JPH0357954A - 超音波探傷装置における信号補正回路 - Google Patents
超音波探傷装置における信号補正回路Info
- Publication number
- JPH0357954A JPH0357954A JP1192630A JP19263089A JPH0357954A JP H0357954 A JPH0357954 A JP H0357954A JP 1192630 A JP1192630 A JP 1192630A JP 19263089 A JP19263089 A JP 19263089A JP H0357954 A JPH0357954 A JP H0357954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- echo
- sound pressure
- defect
- ultrasonic flaw
- flaw detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波探傷装置に係わり、特に、被検体の端
部に存在する欠陥を、該端部以外の中間部に存在する欠
陥の検出レベルと同レベルでその大きさを認識して検出
するのに好適な信号補正回路に関する。
部に存在する欠陥を、該端部以外の中間部に存在する欠
陥の検出レベルと同レベルでその大きさを認識して検出
するのに好適な信号補正回路に関する。
従来の超音波探傷装置による超音波探傷は、被検体の表
面に対して探触子を一定の距離に相対させ、該探触子よ
り超音波を発射しながら被検体の端部より所定の距離だ
け探触子または被検体を移動して被検体に存在する欠陥
を検出していた。この被検体の欠陥検出は、被検体に入
射された超音波のうち、被検体の表面からの反射波信号
(以下表面エコーという)、被検体の欠陥からの反射波
信号(以下欠陥エコーという)および被検体の底面から
の反射波信号(以下底面エコーという)の各音圧レベル
を利用し、超音波探傷器により欠陥の有無.大きさ,位
置等を検出して行うのが一般的であった。
面に対して探触子を一定の距離に相対させ、該探触子よ
り超音波を発射しながら被検体の端部より所定の距離だ
け探触子または被検体を移動して被検体に存在する欠陥
を検出していた。この被検体の欠陥検出は、被検体に入
射された超音波のうち、被検体の表面からの反射波信号
(以下表面エコーという)、被検体の欠陥からの反射波
信号(以下欠陥エコーという)および被検体の底面から
の反射波信号(以下底面エコーという)の各音圧レベル
を利用し、超音波探傷器により欠陥の有無.大きさ,位
置等を検出して行うのが一般的であった。
前記超音波探傷における探触子または被検体を相対移動
させる走査は、通常、被検体の1端側から探傷を開始し
、被検体を通過して被検体の他端側まで行われるが、そ
の際、被検体に入射される超音波のビーム幅のために被
検体の各端部においては、端部以外の中間部に比べて入
射するビーム面積が減少し、そのためどうしても超音波
のエネルギが減少して各反射エコーの音圧レベルが低下
する。第5図は、被検体1の表面1aに一定の距離を保
って相対させた探触子2を矢印方向に走査した場合の表
面エコーの音圧VFの変化状態を示す例で、探触子2の
走査位置を示すグラフの横軸上のAは、超音波ビームが
被検体1の端部にかかりはしめる位置、つまり探触子2
が実線の位置にあるときである.BからCの間は、超音
波ビームのエネルギ全部が入射されている範囲で、超音
波のビーム面積がすべて表面la上に存在する被検体1
の端部以外のいわゆる中間部の範囲である.Dは、位W
Cから外れ始める超音波ビームが完全に外れた位置であ
る.. このように、被検体1の端部は入射エネルギが減少する
から、該端部に存在する欠陥からの欠陥エコーレベルも
相対的に減少する。このため、超音波ビームのエネルギ
全部が入射される中間部B〜C間に存在する欠陥の大き
さと同程度の大きさの欠陥が前記端部に存在する場合に
は、それが同程度の大きさの欠陥であることを認識する
ことができない問題点を有していた. この問題点は、特にCスコープ表示の場合に大で、被検
体1の端部付近の表示がぼやけ、端部の境界が不明確に
なり、欠陥の大きさの検出はもちろん欠陥の有無の検出
も困難になる問題点を有していた。
させる走査は、通常、被検体の1端側から探傷を開始し
