JPH0358535B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0358535B2 JPH0358535B2 JP9795285A JP9795285A JPH0358535B2 JP H0358535 B2 JPH0358535 B2 JP H0358535B2 JP 9795285 A JP9795285 A JP 9795285A JP 9795285 A JP9795285 A JP 9795285A JP H0358535 B2 JPH0358535 B2 JP H0358535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- conductive wire
- auxiliary electrode
- bonding
- thyristor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01515—Forming coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07551—Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5438—Dispositions of bond wires the bond wires having multiple connections on the same bond pad
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5524—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising aluminium [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/59—Bond pads specially adapted therefor
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Thyristors (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
この発明は、半導体装置に関し、特にサイリス
タやパワートランジスタのごとき補助電極を有す
る電力用半導体装置に関するものである。
タやパワートランジスタのごとき補助電極を有す
る電力用半導体装置に関するものである。
[発明の技術的背景]
第2図は、平形外囲器構造の公知のサイリスタ
を半部縦断面図で示したものである。同図におい
て、1は半導体ペレツト、2及び3は主電極、4
は熱緩衝板、5は補助電極、6は補助電極5に接
続された導電線、7は補助電極5に対する該導電
線6のボンデイング部分を被覆している絶縁物、
8は半導体ペレツト及び主電極2及び3の外周部
を包囲している筒状の外囲器、9は熱緩衝板4と
外囲器8との間に嵌入されて両者を絶縁している
絶縁体、10は導電線6を外囲器8の外側位置に
おいて保護している保護管である。
を半部縦断面図で示したものである。同図におい
て、1は半導体ペレツト、2及び3は主電極、4
は熱緩衝板、5は補助電極、6は補助電極5に接
続された導電線、7は補助電極5に対する該導電
線6のボンデイング部分を被覆している絶縁物、
8は半導体ペレツト及び主電極2及び3の外周部
を包囲している筒状の外囲器、9は熱緩衝板4と
外囲器8との間に嵌入されて両者を絶縁している
絶縁体、10は導電線6を外囲器8の外側位置に
おいて保護している保護管である。
公知のサイリスタにおいては、導電線6には
Al線が用いられており、該導電線6の一端は保
護管10の外側を押し潰してかしめることにより
該保護管10の外端において保護管10に固定さ
れている。導電線6の他端は補助電極に接続され
るが、その引出し方法は、補助電極に導電線6を
圧接する方法とボンデイングする方法が一般的で
あり、そのボンデイングは通常超音波法で行われ
る。導電線6のボンデイング部分を被覆している
絶縁物7はシリコーンゴムであり、該絶縁物7は
半導体ペレツト1のベベル面への塗布と同時に該
ボンデイング部分の上に塗布される。
Al線が用いられており、該導電線6の一端は保
護管10の外側を押し潰してかしめることにより
該保護管10の外端において保護管10に固定さ
れている。導電線6の他端は補助電極に接続され
るが、その引出し方法は、補助電極に導電線6を
圧接する方法とボンデイングする方法が一般的で
あり、そのボンデイングは通常超音波法で行われ
る。導電線6のボンデイング部分を被覆している
絶縁物7はシリコーンゴムであり、該絶縁物7は
半導体ペレツト1のベベル面への塗布と同時に該
ボンデイング部分の上に塗布される。
前記のごとき従来のサイリスタにおいては、信
