれば特に材質に限定はない。 反射帯幅Ｗmmはランプ発光長ｌmmに対して０＜
ｗ≦ｌ／10であることが好ましく、更には10≦ｗ
≦ｌ／10であることが望ましい。 側面反射板３は本発明をさらに効果的なものと
するため、光反射率βを少なくとも0.7とするこ
とが望ましい。 照度分布の確認はフオトセンサー法を用いた。
即ち、透明円筒体２上に直管状光源１と平行な線
分を定め、該線分を区分して測定アドレスとし、
各アドレス上にフオトセンサーを置き、その位置
に於ける受光エネルギーを読みとるものである。 本発明の露光装置を更に例をあげて詳述する。 光源１が外径12mm、発光長320mmのキセノンフ
ラツシユランプであり、外径110mmのガラス製透
明円筒体２を有する露光装置に於て、光拡散係数
α＝0.3〜0.4、光反射率βが約0.9である市販のア
ート紙からなる反射帯４を円筒体２の両端の外面
に設け、また光反射率βが約0.9であるアルミ板
を側面反射板３としてランプの発光端に設けた。 上述の露光装置に於て、反射帯の幅を発光端の
直上から両端部各々５mm、10mm、15mm、20mmとし
た場合の円筒体上の照度を光センサー法により測
定し、均一照射領域の変化を求めた結果を第１表
に示す。
円筒型露光装置に関する。 円筒型露光装置は特開昭50−11024号の第３頁
に記述されるとおり、均一な照度分布を得やす
く、光の利用率も高いことが知られている。 ところで同公報の第140頁に「ランプの軸方向
の前後の不均等配光分布を遮蔽して、均等部分の
みが露光に与える方法は通常の光学知識で容易に
実施し得るものとする」と記述されている。即
ち、直管状ランプの両端部では均一な配光分布が
得られないことから、当該部分を遮蔽し均一な配
光の得られる部分のみを使用する技術は既に知ら
れている。 しかしこのような遮蔽を行なう結果、ランプ発
光長に対する実用照射域（均一な配光分布が得ら
れる部分）の割合は低下せざるを得ず、その結果
常に実用照射域に対して比較的長目の直管状ラン
プを使用する必要があつた。 本発明は透明円筒体の両端部に、光拡散係数α
≦1.0、かつ光反射率β≧0.7である反射帯を設け
ることにより、透明円筒体上の均一照射域を拡張
しランプ発光長に対する実用照射域の比率を著し
く増大させた露光装置に関するものでその詳細を
図面により説明する。 尚、本発明の説明に用いる光拡散係数αは、次
の式で表される係数である。 Ｙ＝（１−sinX）〓 Ｙ：比光度 Ｘ：正反射方向より先は Ｘ＝X1（90°／（90°−θ）） 正反射方向より手前は Ｘ＝X2（90°／（90°＋θ）） 但し、X1、X2は正反射方向からの角度 θ：入射角 また、光反射率βは、界面で反射された光エネ
ルギーの入射光エネルギーに対する比を表す。 第１図は本発明の露光装置を示す斜視図であつ
て、直管状光源１の両端には側面反射板３があ
り、直管状光源１を軸とする透明円筒体２の両端
部に反射帯４が設けられている。 側面反射板３はランプの発光端に位置し、ラン
プの支持体と兼用できる。また反射帯４は、第２
図及び第３図に示すように、透明円筒体２の側面
或いは内面に沿つて設けられ、該円筒体２の両端
から発光端の真上６−６′より内側に帯状に設け
られている。 本発明の露光装置に用いることのできる直管状
ランプ１は放電管、例えばネオンランプ、水銀ラ
ンプ、螢光ランプ、ケミカルランプ、キセノンフ
ラツシユランプ等、また電気抵抗体の加熱発光を
用いるフイラメント管、例えばタングステンラン
プ、ハロゲンランプ等である。 本発明の反射帯４に用いられる材料は例えばア
ート紙、ケント紙、合成紙のような白色紙類、白
色アクリル板のような白色合成樹脂板、或いは白
色塗料で塗装した金属板、合成樹脂板、木板等で
あつて光拡散係数α≦1.0、かつ光反射率β≧0.7
であれば特に材質に限定はない。 反射帯幅Ｗmmはランプ発光長ｌmmに対して０＜
ｗ≦ｌ／10であることが好ましく、更には10≦ｗ
≦ｌ／10であることが望ましい。 側面反射板３は本発明をさらに効果的なものと
するため、光反射率βを少なくとも0.7とするこ
とが望ましい。 照度分布の確認はフオトセンサー法を用いた。
即ち、透明円筒体２上に直管状光源１と平行な線
分を定め、該線分を区分して測定アドレスとし、
各アドレス上にフオトセンサーを置き、その位置
に於ける受光エネルギーを読みとるものである。 本発明の露光装置を更に例をあげて詳述する。 光源１が外径12mm、発光長320mmのキセノンフ
ラツシユランプであり、外径110mmのガラス製透
明円筒体２を有する露光装置に於て、光拡散係数
α＝0.3〜0.4、光反射率βが約0.9である市販のア
ート紙からなる反射帯４を円筒体２の両端の外面
に設け、また光反射率βが約0.9であるアルミ板
を側面反射板３としてランプの発光端に設けた。 上述の露光装置に於て、反射帯の幅を発光端の
直上から両端部各々５mm、10mm、15mm、20mmとし
た場合の円筒体上の照度を光センサー法により測
定し、均一照射領域の変化を求めた結果を第１表
に示す。
【表】
第４図に示すように、鎖線は上述の実施例にあ
げた本発明の露光装置における反射帯４がなく、
光反射率が約0.4の側面反射板３を設けた場合の
均一照射領域でありその領域のランプ発光長に対
する比率は68.8％にすぎない。また点線は反射帯
４がなく、光反射率βが約0.9であるアルミ板か
らなる側面反射板３を設けた場合の均一照射領域
であつて、比率は76.9％となつた。実線は本発明
の露光装置に於ける均一照射領域であり、比率が
87.5％にも達した。 また、上述の実施例にあげた本発明の露光装置
に於けるアート紙からなる反射帯４をアルミ板
（光拡散係数α＞１、光反射率βが約0.9）に変え
た場合の均一照射領域データと、上述の実施例に
あげた本発明の露光装置に於けるアルミ板からな
る側面反射板３をアクリル樹脂板（光反射率βが
約0.4）に変えた場合の均一照射領域データを
各々、比較例１、２として第２表に示す。
げた本発明の露光装置における反射帯４がなく、
光反射率が約0.4の側面反射板３を設けた場合の
均一照射領域でありその領域のランプ発光長に対
する比率は68.8％にすぎない。また点線は反射帯
４がなく、光反射率βが約0.9であるアルミ板か
らなる側面反射板３を設けた場合の均一照射領域
であつて、比率は76.9％となつた。実線は本発明
の露光装置に於ける均一照射領域であり、比率が
87.5％にも達した。 また、上述の実施例にあげた本発明の露光装置
に於けるアート紙からなる反射帯４をアルミ板
（光拡散係数α＞１、光反射率βが約0.9）に変え
た場合の均一照射領域データと、上述の実施例に
あげた本発明の露光装置に於けるアルミ板からな
る側面反射板３をアクリル樹脂板（光反射率βが
約0.4）に変えた場合の均一照射領域データを
各々、比較例１、２として第２表に示す。
【表】
更に、上述の実施例にあげた本発明の露光装置
に於ける光源１を、外径20mm、発光長500mmの水
銀ランプに変え、また外径180mmのガラス製透明