、被検体を通過して被検体の他端側まで行われるが、そ
の際、被検体に入射される超音波のビーム幅のために被
検体の各端部においては、端部以外の中間部に比べて入
射するビーム面積が減少し、そのためどうしても超音波
のエネルギが減少して各反射エコーの音圧レベルが低下
する。第5図は、被検体1の表面1aに一定の距離を保
って相対させた探触子2を矢印方向に走査した場合の表
面エコーの音圧VFの変化状態を示す例で、探触子2の
走査位置を示すグラフの横軸上のAは、超音波ビームが
被検体1の端部にかかりはしめる位置、つまり探触子2
が実線の位置にあるときである.BからCの間は、超音
波ビームのエネルギ全部が入射されている範囲で、超音
波のビーム面積がすべて表面la上に存在する被検体1
の端部以外のいわゆる中間部の範囲である.Dは、位W
Cから外れ始める超音波ビームが完全に外れた位置であ
る.. このように、被検体1の端部は入射エネルギが減少する
から、該端部に存在する欠陥からの欠陥エコーレベルも
相対的に減少する。このため、超音波ビームのエネルギ
全部が入射される中間部B〜C間に存在する欠陥の大き
さと同程度の大きさの欠陥が前記端部に存在する場合に
は、それが同程度の大きさの欠陥であることを認識する
ことができない問題点を有していた. この問題点は、特にCスコープ表示の場合に大で、被検
体1の端部付近の表示がぼやけ、端部の境界が不明確に
なり、欠陥の大きさの検出はもちろん欠陥の有無の検出
も困難になる問題点を有していた。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、被検体の端部
に存在する欠陥を、該端部以外の中間部に存在する欠陥
の検出レベルと同レベルでその大きさを認識することが
できる超音波探傷装置における信号補正回路を提供する
ことを目的とする。
に存在する欠陥を、該端部以外の中間部に存在する欠陥
の検出レベルと同レベルでその大きさを認識することが
できる超音波探傷装置における信号補正回路を提供する
ことを目的とする。
上記目的を達戒するため、本発明の超音波探傷装置にお
ける信号補正回路は、被検体の表面に一定の距離で相対
させた探触子より超音波を入射し、被検体からの反射波
信号により欠陥を探傷する超音波探傷器を備えた超音波
探傷装置において、前記反射波信号のうち表面エコーと
欠陥エコーとにそれぞれ独立してゲートをかける複数の
ゲート回路と、被検体の端部以外の中間部からの前記表
面エコーの音圧■。と被検体の任意の位置における前記
表面エコーの音圧■,との関係がV.>VF≧V0/2
のとき、前記被検体端部に存在する欠陥からの欠陥エコ
ーの音圧■,を補正し、補正後の音圧V’y = V
y X V o/ V sにする演算回路と、を備える
構或にしたものである。
ける信号補正回路は、被検体の表面に一定の距離で相対
させた探触子より超音波を入射し、被検体からの反射波
信号により欠陥を探傷する超音波探傷器を備えた超音波
探傷装置において、前記反射波信号のうち表面エコーと
欠陥エコーとにそれぞれ独立してゲートをかける複数の
ゲート回路と、被検体の端部以外の中間部からの前記表
面エコーの音圧■。と被検体の任意の位置における前記
表面エコーの音圧■,との関係がV.>VF≧V0/2
のとき、前記被検体端部に存在する欠陥からの欠陥エコ
ーの音圧■,を補正し、補正後の音圧V’y = V
y X V o/ V sにする演算回路と、を備える
構或にしたものである。
被検体の表面との距離を一定に保って相対させなから探
触子を移動し、被検体の1端側から該被検体を通過して
他端側まで走査すると、超音波探傷器により被検体の表
面エコーおよび底面エコーが得られ、被検体に欠陥があ
る場合は表面エコーと底面エコーとの間に欠陥エコーが
出現する。得られた表面エコーと欠陥エコーとは各別に
独立したゲート回路によりゲートをかけられ、ゲートを
かけられた表面エコーの音圧をVS、同じく欠陥エコー
の音圧を■,とし、一方、上記表面エコーの音圧のうち
被検体の端部以外の中間部からの音圧をV0とし、これ
らの各音圧を演算回路に入力する. 上記被検体の走査において、走査開始付近および終了付
近のように被検体の端部を走査する場合は、被検体の端
部以外の中間部に比べて被検体表面へ入射される超音波
のビーム面積が減少し、その減少に伴って超音波エネル