頼性を高めるために補助電極の導電線6が、通常
第3図に示す通り、2箇所以上のボンデイング部
分6aを形成するように接合されており、また該
ボンデイング部分6aが外囲器組立工程等におい
て剥離したり損傷しないように該ボンデイング部
分6aとその間の導電線がすべて絶縁物7で被覆
されていた。
頼性を高めるために補助電極の導電線6が、通常
第3図に示す通り、2箇所以上のボンデイング部
分6aを形成するように接合されており、また該
ボンデイング部分6aが外囲器組立工程等におい
て剥離したり損傷しないように該ボンデイング部
分6aとその間の導電線がすべて絶縁物7で被覆
されていた。
[背景技術の問題点]
前記のごとき構造の従来のサイリスタにおいて
は、導電線6のボンデイング部分6aとその間の
導電線がすべて絶縁物7で被覆されているのでボ
ンデイング部分6aとその近傍が絶縁物7で保護
される反面、絶縁物7と導電線6のそれぞれの熱
膨脹係数の差が大きいため、サイリスタの使用状
態においては絶縁物7の内部の導電線部分に繰返
し熱応力が発生し、その結果、該導電線部分が疲
労してボンデイング部分の劣化が生じるという危
険性があつた。
は、導電線6のボンデイング部分6aとその間の
導電線がすべて絶縁物7で被覆されているのでボ
ンデイング部分6aとその近傍が絶縁物7で保護
される反面、絶縁物7と導電線6のそれぞれの熱
膨脹係数の差が大きいため、サイリスタの使用状
態においては絶縁物7の内部の導電線部分に繰返
し熱応力が発生し、その結果、該導電線部分が疲
労してボンデイング部分の劣化が生じるという危
険性があつた。
すなわち、Al製の導電線の場合、その熱膨脹
係数は2.3×10-5cm/deg.であるが、絶縁物7が
シリコーンゴムの場合、その熱膨脹係数は3.0×
10-4cm/deg.であつて、導電線の熱膨脹係数は絶
縁物7の1/10以下の値である。従つて、サイリス
タをその使用温度範囲−40℃〜+125℃で使用し
た場合、ボンデイング部分6a間の導電線と絶縁
物7とは共に膨脹しあるいは共に収縮するが導電
線6の膨脹量及び収縮量は絶縁物7よりも小さい
ためボンデイング部分6aには熱応力が発生し、
この熱応力がサイリスタのオンオフ動作に伴う温
度上昇及び下降の度毎に繰り返されるため、ボン
デイング部分6aが疲労し、ついには剥離に至る
可能性があつた。特に、Alは100℃以上の温度に
おいて定荷重を長時間にわたつて負荷されている
とクリープを起こしやすい性質を有しているた
め、前記のごとき繰返し応力状態が高温度におい
て負荷されると脆化する危険性は極めて大きく、
従つて従来のサイリスタ等の電力用半導体装置に
おいては信頼性に問題があつた。
係数は2.3×10-5cm/deg.であるが、絶縁物7が
シリコーンゴムの場合、その熱膨脹係数は3.0×
10-4cm/deg.であつて、導電線の熱膨脹係数は絶
縁物7の1/10以下の値である。従つて、サイリス
タをその使用温度範囲−40℃〜+125℃で使用し
た場合、ボンデイング部分6a間の導電線と絶縁
物7とは共に膨脹しあるいは共に収縮するが導電
線6の膨脹量及び収縮量は絶縁物7よりも小さい
ためボンデイング部分6aには熱応力が発生し、
この熱応力がサイリスタのオンオフ動作に伴う温
度上昇及び下降の度毎に繰り返されるため、ボン
デイング部分6aが疲労し、ついには剥離に至る
可能性があつた。特に、Alは100℃以上の温度に
おいて定荷重を長時間にわたつて負荷されている
とクリープを起こしやすい性質を有しているた
め、前記のごとき繰返し応力状態が高温度におい
て負荷されると脆化する危険性は極めて大きく、
従つて従来のサイリスタ等の電力用半導体装置に
おいては信頼性に問題があつた。
[発明の目的]
この発明の目的は、前記のごとき従来の半導体
装置よりも高い信頼性を有する改良された半導体
装置を提供することであり、更に詳細には、半導
体ペレツトに接続される導電線の剥離や破断等が
生じる恐れの少ない改良された半導体装置を提供
することである。
装置よりも高い信頼性を有する改良された半導体
装置を提供することであり、更に詳細には、半導
体ペレツトに接続される導電線の剥離や破断等が
生じる恐れの少ない改良された半導体装置を提供
することである。
[発明の概要]
この発明による改良された半導体装置の特徴
は、たとえばサイリスタの補助電極に接続された
導電線の2箇所以上のボンデイング部分を絶縁物
で被覆するとともに該ボンデイング部分間の該導
電線を絶縁物被覆しなようにしたことである。こ
のような構造によれば、導電線と絶縁物との接触
面積を減少させることができるため、サイリスタ
のオンオフ動作に伴う昇温及び降温過程において
該絶縁物から該導電線に加えられる外力が減少
し、その結果該ボンデイング部分における応力が
小さくなつて該導電線の破断や該ボンデイング部
分の剥離が生じる恐れの少ない半導体装置を得る
ことができる。
