JPH0358009A - 顕微鏡反射対物鏡 - Google Patents
顕微鏡反射対物鏡Info
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- JPH0358009A JPH0358009A JP19274789A JP19274789A JPH0358009A JP H0358009 A JPH0358009 A JP H0358009A JP 19274789 A JP19274789 A JP 19274789A JP 19274789 A JP19274789 A JP 19274789A JP H0358009 A JPH0358009 A JP H0358009A
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- reflecting
- reflecting mirror
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- mirror
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、測光顕微鏡やステージ走査方式の走査顕微鏡
に用いる低倍率の反射対物鏡に関するものである． ［従来の技術］ 本発明の顕微鏡反射対物鏡に類似する構成の光学系とし
て、特公昭４７−１２５０８、特開昭４７−２４８３３
号、特開昭５９−７７４０３号、特開昭４７−１２４３
１）号の各公報に記載された光学系が知られている．こ
れらの従来例は、すべてパワーを持つ反射面が２面の構
成である． 〔発明が解決しようとする課題〕 これらの従来例は、パワーを持つ反射面が２面であるた
め、これら２面が球面であると球面収差が補正できない
。又１面を非球面にすると球面収差はほぼ完全に補正さ
れるが、非球面は球面に比べて製造が困難であり、精度
も出しにくいために実際上はあまり使用出来ない。
に用いる低倍率の反射対物鏡に関するものである． ［従来の技術］ 本発明の顕微鏡反射対物鏡に類似する構成の光学系とし
て、特公昭４７−１２５０８、特開昭４７−２４８３３
号、特開昭５９−７７４０３号、特開昭４７−１２４３
１）号の各公報に記載された光学系が知られている．こ
れらの従来例は、すべてパワーを持つ反射面が２面の構
成である． 〔発明が解決しようとする課題〕 これらの従来例は、パワーを持つ反射面が２面であるた
め、これら２面が球面であると球面収差が補正できない
。又１面を非球面にすると球面収差はほぼ完全に補正さ
れるが、非球面は球面に比べて製造が困難であり、精度
も出しにくいために実際上はあまり使用出来ない。
本発明の目的は、球面のみを用いて球面収差が良好に補
正されている低倍の顕微鏡用反射対物鏡を提供すること
にある。
正されている低倍の顕微鏡用反射対物鏡を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］
本発明の顕微鏡反射対物鏡は、標本からの光が当たる順
に、第１の反射鏡旧、第２の反射１ＩＩＭ．．第３の反
計鏡Ｍ３をすべて軸対称に配置した光学系で第１の反射
鏡Ｍ．と第２の反射鏡Ｍ２が正のパワーを持ち、第３の
反射鏡＆ｌｍが負のパワーを持ちすべての面が球面であ
ることを特徴としている．パワーを持つ反射面が２面の
反射結像系（望遠鏡等も含む）においては、第１次鏡の
正のパワーで発生する負の球面収差を第２次鏡の負のパ
ワーで発生する正の球面収差で打ち消すようにするが、
負のパワーの方が強いために、球面系では球面収差を完
全に打ち消すことはできない．そのため反射面を３面に
し増えた面を正のパワーにして球面系だけでも球面収差