円筒体２を用い、反射帯幅を25mmとした場合の発
光長に対する均一照射領域の比率は90％であつ
た。
に於ける光源１を、外径20mm、発光長500mmの水
銀ランプに変え、また外径180mmのガラス製透明
円筒体２を用い、反射帯幅を25mmとした場合の発
光長に対する均一照射領域の比率は90％であつ
た。
第１図は本発明の露光装置の斜視図であり、第
２図と第３図は断面図である。第４図はフオトセ
ンサー法による照度分布を示す。
２図と第３図は断面図である。第４図はフオトセ
ンサー法による照度分布を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透明円筒体表面上に原稿及び感光材料を重ね
て巻きつけて密着露光する露光装置であつて、直
管状光源と、前記光源を軸とする透明円筒体、及
び側面反射板とからなる露光装置に於て、前記透
明円筒体両端部の外面または内面に沿つて、下記
の式で表される光拡散係数α＝0.3〜0.4、かつ光
反射率β≒0.9である反射帯を設けたことを特徴
とする露光装置。 Ｙ＝（１−sinX）〓 Ｙ：比光度 Ｘ：正反射方向より先は Ｘ＝X1（90°／（90°−θ）） 正反射方向より手前は Ｘ＝X2（90°／（90°＋θ）） 但し、X1、X2は正反射方向からの角度 θ：入射角
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57151779A JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57151779A JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942546A JPS5942546A (ja) | 1984-03-09 |
| JPH0357466B2 true JPH0357466B2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=15526110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57151779A Granted JPS5942546A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7623250B2 (en) | 2005-02-04 | 2009-11-24 | Stryker Leibinger Gmbh & Co. Kg. | Enhanced shape characterization device and method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8911295U1 (de) * | 1989-09-22 | 1991-01-24 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Drehstromgenerator für Fahrzeuge |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519832A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Ono Gijutsu Kenkyusho Jugen | Fukushakino rokosochi |
| JPS51110537U (ja) * | 1975-03-03 | 1976-09-07 | ||
| JPS55152533U (ja) * | 1979-04-20 | 1980-11-04 |
-
1982
- 1982-09-02 JP JP57151779A patent/JPS5942546A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7623250B2 (en) | 2005-02-04 | 2009-11-24 | Stryker Leibinger Gmbh & Co. Kg. | Enhanced shape characterization device and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5942546A (ja) | 1984-03-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3717781A (en) | Aperture fluorescent lamp having uniform surface brightness | |
| US5274533A (en) | Reflector assembly having improved light reflection and ballast access | |
| JPH0638626B2 (ja) | 光源ユニット | |
| JPH09508234A (ja) | 信号装置 | |
| NL8603089A (nl) | Verlichtingsarmatuur. | |
| JPH05335001A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH0620245Y2 (ja) | 照明器具 | |
| JPH0357466B2 (ja) | ||
| TWI224342B (en) | UV irradiation device | |
| US4843521A (en) | Reflector with curved dual involute surfaces | |
| JP2729994B2 (ja) | 蛍光ランプ | |
| JP2021157902A (ja) | エキシマランプ、光照射装置 | |
| CA1045600A (en) | Elongate illuminator with window and end light sources | |
| US3995182A (en) | Low-pressure sodium vapor discharge lamp | |
| JPH04141946A (ja) | 冷陰極蛍光放電管 | |
| JPS60218761A (ja) | 照明装置 | |
| JPH0675158B2 (ja) | 閃光露光装置 | |
| SU1203470A1 (ru) | Осветитель | |
| JP2002110316A (ja) | 管型白熱電球 | |
| JP2729995B2 (ja) | 蛍光ランプ | |
| US4897572A (en) | Light tube with slidable electrodes | |
| JPH01116630A (ja) | 露光装置 | |
| JPH10281920A5 (ja) | ||
| JPS627295Y2 (ja) | ||
| GB1475240A (en) | Document illuminator |