JPH0357957U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0357957U JPH0357957U JP11832589U JP11832589U JPH0357957U JP H0357957 U JPH0357957 U JP H0357957U JP 11832589 U JP11832589 U JP 11832589U JP 11832589 U JP11832589 U JP 11832589U JP H0357957 U JPH0357957 U JP H0357957U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering
- substrate
- substrate holder
- space
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
第１図ａは本考案に係る薄膜形成装置の要部を
示す平面図、第１図ｂは第１図ａＡ―Ａ線に沿う
断面図、第２図ａは本考案に係る薄膜形成装置の
他の実施例を示す平面図、第２図ｂは第２図ａＢ
―Ｂ線に沿う断面図、第３図ａは本考案に係る薄
膜形成装置の更に他の実施例を示す平面図、第３
図ｂは第３図ａＣ―Ｃ線に沿う断面図、第４図ａ
，ｂは夫々シヤツター及び冷却水容器の配置を示
す斜面図、第５図ａは基板ホルダー内に冷却水通
路を設けた例を示す断面図、第５図ｂは第５図ａ
Ｄ―Ｄ線に沿う断面図、第６図及び第７図は基板
上の膜厚分布を説明する図、第８図は従来の薄膜
形成装置の構成を示す断面図である。 １……真空容器、２……ターゲツト、３……基
板、４……基板ホルダー、４１……取付面、６…
…シヤツター。
示す平面図、第１図ｂは第１図ａＡ―Ａ線に沿う
断面図、第２図ａは本考案に係る薄膜形成装置の
他の実施例を示す平面図、第２図ｂは第２図ａＢ
―Ｂ線に沿う断面図、第３図ａは本考案に係る薄
膜形成装置の更に他の実施例を示す平面図、第３
図ｂは第３図ａＣ―Ｃ線に沿う断面図、第４図ａ
，ｂは夫々シヤツター及び冷却水容器の配置を示
す斜面図、第５図ａは基板ホルダー内に冷却水通
路を設けた例を示す断面図、第５図ｂは第５図ａ
Ｄ―Ｄ線に沿う断面図、第６図及び第７図は基板
上の膜厚分布を説明する図、第８図は従来の薄膜
形成装置の構成を示す断面図である。 １……真空容器、２……ターゲツト、３……基
板、４……基板ホルダー、４１……取付面、６…
…シヤツター。
Claims (1)
- スパツター空間１０を挾んで一対のターゲツト
２，２を対向配備し、該スパツター空間１０に面
して配置した基板３の表面に、スパツタリングに
よる薄膜を形成する装置に於いて、スパツター空
間１０の全周を包囲して基板ホルダー４が配備さ
れ、該基板ホルダー４には、両ターゲツト２，２
の中心を結ぶスパツター空間１０の中心軸から等
距離の位置に、複数の基板取付面４１が夫々前記
中心軸に向けて形成され、該取付面４１に固定し
た複数の基板３に対して同時に成膜が施されるこ
とを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832589U JPH0357957U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832589U JPH0357957U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357957U true JPH0357957U (ja) | 1991-06-05 |
Family
ID=31666499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11832589U Pending JPH0357957U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357957U (ja) |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP11832589U patent/JPH0357957U/ja active Pending