ギも相対的に減少して各反射エコーの音圧レベルが低下
する。このため、被検体の端部に欠陥が存在している場
合には、該端部以外の中間部に存在する欠陥と同じ大き
さでもエコーレベルが低下して表示されるから、欠陥の
大きさを正確に検出することができなくなり、前記演算
回路に入力された各エコーの音圧が該演算回路にて以下
のように補正される。すなわち、演算回路に入力された
前記被検体の端部以外の中間部からの表面エコーの音圧
■。と、任意の位置の表面からの表面エコーの音圧Vs
との関係が■。
触子を移動し、被検体の1端側から該被検体を通過して
他端側まで走査すると、超音波探傷器により被検体の表
面エコーおよび底面エコーが得られ、被検体に欠陥があ
る場合は表面エコーと底面エコーとの間に欠陥エコーが
出現する。得られた表面エコーと欠陥エコーとは各別に
独立したゲート回路によりゲートをかけられ、ゲートを
かけられた表面エコーの音圧をVS、同じく欠陥エコー
の音圧を■,とし、一方、上記表面エコーの音圧のうち
被検体の端部以外の中間部からの音圧をV0とし、これ
らの各音圧を演算回路に入力する. 上記被検体の走査において、走査開始付近および終了付
近のように被検体の端部を走査する場合は、被検体の端
部以外の中間部に比べて被検体表面へ入射される超音波
のビーム面積が減少し、その減少に伴って超音波エネル
ギも相対的に減少して各反射エコーの音圧レベルが低下
する。このため、被検体の端部に欠陥が存在している場
合には、該端部以外の中間部に存在する欠陥と同じ大き
さでもエコーレベルが低下して表示されるから、欠陥の
大きさを正確に検出することができなくなり、前記演算
回路に入力された各エコーの音圧が該演算回路にて以下
のように補正される。すなわち、演算回路に入力された
前記被検体の端部以外の中間部からの表面エコーの音圧
■。と、任意の位置の表面からの表面エコーの音圧Vs
との関係が■。
>VF≧■。/2の場合に、前記被検体に存在する欠陥
からの欠陥エコーの音圧■2が、補正後の音圧V′F
=Vr xVo/Vsに補正され、エコーレベルの低下
に伴う被検体端部における評価を中間部と同レベルで評
価することが可能になる。
からの欠陥エコーの音圧■2が、補正後の音圧V′F
=Vr xVo/Vsに補正され、エコーレベルの低下
に伴う被検体端部における評価を中間部と同レベルで評
価することが可能になる。
本発明に係わる実施例を第1図ないし第4図を参照して
説明する。図において、3は探触子2に超音波を送受さ
せ、受信した被検体lからの反射波信号を出力する超音
波探傷器、4は超音波探傷器3から出力される反射波信
号のうち表面エコーにゲートをかけるゲート回路、5は
ゲート回路4と別に独立して設けられ欠陥エコーにゲー
トをかけるゲート回路、6はゲート回路4.5の出力を
演算し、被検体1の端部に存在する欠陥からの欠陥エコ
ーの音圧を補正する演算回路である。
説明する。図において、3は探触子2に超音波を送受さ
せ、受信した被検体lからの反射波信号を出力する超音
波探傷器、4は超音波探傷器3から出力される反射波信
号のうち表面エコーにゲートをかけるゲート回路、5は
ゲート回路4と別に独立して設けられ欠陥エコーにゲー
トをかけるゲート回路、6はゲート回路4.5の出力を
演算し、被検体1の端部に存在する欠陥からの欠陥エコ
ーの音圧を補正する演算回路である。
第2図(a)は、被検体1が端部以外の中間部を走査さ
れている状態を示すもので、該中間部に欠陥?1を有し
ている。第2図(b)は、第2図(alの走査に対応し
て出現するエコーを示したもので、表面エコーs,,欠
陥エコーF1及び底面エコーB,が順に出現し、表面エ
コーSIにはゲート回路4によりゲートG4−1がかけ
られ、欠陥エコーF1にはゲート回路5によりゲートa
S−+がかけられる。
れている状態を示すもので、該中間部に欠陥?1を有し
ている。第2図(b)は、第2図(alの走査に対応し
て出現するエコーを示したもので、表面エコーs,,欠
陥エコーF1及び底面エコーB,が順に出現し、表面エ
コーSIにはゲート回路4によりゲートG4−1がかけ
られ、欠陥エコーF1にはゲート回路5によりゲートa
S−+がかけられる。
この場合の表面エコーS1の音圧は■。,欠陥エコーF
,の音圧は■■として演算回路6に入力される.つぎに
第3図(a)は、被検体1の端部を探傷している状態の
図で、該端部に欠陥f2を有している。第3図(b)は
、第3図(a)の探傷に対応して出現するエコーを示し
たもので、第2図(b)と同様に表面エコーS2にはゲ
ート回路4によりゲートG4−2がかけられ、欠陥エコ
ーF2にはゲート回路5によりゲー}Gs−zがかけら
れ、それぞれの音圧が演算回路6に人力される。そして
この場合の表面エコーS2の音圧■,および欠陥エコー
F2の音圧VF2は、超音波の全ビーム面積が被検体1
の表面1aに入射されないことによる超音波エネルギの
減少分だけ第2図(b)より低下したものになっている
。この各音圧の低下は、前記第5図にて説明したように
、超音波の全ビームが表面1aに入射される範囲、つま
り探触子2の中心の位置がB−C以外の端部において入
射エネルギ量の減少に比例して発生する.そして探触子
2の中心が被検体1の端部に一致したとき、入射エネル
ギ量はB−Cの範囲の入射エネルギ量の172となり、
表面エコーの音圧VFはB−C間の表面エコーの音圧V
oの1/2となる。なお、B−C間においては音圧VF
=V0となる。
,の音圧は■■として演算回路6に入力される.つぎに
第3図(a)は、被検体1の端部を探傷している状態の
図で、該端部に欠陥f2を有している。第3図(b)は
、第3図(a)の探傷に対応して出現するエコーを示し
たもので、第2図(b)と同様に表面エコーS2にはゲ
ート回路4によりゲートG4−2がかけられ、欠陥エコ
ーF2にはゲート回路5によりゲー}Gs−zがかけら
れ、それぞれの音圧が演算回路6に人力される。そして
この場合の表面エコーS2の音圧■,および欠陥エコー
F2の音圧VF2は、超音波の全ビーム面積が被検体1
の表面1aに入射されないことによる超音波エネルギの
減少分だけ第2図(b)より低下したものになっている
。この各音圧の低下は、前記第5図にて説明したように
、超音波の全ビームが表面1aに入射される範囲、つま
り探触子2の中心の位置がB−C以外の端部において入
射エネルギ量の減少に比例して発生する.そして探触子
2の中心が被検体1の端部に一致したとき、入射エネル
ギ量はB−Cの範囲の入射エネルギ量の172となり、
表面エコーの音圧VFはB−C間の表面エコーの音圧V
oの1/2となる。なお、B−C間においては音圧VF
=V0となる。
前記第2図(alに示す欠陥f,と第3図(a)に示す
欠陥f2との大きさがほぼ同じの場合、上記の音圧低下
により欠陥『2は欠陥f,の約1/2程度の大きさに過
小評価され不具合となる。このため、これを第4図に示
すフローにて補正する。演算回路6に入力された表面エ
コーS1の音圧■。と表面エコーSRの音圧VFとがV
0>V.≧V ./2の関係にある場合、つまり、探触
子2の中心が第5図におけるBまたはCの位置から被検
体1の端までの間にある場合は、下記の補正式 V’rz = V FZ X V o/ V sにて欠
陥エコーF2の音圧VF2が0,2に補正される.この
補正により欠陥『2は欠陥f,と同レベルの音圧で検出
され、大きさを誤認することなく正確に評価することが
可能になる。なお、前記音圧v0とVFとの関係が、■
,くV0/2の場合、つまり探触子2の中心(超音波の
ビーム軸)が被検体1の端から外方へ外れた場合は、た
とえ欠陥ftが存在してその音圧VFZが検出されても
、この位置には被検体が存在しないのでVrz=Oとし
て探傷のデータとはしない。したがって、探傷はV s
=V o/2の関係、つまり探触子2の中心が被検体
1の端と一致する位置で開始または終了となる。
欠陥f2との大きさがほぼ同じの場合、上記の音圧低下
により欠陥『2は欠陥f,の約1/2程度の大きさに過
小評価され不具合となる。このため、これを第4図に示
すフローにて補正する。演算回路6に入力された表面エ
コーS1の音圧■。と表面エコーSRの音圧VFとがV
0>V.≧V ./2の関係にある場合、つまり、探触
子2の中心が第5図におけるBまたはCの位置から被検
体1の端までの間にある場合は、下記の補正式 V’rz = V FZ X V o/ V sにて欠
陥エコーF2の音圧VF2が0,2に補正される.この
補正により欠陥『2は欠陥f,と同レベルの音圧で検出
され、大きさを誤認することなく正確に評価することが
可能になる。なお、前記音圧v0とVFとの関係が、■