をほぼ完全に補正出来る．しかし反射回数が３回では物
体と像点が同じ側に出来る．そのため本発明では第１の
反射！Ｈ．で２回反射させるようにして反射面の数を増
やし反射回数を４回にした． ここで第１の反射鏡Ｍｔは球面収差を補正するだけに用
いられるもので、近軸量にはほとんど影響を及ぼさない
ようになっている．例えば倍率は、第２の反射鏡Ｍ一曲
率半径ｒ２および第３の反射鏡ＭｍＡ曲率半径ｒ，との
比と、第２の反射鏡Ｍ２と第３の反射鏡Ｍ３の間の光学
的距離によって決まる．無限遠設計のことも考えて，倍
率のかわりに焦点距離で正規化して次の条件（１）を満
足するようにしてある． （１）７ ≦ ｌｒｉ／ｒｓｌｘ （ｆ／１） ≦
９ただしｆは顕微鏡反射対物鏡の焦点距離、Ｌは第２
の反射鏡Ｍ，と第３の反射鏡Ｍ．の間の光学的距離であ
る． この条件（１）の下限の７を越えると第２の反射鏡ｈと
第３の反射鏡Ｍ３とのトータルの負のパワーが弱くなり
すぎ、それを補うためには第１の反射鏡Ｍ１の正のパワ
ーも弱くなるために球面収差が補正不足になり、上限の
９を越えると第２の反射鏡Ｌと第３の反射鏡Ｌトータル
の負のパワーが強くなりすぎ、それを打ち消すためには
第１の反射鏡の正のパワーが強くなるため球面収差が補
正過剰になる． 上述のように、近軸量はほぼ第２の反射鏡．第３の反射
鏡Ｍ＊．ｋＡｓで決り、第１の反射鏡は球面収＾ 差を補正するだけなのでそのパワーは非常に弱くまた焦
点距離が短い（倍率が高い）ほど弱くなるので焦点距離
で正規化し、次の条件（２）を満足することが望ましい
． （２） ０．０２≦｜２／ｒｔｌ×（Ｌ”／ｆ）≦０
．３ただし、ｒｔは第１の反射鏡Ｍｔの曲率半径である
． 条件（２）で下限の０．０２を越えると第１の反射鏡Ｍ
１のパワーが弱くなり過ぎ、球面収差が補正不足になり
、上限の０．３を越えると第ｌの反射！ＩＩＭ＋のパワ
ーが強くなりすぎ球面収差が補正過剰になる． ［実施例］ 次に本発明の顕微鏡反射対物鏡の各実施例を示す． 実施例１ ｆ＝１８．３６３（ＬＵＸ）． ＮＡ＝０．２５，隠
蔽率＝４２％， ＷＦＡ＝０．００１几ｒｏ”■ Ｉｏ”２１０ ａ．＝６０．０ ｒ＋＝ −２７６０．０４７ ｄ＋＝−４０．０ ｒｉ＝８９．７７４ ｄｇ＝４０．０ ｒｓ” −２７６０．０４７ ｄｉ＝−２４．８２４ ｒ＜＝ −２９．９３６ ｄ．＝ ２４．８２４ ｒｅ”■ Ｌ” ６４．８２ ． ｌｒｘ／ｒｓｌＸ （ｆ
／Ｌｌ ＝ ８．５１２／ｒ１） Ｘ （Ｌ”／ｆ
）＝０．１７実施例２ ｆ＝１８．０． ＮＡ：０．２５， Ｉｏ＝ｏｏ隠
蔽率＝４２％． １ＦＡ＝０．００１λｒｏ＝ ■ ｄｏ＝ ５８．１８４ ｒ ．＝−２５４４．１）３ ｄｌ＝−４０．１８４ ｒ＝＝９０．３８４ ｄｉ＝ ４０．１８４ ｒｓ”−２５４４．１）３ ｄｉ＝ −２５．４４０ ｒ４＝ −２９．５０２ ｄ．＝ ２７．２５６ ｒ＠＝ω Ｌ＝ ６５．６２ ． ｌｒ＊／ｒｓｌＸ ｆｆ／
１）１２／ｒｉ ×（Ｌ”／ｆ）＝０．１６実施例３ ｆ ＝９．４２４（２０Ｘ） ． ＮＡ ＝０．４隠
蔽率＝ ２１％ ＷＦＡ＝ ０．００３ｒ０＝■ ＝８．３９ ！。＝２１０ ｄｏ＝ ５４．７４７ ｒｌ＝ −１７５５４．７３７ ｄ，＝−３２．７１９ ｒａ＝７６．３９６ ｄａ＝ ３２．７１９ ｒｓ” −１７５５４．７３７ ｄ．＝−２７．６９３ ｒ４＝−１４．６８５ ｄ．＝ ３２．９４６ ｒｓ＝ ■ Ｌ＝６０．４１ ． ． ｌｒｉ／ｒｓｌＸ ｆ’ｆ
／１） ＝８．１）１２／ｒ＋ ｌ Ｘ （Ｌ”／
ｆｌ ＝ ０．０４４実施例４ ｆ＝ｌＩｓ．０． ＮＡ＝０．４． ＩＯ＝ＯＯ隠
蔽率＝２１％． ＷＦＡ＝０．００１） Ｌｒｏｗ