は、たとえばサイリスタの補助電極に接続された
導電線の2箇所以上のボンデイング部分を絶縁物
で被覆するとともに該ボンデイング部分間の該導
電線を絶縁物被覆しなようにしたことである。こ
のような構造によれば、導電線と絶縁物との接触
面積を減少させることができるため、サイリスタ
のオンオフ動作に伴う昇温及び降温過程において
該絶縁物から該導電線に加えられる外力が減少
し、その結果該ボンデイング部分における応力が
小さくなつて該導電線の破断や該ボンデイング部
分の剥離が生じる恐れの少ない半導体装置を得る
ことができる。
[発明の実施例]
以下に第1図を参照して、本発明をサイリスタ
に適用した実施例について説明する。なお、第1
図は第3図と同じくサイリスタの補助電極5上の
導電線ボンデイング部の拡大断面図を示し、同図
において第2図及び第3図と同一符号で表示され
ている部分は従来のサイリスタと同じ部分であ
る。
に適用した実施例について説明する。なお、第1
図は第3図と同じくサイリスタの補助電極5上の
導電線ボンデイング部の拡大断面図を示し、同図
において第2図及び第3図と同一符号で表示され
ている部分は従来のサイリスタと同じ部分であ
る。
第1図に示されるように、本発明を適用して構
成されたサイリスタにおいては半導体ペレツト1
の補助電極5上にAlの導電線6が互いに離れた
2箇所の点でボンデイングされていて2個のボン
デイング部分6aが形成されており、これらのボ
ンデイング部分6aはシリコーンゴム等の絶縁物
7で被覆されているが、該ボンデイング部分6a
の間の導電線部分6bは絶縁物7上に露出してい
る。従つて、サイリスタの使用状態において半導
体ペレツト1及び補助電極の温度が上昇及び下降
して絶縁物7が膨脹及び収縮しても該部分6bに
は絶縁物7の膨脹及び収縮に伴う外力が加わらな
いため、導電線6のボンデイング部分6aに対す
る熱応力は従来のサイリスタにくらべて著しく小
さくなり、その結果、ボンデイング部分の剥離や
導電線の断線及び劣化が生じる恐れも非常に小さ
くなる。また、絶縁物7で被覆されている導電線
部分にかかる応力は絶縁物7外の導電線部分6b
を変形させる力として消費されるため、ボンデイ
ング部分6aを劣化させるには至らない。
成されたサイリスタにおいては半導体ペレツト1
の補助電極5上にAlの導電線6が互いに離れた
2箇所の点でボンデイングされていて2個のボン
デイング部分6aが形成されており、これらのボ
ンデイング部分6aはシリコーンゴム等の絶縁物
7で被覆されているが、該ボンデイング部分6a
の間の導電線部分6bは絶縁物7上に露出してい
る。従つて、サイリスタの使用状態において半導
体ペレツト1及び補助電極の温度が上昇及び下降
して絶縁物7が膨脹及び収縮しても該部分6bに
は絶縁物7の膨脹及び収縮に伴う外力が加わらな
いため、導電線6のボンデイング部分6aに対す
る熱応力は従来のサイリスタにくらべて著しく小
さくなり、その結果、ボンデイング部分の剥離や
導電線の断線及び劣化が生じる恐れも非常に小さ
くなる。また、絶縁物7で被覆されている導電線
部分にかかる応力は絶縁物7外の導電線部分6b
を変形させる力として消費されるため、ボンデイ
ング部分6aを劣化させるには至らない。
[発明の効果]
前記のように、本発明の半導体装置では2個所
ボンデイング部分間の導電線が絶縁物で被覆され
ていないので該導電線及び該ボンデイング部分の
劣化が生じる危険性が従来の半導体装置よりも小
さく、従つて、本発明によれば、従来の半導体装
置よりも信頼性の高い半導体装置が得られる。
ボンデイング部分間の導電線が絶縁物で被覆され
ていないので該導電線及び該ボンデイング部分の
劣化が生じる危険性が従来の半導体装置よりも小
さく、従つて、本発明によれば、従来の半導体装
置よりも信頼性の高い半導体装置が得られる。
第1図は本発明により改良された半導体装置の
一部を拡大して示す断面図、第2図は従来の半導
体装置の半部縦断面図、第3図は第2図の一部の
拡大断面図である。 1……半導体ペレツト、2,3……主電極、4
……熱緩衝板、5……補助電極、6……導電線、
6a……ボンデイング部分、6b……導電線の露
出部分、7……絶縁物、8……外囲器、9……絶
縁体、10……(導電線6の)保護管。
一部を拡大して示す断面図、第2図は従来の半導
体装置の半部縦断面図、第3図は第2図の一部の
拡大断面図である。 1……半導体ペレツト、2,3……主電極、4
……熱緩衝板、5……補助電極、6……導電線、
6a……ボンデイング部分、6b……導電線の露
出部分、7……絶縁物、8……外囲器、9……絶
縁体、10……(導電線6の)保護管。
Claims (1)
- 1 2つの主電極及び少なくとも1つの補助電極
をもち、該補助電極に接続される導電線が該補助
電極に2箇所以上でボンデイングされている半導
体装置において、該導電線のボンデイング部分を
絶縁物で被覆するとともに該ボンデイング部分間