,くV0/2の場合、つまり探触子2の中心(超音波の
ビーム軸)が被検体1の端から外方へ外れた場合は、た
とえ欠陥ftが存在してその音圧VFZが検出されても
、この位置には被検体が存在しないのでVrz=Oとし
て探傷のデータとはしない。したがって、探傷はV s
=V o/2の関係、つまり探触子2の中心が被検体
1の端と一致する位置で開始または終了となる。
なお、上述した実施例においては被検体lに存在する欠
陥を探傷する場合について説明したが、前記信号補正回
路は欠陥探傷ではなく底面を測定する場合についても同
様に使用し得ることはもちろんで、その場合には第2図
(b)に示す底面エコーB,および第3図(blに示す
底面エコーB2に、欠陥エコーに変ってゲートをかけそ
の各音圧を演算回路6に入力することになる. また、演算回路6は、アナログ的な回路でもコンピュー
タを使用したディジタル回路でもよいのはもちろんであ
る。
陥を探傷する場合について説明したが、前記信号補正回
路は欠陥探傷ではなく底面を測定する場合についても同
様に使用し得ることはもちろんで、その場合には第2図
(b)に示す底面エコーB,および第3図(blに示す
底面エコーB2に、欠陥エコーに変ってゲートをかけそ
の各音圧を演算回路6に入力することになる. また、演算回路6は、アナログ的な回路でもコンピュー
タを使用したディジタル回路でもよいのはもちろんであ
る。
本発明は、以上説明したように構戒されているので、被
検体の端部に存在する欠陥または底面を、該端部以外の
中間部に存在する欠陥または底面の検出レベルと同レベ
ルでその大きさまたは状態を認識することができるので
、被検体の中間部と端部とにそれぞれほぼ同じ大きさの
欠陥が存在するような場合には、大きさを誤認すること
なく同程度に正確に評価することができ、また、底面状
態の測定においても正確に測定することができる効果を
奏する。
検体の端部に存在する欠陥または底面を、該端部以外の
中間部に存在する欠陥または底面の検出レベルと同レベ
ルでその大きさまたは状態を認識することができるので
、被検体の中間部と端部とにそれぞれほぼ同じ大きさの
欠陥が存在するような場合には、大きさを誤認すること
なく同程度に正確に評価することができ、また、底面状
態の測定においても正確に測定することができる効果を
奏する。
第1図は本発明に係わる信号補正回路の1実施例を示す
ブロック図、第2図(a)は被検体の端部以外の中間部
を走査する状態の図、第2図(b)は第2図(a)の走
査に対応して表示されるエコーを示す図、第3図(a)
は被検体の端部を探傷している状態の図、第3図中)は
第3図(a)の探傷に対応して表示されるエコーを示す
図、第4図は演算回路における処理フローを示す図であ
る。 第5図は被検体走査時の表面エコーの音圧変化状態を示
す図である。 工・・・被検体、1a・・・被検体の表面、2・・・探
触子、3・・・超音波探傷器、4.5・・・ゲート回路
、6・・・演算回路、f,,f,・・・欠陥。
ブロック図、第2図(a)は被検体の端部以外の中間部
を走査する状態の図、第2図(b)は第2図(a)の走
査に対応して表示されるエコーを示す図、第3図(a)
は被検体の端部を探傷している状態の図、第3図中)は
第3図(a)の探傷に対応して表示されるエコーを示す
図、第4図は演算回路における処理フローを示す図であ
る。 第5図は被検体走査時の表面エコーの音圧変化状態を示
す図である。 工・・・被検体、1a・・・被検体の表面、2・・・探
触子、3・・・超音波探傷器、4.5・・・ゲート回路
、6・・・演算回路、f,,f,・・・欠陥。
Claims (1)
- 1、被検体の表面に一定の距離で相対させた探触子より
超音波を入射し、被検体からの反射波信号により欠陥を
探傷する超音波探傷器を備えた超音波探傷装置において
、前記反射波信号のうち表面エコーと欠陥エコーとにそ
れぞれ独立してゲートをかける複数のゲート回路と、被
検体の端部以外の中間部からの前記表面エコーの音圧V
_oと被検体の任意の位置における前記表面エコーの音
圧V_sとの関係がV_o>V_s≧V_o/2のとき
、前記被検体端部に存在する欠陥からの欠陥エコーの音
圧V_Fを補正し、補正後の音圧V′_F=V_F×V
_o/V_sにする演算回路と、を備えたことを特徴と
する超音波探傷装置における信号補正回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192630A JPH0357954A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 超音波探傷装置における信号補正回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192630A JPH0357954A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 超音波探傷装置における信号補正回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357954A true JPH0357954A (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=16294447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1192630A Pending JPH0357954A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 超音波探傷装置における信号補正回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357954A (ja) |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP1192630A patent/JPH0357954A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5524627A (en) | Ultrasonic imaging system | |
| US7467052B2 (en) | Systems and methods for detecting discontinuous fibers in composite laminates | |
| JPS62174653A (ja) | 超音波検査方法および装置 | |
| JP3017346B2 (ja) | 管台内面疵検査方法 | |
| JPH116820A (ja) | 超音波探査映像方法 | |
| JP3006477B2 (ja) | 板波超音波探傷方法 | |
| USH503H (en) | Wave surface characterization | |
| JPH05119027A (ja) | 厚肉鋼管の超音波探傷方法 | |
| JPS61138160A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPH0215025B2 (ja) | ||
| JP3008381B2 (ja) | 超音波測定装置 | |
| JPS626164A (ja) | 凹形角部の超音波検査方法および装置 | |
| JPH032559A (ja) | 超音波探傷方法 | |
| JPS61151458A (ja) | Cスキヤン超音波探傷方法及び装置 | |
| JPH09229910A (ja) | 超音波斜角探傷方法 | |
| JPH06138105A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPS6411143B2 (ja) | ||
| JPH0587784A (ja) | 欠陥定量化の推定方法及び装置 | |
| KR20070065933A (ko) | 이종 소재간 접합상태를 감지하는 초음파 검사방법 | |
| JPS61266907A (ja) | 表面状態検出装置 | |
| JPS6199863A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JPH06317568A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPH054008U (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPH01214740A (ja) | 傷検査装置 | |
| JPH0778491B2 (ja) | 超音波検査方法及び装置 |