の ｄ．＝ ５２．９２１ ｒｌ＝ −９７０２．７０２ ｄ，＝−３３．５６５ ｒ諺冨７７．１９９ ｄ，＝ ３３．５６５ ｒｓ” −９７０２．７０２ ｄｉ＝−２８。３１９ ？４＝−１４．３８７ ｄ．＝ ３５．３９８ ｒｓ＝■ Ｌ＝ ６１．８８ ． ｌｒａ／ｒｉｌ×（ｆ／
１）＝７．８１２／ｒｌｌ Ｘ （Ｌ”／ｆｌ＝０．
０８８ただしｒ１。ｒａｎ ”・は各反射面の曲率半径
、ｄｌ＋ｄｉ・・・は各反射面間の距離、ｒ０は標本面
＋ｒｓは胴付面である．又データー中の隠蔽率は （Ｎ
Ａａｉａ／ＮＡ．．．１ ”である．尚ＮＡ■。，ＮＡ
．．．は第９図に示す通りである。
に、第１の反射鏡旧、第２の反射１ＩＩＭ．．第３の反
計鏡Ｍ３をすべて軸対称に配置した光学系で第１の反射
鏡Ｍ．と第２の反射鏡Ｍ２が正のパワーを持ち、第３の
反射鏡＆ｌｍが負のパワーを持ちすべての面が球面であ
ることを特徴としている．パワーを持つ反射面が２面の
反射結像系（望遠鏡等も含む）においては、第１次鏡の
正のパワーで発生する負の球面収差を第２次鏡の負のパ
ワーで発生する正の球面収差で打ち消すようにするが、
負のパワーの方が強いために、球面系では球面収差を完
全に打ち消すことはできない．そのため反射面を３面に
し増えた面を正のパワーにして球面系だけでも球面収差
をほぼ完全に補正出来る．しかし反射回数が３回では物
体と像点が同じ側に出来る．そのため本発明では第１の
反射！Ｈ．で２回反射させるようにして反射面の数を増
やし反射回数を４回にした． ここで第１の反射鏡Ｍｔは球面収差を補正するだけに用
いられるもので、近軸量にはほとんど影響を及ぼさない
ようになっている．例えば倍率は、第２の反射鏡Ｍ一曲
率半径ｒ２および第３の反射鏡ＭｍＡ曲率半径ｒ，との
比と、第２の反射鏡Ｍ２と第３の反射鏡Ｍ３の間の光学
的距離によって決まる．無限遠設計のことも考えて，倍
率のかわりに焦点距離で正規化して次の条件（１）を満
足するようにしてある． （１）７ ≦ ｌｒｉ／ｒｓｌｘ （ｆ／１） ≦
９ただしｆは顕微鏡反射対物鏡の焦点距離、Ｌは第２
の反射鏡Ｍ，と第３の反射鏡Ｍ．の間の光学的距離であ
る． この条件（１）の下限の７を越えると第２の反射鏡ｈと
第３の反射鏡Ｍ３とのトータルの負のパワーが弱くなり
すぎ、それを補うためには第１の反射鏡Ｍ１の正のパワ
ーも弱くなるために球面収差が補正不足になり、上限の
９を越えると第２の反射鏡Ｌと第３の反射鏡Ｌトータル
の負のパワーが強くなりすぎ、それを打ち消すためには
第１の反射鏡の正のパワーが強くなるため球面収差が補
正過剰になる． 上述のように、近軸量はほぼ第２の反射鏡．第３の反射
鏡Ｍ＊．ｋＡｓで決り、第１の反射鏡は球面収＾ 差を補正するだけなのでそのパワーは非常に弱くまた焦
点距離が短い（倍率が高い）ほど弱くなるので焦点距離
で正規化し、次の条件（２）を満足することが望ましい
． （２） ０．０２≦｜２／ｒｔｌ×（Ｌ”／ｆ）≦０
．３ただし、ｒｔは第１の反射鏡Ｍｔの曲率半径である
． 条件（２）で下限の０．０２を越えると第１の反射鏡Ｍ
１のパワーが弱くなり過ぎ、球面収差が補正不足になり
、上限の０．３を越えると第ｌの反射！ＩＩＭ＋のパワ
ーが強くなりすぎ球面収差が補正過剰になる． ［実施例］ 次に本発明の顕微鏡反射対物鏡の各実施例を示す． 実施例１ ｆ＝１８．３６３（ＬＵＸ）． ＮＡ＝０．２５，隠
蔽率＝４２％， ＷＦＡ＝０．００１几ｒｏ”■ Ｉｏ”２１０ ａ．＝６０．０ ｒ＋＝ −２７６０．０４７ ｄ＋＝−４０．０ ｒｉ＝８９．７７４ ｄｇ＝４０．０ ｒｓ” −２７６０．０４７ ｄｉ＝−２４．８２４ ｒ＜＝ −２９．９３６ ｄ．＝ ２４．８２４ ｒｅ”■ Ｌ” ６４．８２ ． ｌｒｘ／ｒｓｌＸ （ｆ
／Ｌｌ ＝ ８．５１２／ｒ１） Ｘ （Ｌ”／ｆ
）＝０．１７実施例２ ｆ＝１８．０． ＮＡ：０．２５， Ｉｏ＝ｏｏ隠
蔽率＝４２％． １ＦＡ＝０．００１λｒｏ＝ ■ ｄｏ＝ ５８．１８４ ｒ ．＝−２５４４．１）３ ｄｌ＝−４０．１８４ ｒ＝＝９０．３８４ ｄｉ＝ ４０．１８４ ｒｓ”−２５４４．１）３ ｄｉ＝ −２５．４４０ ｒ４＝ −２９．５０２ ｄ．＝ ２７．２５６ ｒ＠＝ω Ｌ＝ ６５．６２ ． ｌｒ＊／ｒｓｌＸ ｆｆ／
１）１２／ｒｉ ×（Ｌ”／ｆ）＝０．１６実施例３ ｆ ＝９．４２４（２０Ｘ） ． ＮＡ ＝０．４隠
蔽率＝ ２１％ ＷＦＡ＝ ０．００３ｒ０＝■ ＝８．３９ ！。＝２１０ ｄｏ＝ ５４．７４７ ｒｌ＝ −１７５５４．７３７ ｄ，＝−３２．７１９ ｒａ＝７６．３９６ ｄａ＝ ３２．７１９ ｒｓ” −１７５５４．７３７ ｄ．＝−２７．６９３ ｒ４＝−１４．６８５ ｄ．＝ ３２．９４６ ｒｓ＝ ■ Ｌ＝６０．４１ ． ． ｌｒｉ／ｒｓｌＸ ｆ’ｆ
／１） ＝８．１）１２／ｒ＋ ｌ Ｘ （Ｌ”／
ｆｌ ＝ ０．０４４実施例４ ｆ＝ｌＩｓ．０． ＮＡ＝０．４． ＩＯ＝ＯＯ隠
蔽率＝２１％． ＷＦＡ＝０．００１） Ｌｒｏｗ
の ｄ．＝ ５２．９２１ ｒｌ＝ −９７０２．７０２ ｄ，＝−３３．５６５ ｒ諺冨７７．１９９ ｄ，＝ ３３．５６５ ｒｓ” −９７０２．７０２ ｄｉ＝−２８。３１９ ？４＝−１４．３８７ ｄ．＝ ３５．３９８ ｒｓ＝■ Ｌ＝ ６１．８８ ． ｌｒａ／ｒｉｌ×（ｆ／
１）＝７．８１２／ｒｌｌ Ｘ （Ｌ”／ｆｌ＝０．
０８８ただしｒ１。ｒａｎ ”・は各反射面の曲率半径
、ｄｌ＋ｄｉ・・・は各反射面間の距離、ｒ０は標本面
＋ｒｓは胴付面である．又データー中の隠蔽率は （Ｎ
Ａａｉａ／ＮＡ．．．１ ”である．尚ＮＡ■。，ＮＡ
．．．は第９図に示す通りである。
これら実施例中、実施例２と実施例４は無限遠設計の光
学系である．これらの収差曲線図は、ｆ＝１８０の無収
差レンズを付け加えた時のものを示してある．又データ
ー中の波面収差（ＷＦＡ）は隠蔽率を考慮した軸上の値
であり、収差曲繍図とは評価面が異なっている．つまり
収差曲線図は、視野数より逆追跡しての標本面で値を示
してある． ［発明の効果］ 本発明の顕微鏡対物鏡は，球面のみで構成されているに
拘らず球面収差が極めて良好に補正されている．
学系である．これらの収差曲線図は、ｆ＝１８０の無収
差レンズを付け加えた時のものを示してある．又データ
ー中の波面収差（ＷＦＡ）は隠蔽率を考慮した軸上の値
であり、収差曲繍図とは評価面が異なっている．つまり
収差曲線図は、視野数より逆追跡しての標本面で値を示
してある． ［発明の効果］ 本発明の顕微鏡対物鏡は，球面のみで構成されているに
拘らず球面収差が極めて良好に補正されている．
第１図乃至第４図は夫々本発明の実施例１乃至実施例４
の断面図、第５図乃至第８図は夫々実施例１乃至実施例
４の収差曲線図、第９図は本発明の基本構成を示す図で
ある．
の断面図、第５図乃至第８図は夫々実施例１乃至実施例
４の収差曲線図、第９図は本発明の基本構成を示す図で
ある．
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）標本から光が反射する順に第１の反射鏡、第２の
反射鏡、第３の反射鏡をすべて軸対称に配置した光学系
で、第１の反射鏡および第２の反射鏡が正のパワーを持
ち、第３の反射鏡が負のパワーを持ち、すべての面が球
面であることを特徴とする顕微鏡反射対物鏡。 （２）第２の反射鏡の曲率半径をｒ＿２、第３の反射鏡
の曲率半径をｒ＿３とした時、次の条件（１）を満足す
る請求項（１）の顕微鏡反射対物鏡。 （１）７≦｜ｒ＿２／ｒ＿３｜×（ｆ／Ｌ）≦９ただし
ｆは顕微鏡対物鏡の焦点距離、Ｌは第２の反射鏡と第３
の反射鏡間の光学的距離である。 （３）第１の反射鏡の曲率半径をｒ＿１とした時に以下
の条件（２）を満足することを特徴とする請求項（１）
の顕微鏡対物鏡。 （２）０．０２≦｜２／ｒ＿１｜×（Ｌ＾２／ｆ）≦０
．３
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19274789A JPH0358009A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 顕微鏡反射対物鏡 |
| US07/553,639 US5144496A (en) | 1989-07-19 | 1990-07-18 | Reflecting objective system including a negative optical power second mirror with increasing negative optical power off-axis |
| US07/937,551 US5253117A (en) | 1989-07-19 | 1992-08-31 | Reflecting objective system |
| US07/937,128 US5291340A (en) | 1989-07-19 | 1992-08-31 | Reflecting objective system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19274789A JPH0358009A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 顕微鏡反射対物鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0358009A true JPH0358009A (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=16296382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19274789A Pending JPH0358009A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-27 | 顕微鏡反射対物鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0358009A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040020368A (ko) * | 2002-08-30 | 2004-03-09 | 이성옥 | 별도의 리프트 장치를 갖는 자동차 운송용 차량 |
| JP2005241645A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Tektronix Inc | 校正方法及び装置 |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP19274789A patent/JPH0358009A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040020368A (ko) * | 2002-08-30 | 2004-03-09 | 이성옥 | 별도의 리프트 장치를 갖는 자동차 운송용 차량 |
| JP2005241645A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Tektronix Inc | 校正方法及び装置 |
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