の該導電線の少なくとも一部分を該絶縁物で被覆
しないようにしたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097952A JPS61256736A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097952A JPS61256736A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61256736A JPS61256736A (ja) | 1986-11-14 |
| JPH0358535B2 true JPH0358535B2 (ja) | 1991-09-05 |
Family
ID=14206003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60097952A Granted JPS61256736A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61256736A (ja) |
-
1985
- 1985-05-10 JP JP60097952A patent/JPS61256736A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61256736A (ja) | 1986-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6369411B2 (en) | Semiconductor device for controlling high-power electricity with improved heat dissipation | |
| US4246596A (en) | High current press pack semiconductor device having a mesa structure | |
| US4402004A (en) | High current press pack semiconductor device having a mesa structure | |
| JPH0263300B2 (ja) | ||
| US4673961A (en) | Pressurized contact type double gate static induction thyristor | |
| EP0476661B1 (en) | Press-contact type semiconductor device | |
| JPH0734449B2 (ja) | 半導体装置の電極接合部構造 | |
| JPH0358535B2 (ja) | ||
| US2825015A (en) | Contacting arrangement for semiconductor device and method for the fabrication thereo | |
| JPH0574473A (ja) | 溶融炭酸塩型燃料電池の出力端子装置 | |
| JP3375812B2 (ja) | 圧接型半導体装置及び半導体素子 | |
| JPS63224347A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2902144B2 (ja) | 固体絶縁物被覆導体 | |
| JPS58207644A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH05218397A (ja) | 圧接型半導体素子 | |
| JPS586307B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS61198658A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPS61134067A (ja) | 半導体装置 | |
| KR820002122Y1 (ko) | 반도체 장치 | |
| JPS5855648Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2644773B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPH06216188A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
| JPH02220452A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0142347Y2 (ja) | ||
| JPS5849635Y2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |