JPH035893A - バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 - Google Patents
バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置Info
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- JPH035893A JPH035893A JP2121407A JP12140790A JPH035893A JP H035893 A JPH035893 A JP H035893A JP 2121407 A JP2121407 A JP 2121407A JP 12140790 A JP12140790 A JP 12140790A JP H035893 A JPH035893 A JP H035893A
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- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
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- G06K7/10821—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum further details of bar or optical code scanning devices
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- G06K1/126—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion otherwise than by punching by photographic or thermographic registration
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- G06K7/0166—Synchronisation of sensing process by means of clock-signals derived from the code marks, e.g. self-clocking code
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、英数字データを表現するために有効な、バー
コード構成に関するものである。具体的にいうと、本発
明は、バーが均一な単一の幅寸法と、特別の同期性を示
し、読みやすさを高めるためにタイミングマークのサブ
シーケンスを含むように符号化される、バーコードに関
するものである。さらに具体的にいうと、ＶＬＳ Ｔ回
路製造工程で生産されるような電子回路チップの製造に
用いられる、半導体ウェーへの製造及びその工程に採用
できる高密度バーコードシステムに関するものである。
コード構成に関するものである。具体的にいうと、本発
明は、バーが均一な単一の幅寸法と、特別の同期性を示
し、読みやすさを高めるためにタイミングマークのサブ
シーケンスを含むように符号化される、バーコードに関
するものである。さらに具体的にいうと、ＶＬＳ Ｔ回
路製造工程で生産されるような電子回路チップの製造に
用いられる、半導体ウェーへの製造及びその工程に採用
できる高密度バーコードシステムに関するものである。
記号データ、特に英数字記号を表現するためのバーコー
ド・フォントは、大変望ましいものである。なぜならそ
れらは、光学式文字認識（ＯＣＲ）システムに依存しな
い、機械の読み取り可能性を与える仕組みになっている
からである。−船釣にＯＣＲシステムは、バーコードシ
ステムよりエラーを生じやすい傾向にある。しかしなが
らそれにもかかわらずバーコードシステムは、あるエラ
ー条件に影響されやすい。不透明なフィルムでバーコー
ドを部分的におおってしまったり、コントラスト比が減
少し、広い幅及び狭い幅のバーの識別を困難にしてしま
う等は、この１例である。
ド・フォントは、大変望ましいものである。なぜならそ
れらは、光学式文字認識（ＯＣＲ）システムに依存しな
い、機械の読み取り可能性を与える仕組みになっている
からである。−船釣にＯＣＲシステムは、バーコードシ
ステムよりエラーを生じやすい傾向にある。しかしなが
らそれにもかかわらずバーコードシステムは、あるエラ
ー条件に影響されやすい。不透明なフィルムでバーコー
ドを部分的におおってしまったり、コントラスト比が減
少し、広い幅及び狭い幅のバーの識別を困難にしてしま
う等は、この１例である。
例えば、もしバーコード読み取り機の走査速度が絶対的
に一定でないなら、バーの間の長いギャップは読み取り
エラーを、より生みやすくする。バーの間に多くの空白
スペースを持つバーコードは、特にこの種のエラーを受
けやすい。例えば、あるバーコードにおける３％の速度
変動は、読み取りエラーを引き起こすのに十分である。
に一定でないなら、バーの間の長いギャップは読み取り
エラーを、より生みやすくする。バーの間に多くの空白
スペースを持つバーコードは、特にこの種のエラーを受
けやすい。例えば、あるバーコードにおける３％の速度
変動は、読み取りエラーを引き起こすのに十分である。
従って、走査速度の変動に敏感でないバーコードシステ
ムをつくることが望ましいことがわかる。
ムをつくることが望ましいことがわかる。
多くのバーコードは、複数の異なる幅を有するバーを採
用している。しかしながら、複数幅のバーコード・フォ
ントには、いくつかの欠点がある。
用している。しかしながら、複数幅のバーコード・フォ
ントには、いくつかの欠点がある。
特に、例えば１インチ当りの文字数で測定した密度は、
単一幅のバーのみで表わされるフォントで得られるもの
程高（はない。さらに、複数のバー幅を採用しているバ
ーコードシステムにおいては、それぞれのバーの幅や少
なくともバーの間の幅の比を、回路機構が認識する必要
がある。また、半導体ウェーハに通し番号などの情報を
表わすイメージを形成するために、パルスレーザを用い
て刻印を行なう時、バー幅の変調は書き込みの問題も引
き起こす。幅広のバー、すなわちレーザ・スポットの幅
よりも大きな幅のバーは、より低い質のバーイメージを
生み、非常に長い書き込み時間を必要とする。このため
に、レーザ照射強度を増大させるので、バー幅変調方式
のコードは、ウェーハに対して大きな損傷を与える危険
もある。
単一幅のバーのみで表わされるフォントで得られるもの
程高（はない。さらに、複数のバー幅を採用しているバ
ーコードシステムにおいては、それぞれのバーの幅や少
なくともバーの間の幅の比を、回路機構が認識する必要
がある。また、半導体ウェーハに通し番号などの情報を
表わすイメージを形成するために、パルスレーザを用い
て刻印を行なう時、バー幅の変調は書き込みの問題も引
き起こす。幅広のバー、すなわちレーザ・スポットの幅
よりも大きな幅のバーは、より低い質のバーイメージを
生み、非常に長い書き込み時間を必要とする。このため
に、レーザ照射強度を増大させるので、バー幅変調方式
のコードは、ウェーハに対して大きな損傷を与える危険
もある。
このように、半導体ウェーハ通し番号の識別などにおい
て、書き込みの質の問題や、バーイメージの劣化又は低
コントラストが存在する際、バー幅変調方式は、読み取
り可能性に関して問題を引き起こす傾向がある。
て、書き込みの質の問題や、バーイメージの劣化又は低
コントラストが存在する際、バー幅変調方式は、読み取
り可能性に関して問題を引き起こす傾向がある。
単一幅のバーコードが採用されているが、独立したタイ
ミングマークの同時使用が必要である。
ミングマークの同時使用が必要である。
このために単一幅のバーコードは、２倍のスペースと２
台の読み取り機を必要とする。このようなコードの代表
的な例は、米国のある種の郵便封筒の上に見つけられる
。２台の読み取り機の使用は高価であるのみならず、採
用するコードもウェーハ上でより広い場所をとることに
なる。
台の読み取り機を必要とする。このようなコードの代表
的な例は、米国のある種の郵便封筒の上に見つけられる
。２台の読み取り機の使用は高価であるのみならず、採
用するコードもウェーハ上でより広い場所をとることに
なる。
本発明は、−船釣には、製造、販売、分類及び識別機能
に広く適用できるバーコード読み取りシステムに向けら
れているが、特に半導体ウェーハの識別に適用できる。
に広く適用できるバーコード読み取りシステムに向けら
れているが、特に半導体ウェーハの識別に適用できる。
特にＶＬＳ １回路デバイス、すなわちシリコンのよう
な物質の加工ウェーハから作られるチップの製造におい
ては、効率的に書き込むことができ、著しく苛酷な環境
においても安定なコードの採用が必要である。そのよう
なコードは、ＡからＺ及びＯから９の英数字文字のすべ
ての範囲を表現できる必要がある。このセットは、合計
３６文字を構成要素とする。しかしながら文字“０“′
はしばしば要求されるセットから削除される。加えて、
半導体デバイスの製造において存在する寸法上の制約の
ため、コードは高密度を示すことが非常に望まれる。し
たがってタイミングマークの独立したセットを必要とす
るコードは、タイミングマークが必要とするスペースの
ために、望ましくない。
な物質の加工ウェーハから作られるチップの製造におい
ては、効率的に書き込むことができ、著しく苛酷な環境
においても安定なコードの採用が必要である。そのよう
なコードは、ＡからＺ及びＯから９の英数字文字のすべ
ての範囲を表現できる必要がある。このセットは、合計
３６文字を構成要素とする。しかしながら文字“０“′
はしばしば要求されるセットから削除される。加えて、
半導体デバイスの製造において存在する寸法上の制約の
ため、コードは高密度を示すことが非常に望まれる。し
たがってタイミングマークの独立したセットを必要とす
るコードは、タイミングマークが必要とするスペースの
ために、望ましくない。
さらに、半導体チップ加工に適するコードは、一般に加
工中のウェーハ上への書き込みが容易で、同様にウェー
ハ又はチップ加工中の読み取りも容易であるべきである
。さらに採用されたバーコード・フォントは、加工条件
、すなわち苛酷な化学物質に対する露出や高温環境に、
よ（耐えることができるようにするべきである。さらに
また、パルスレーザによって書き込むことができるコー
ドを採用することが望まれる。そして、そのようなプロ
セスに対して開発されたコードは、バーコードが現在採
用されている他の領域においても、広゛範囲の適応性を
有する。
工中のウェーハ上への書き込みが容易で、同様にウェー
ハ又はチップ加工中の読み取りも容易であるべきである
。さらに採用されたバーコード・フォントは、加工条件
、すなわち苛酷な化学物質に対する露出や高温環境に、
よ（耐えることができるようにするべきである。さらに
また、パルスレーザによって書き込むことができるコー
ドを採用することが望まれる。そして、そのようなプロ
セスに対して開発されたコードは、バーコードが現在採
用されている他の領域においても、広゛範囲の適応性を
有する。
本発明↓よ、高密度なバーコードシステム、特に、半導
体製造工程におけるウェーハやチップの識別に使用する
のに適する、高密度なバーコードシステムを提供するも
のである。本発明は、単一幅のバーを使用し、しかも自
己クロッキング特性を有するバーコードシステムを用い
た情報表示方法を提供する。
体製造工程におけるウェーハやチップの識別に使用する
のに適する、高密度なバーコードシステムを提供するも
のである。本発明は、単一幅のバーを使用し、しかも自
己クロッキング特性を有するバーコードシステムを用い
た情報表示方法を提供する。
本発明は同じ幅のバーマークを用いたバーコードを使用
する。バーコードは固定符号長を有し、文字記号を表わ
す各符号のバーマークは所定の間隔の整数倍に等しいス
ペースを持つように選択的に間隔をあけて配置される。
する。バーコードは固定符号長を有し、文字記号を表わ
す各符号のバーマークは所定の間隔の整数倍に等しいス
ペースを持つように選択的に間隔をあけて配置される。
好ましくは、バーマーク間のスペース幅はバーマーク幅
の整数倍に等しい。各バーコード符号は一定の位置にバ
ーマークを有する。このバーマークはタイミングバーと
して働くことができ、自己クロッキング特性を与える。
の整数倍に等しい。各バーコード符号は一定の位置にバ
ーマークを有する。このバーマークはタイミングバーと
して働くことができ、自己クロッキング特性を与える。
このように符号化されたバーコードは目的情報を表示す
るために物体につけられ、光学的読み取り装置によって
読み取られて識別される。このバーコードは半導体基板
のような基板において識別情報を表わすのに適している
。
るために物体につけられ、光学的読み取り装置によって
読み取られて識別される。このバーコードは半導体基板
のような基板において識別情報を表わすのに適している
。
第１図は、本発明の好ましい実施例を示している。特に
、アラビア数字０から９及びアルファベット文字Ａから
Ｚ（ただし文字“０″は除く）を表現可能な、存在／不
在方式の単一幅のバーコードの符号を第１図は示してい
る。この特別なコードは、３５種の別々の記号を表現で
きることがわかる。それぞれのバーコード符号の底部に
おける、平らな０字型のチャネルマークは、各バーコー
ド符号が一定の符号長を有することを示すためにのみ、
便宜上表示されている。特に、各符号が固定長を有し、
そして複数の単一の幅の垂直なバーと、これらのバーの
間のスペースとから作られていることに注目されたい、
スペースの幅は最小スペース幅又はその整数倍の幅を有
し、最小スペース幅はバーの幅と同じ幅であるのが望ま
しい。さらに、英数字のコード・シーケンスに一緒に合
成さる時、それぞれのコードの最初のバーが、タイミン
グ情報を与えることのできるタイミングバーを形成する
ことがわかる。
、アラビア数字０から９及びアルファベット文字Ａから
Ｚ（ただし文字“０″は除く）を表現可能な、存在／不
在方式の単一幅のバーコードの符号を第１図は示してい
る。この特別なコードは、３５種の別々の記号を表現で
きることがわかる。それぞれのバーコード符号の底部に
おける、平らな０字型のチャネルマークは、各バーコー
ド符号が一定の符号長を有することを示すためにのみ、
便宜上表示されている。特に、各符号が固定長を有し、
そして複数の単一の幅の垂直なバーと、これらのバーの
間のスペースとから作られていることに注目されたい、
スペースの幅は最小スペース幅又はその整数倍の幅を有
し、最小スペース幅はバーの幅と同じ幅であるのが望ま
しい。さらに、英数字のコード・シーケンスに一緒に合
成さる時、それぞれのコードの最初のバーが、タイミン
グ情報を与えることのできるタイミングバーを形成する
ことがわかる。
次に、上で述べたコードＢＣ４１２を含む、様々な単一
幅のバーコードを図示する第２Ａ図及び第２Ｂ図を参照
して説明する。特に第２Ａ図及び第２Ｂ図は、文字■の
形状でコードの中のバーの存在を示している。スペース
即ちバーの不在は、ハイフン“−”で図示されている。
幅のバーコードを図示する第２Ａ図及び第２Ｂ図を参照
して説明する。特に第２Ａ図及び第２Ｂ図は、文字■の
形状でコードの中のバーの存在を示している。スペース
即ちバーの不在は、ハイフン“−”で図示されている。
特に、第２Ａ図に示されるコードＢＣ４１２は、常に“
ｒ−の連続で始まることがわかる。この場合これら２つ
のコード記号は、どのようなバーコード符号の連鎖の中
にもくりかえされる自己クロッキング・サブシーケンス
中の２つの要素を構成する。コードＢＣ４１２では、コ
ード要素の総数は１２であり、固定長になっている。さ
らに、バーが存在しうるこれらの１２個のスロット（要
素）の中には、英数字文字あたり合計４つのバーが存在
し、これはタイミング制御を設定又は再設定する時に役
立つ。対応して、それぞれの記号は、文字記号あたり合
計８つのスペース（バーの不在）を含む。このようにコ
ードＢＣ４１２は、はとんどの英数字の応用に十分な３
５文字を表現できることがわかる。コードＢＣ４１２に
対して最も重要なことは、いかなるコード・シーケンス
においても、バーの間のスペースの最大数が５であると
いうことである。これは隣接するバーの間のスペースが
、長い期間ではないことを意味する。これは、このよう
なバーコードの読みやすさや信頼性を著しく改善する。
ｒ−の連続で始まることがわかる。この場合これら２つ
のコード記号は、どのようなバーコード符号の連鎖の中
にもくりかえされる自己クロッキング・サブシーケンス
中の２つの要素を構成する。コードＢＣ４１２では、コ
ード要素の総数は１２であり、固定長になっている。さ
らに、バーが存在しうるこれらの１２個のスロット（要
素）の中には、英数字文字あたり合計４つのバーが存在
し、これはタイミング制御を設定又は再設定する時に役
立つ。対応して、それぞれの記号は、文字記号あたり合
計８つのスペース（バーの不在）を含む。このようにコ
ードＢＣ４１２は、はとんどの英数字の応用に十分な３
５文字を表現できることがわかる。コードＢＣ４１２に
対して最も重要なことは、いかなるコード・シーケンス
においても、バーの間のスペースの最大数が５であると
いうことである。これは隣接するバーの間のスペースが
、長い期間ではないことを意味する。これは、このよう
なバーコードの読みやすさや信頼性を著しく改善する。
また、バーの間には最小１つのスペースが存在する。従
って最初と最後の要素はそれぞれバーとスペースとなる
。特に、バーの間のスペースの最大数が最小となるよう
なバーコードは、読み取り装置における速度変化に対す
る感度を制御するために好ましい。というのは、読み取
り装置がバー／スペースのシーケンスを読み取る時、装
置はバーの存在を発見し、走査速度と時間からバーの間
のスペースの数を推測するからである。もし走査速度が
絶対的に一定でないなら、バーの間のスペースの長い切
れ目は、読み取りエラーを生じやすい。第２Ｂ図に示さ
れるような、バーの間に最大１７までのスペースを有す
るＢＢＣ３１コードは、このようなコードの１例である
。このようなコードは、はんの３％の速度変化でも読み
取りエラーになる。しかしながらこれに対してＢＣ４１
２コードは、バーの間に最大５つのスペースしか含まず
、８％の速度変化でも読み取り可能である。これは、Ｂ
Ｏ４１，２コードの重要な利点である。
って最初と最後の要素はそれぞれバーとスペースとなる
。特に、バーの間のスペースの最大数が最小となるよう
なバーコードは、読み取り装置における速度変化に対す
る感度を制御するために好ましい。というのは、読み取
り装置がバー／スペースのシーケンスを読み取る時、装
置はバーの存在を発見し、走査速度と時間からバーの間
のスペースの数を推測するからである。もし走査速度が
絶対的に一定でないなら、バーの間のスペースの長い切
れ目は、読み取りエラーを生じやすい。第２Ｂ図に示さ
れるような、バーの間に最大１７までのスペースを有す
るＢＢＣ３１コードは、このようなコードの１例である
。このようなコードは、はんの３％の速度変化でも読み
取りエラーになる。しかしながらこれに対してＢＣ４１
２コードは、バーの間に最大５つのスペースしか含まず
、８％の速度変化でも読み取り可能である。これは、Ｂ
Ｏ４１，２コードの重要な利点である。
本発明に従った別のバーコードが、第２Ａ図中にＢＯ３
１３と付けられたコードによって示される。コードＢＣ
４１２に関して上述した同じ理由のために、コードＢＣ
３１３も、コード構造に固有の自己クロッキング特性を
有することがわかる。
１３と付けられたコードによって示される。コードＢＣ
４１２に関して上述した同じ理由のために、コードＢＣ
３１３も、コード構造に固有の自己クロッキング特性を
有することがわかる。
したがって、ＢＯ２１２やＢＯ３１３等のコードは、タ
イミングマークの独立したセットの存在を必要としない
。しかしながらコードＢＣ３１３は、コードＢＣ４Ｌ２
よりも、記号あたりの要素の数が１つ多い。それでも、
３６種の異なる記号のすべてのアルファベット文字のセ
ットを完全に表現できる。コードＢＣ３１３は、文字あ
たり合計３個のバーと、文字あたり合計１０個のスペー
スとを含んでいることがわかる。加えて、バーの間のス
ペースの最大数は８であり、これはコードＢＣ４１２の
最大間隔よりも大きい。しかしコードＢＣ４１２及びＢ
Ｏ３１３の両者は、それ自体がタイミング回復のサブシ
ーケンスを含む、単一幅のバーコードを与える。コード
ＢＣ４１２及びＢＯ３１３はそれぞれ固有の識別性のあ
る構造を有するから、表現される文字あたりの要素の数
が、１２個よりも多いコードにまで容易に拡張できる。
イミングマークの独立したセットの存在を必要としない
。しかしながらコードＢＣ３１３は、コードＢＣ４Ｌ２
よりも、記号あたりの要素の数が１つ多い。それでも、
３６種の異なる記号のすべてのアルファベット文字のセ
ットを完全に表現できる。コードＢＣ３１３は、文字あ
たり合計３個のバーと、文字あたり合計１０個のスペー
スとを含んでいることがわかる。加えて、バーの間のス
ペースの最大数は８であり、これはコードＢＣ４１２の
最大間隔よりも大きい。しかしコードＢＣ４１２及びＢ
Ｏ３１３の両者は、それ自体がタイミング回復のサブシ
ーケンスを含む、単一幅のバーコードを与える。コード
ＢＣ４１２及びＢＯ３１３はそれぞれ固有の識別性のあ
る構造を有するから、表現される文字あたりの要素の数
が、１２個よりも多いコードにまで容易に拡張できる。
第２Ｂ図は、他の単一幅のバーコードすなわちコードＢ
Ｃ４１１、コードＢＢＣ３１及びコードＢＣ３１１を示
している。これらはすべて、単一幅のバーコードを例示
しているが、好ましい自己クロッキングの特徴を有して
いないことがわかる。
Ｃ４１１、コードＢＢＣ３１及びコードＢＣ３１１を示
している。これらはすべて、単一幅のバーコードを例示
しているが、好ましい自己クロッキングの特徴を有して
いないことがわかる。
さらにコードＢＢＣ３１は、いくつかの記号を含まず、
全体で３１個の記号の表現しかできない。
全体で３１個の記号の表現しかできない。
第２Ａ図及び第２Ｂ図に示される様々なコードの属性は
、以下の表１に記載されている。
、以下の表１に記載されている。
表１
ＢＯ４１１ＢＯ４１２ＢＢＣ３１ＢＯ３１１ＢＣ３１３
要素の数 １１ １２ １０ １１ １
３バーの数 ４ ４ １〜５ ３ ３／文字 タイミングバー 無 有 無
無 有文字数 ３５ ３５
３１ ３６ ３６一定数のバーを持つ表１に
おける４つのコードの中でも、コードＢＣ４１２はバー
の間のスペースの最大数が最も少な（，５つのスペース
しか持たないことに特に注目されたい。前に述べたよう
に、これは非常に望まれる特性である。また、表現され
る記号文字あたりの一定数のバー及びスペースを持つと
いう望ましい特徴でさえ、ＢＢＣ３１のようなコードは
所有しないこともわかる。
要素の数 １１ １２ １０ １１ １
３バーの数 ４ ４ １〜５ ３ ３／文字 タイミングバー 無 有 無
無 有文字数 ３５ ３５
３１ ３６ ３６一定数のバーを持つ表１に
おける４つのコードの中でも、コードＢＣ４１２はバー
の間のスペースの最大数が最も少な（，５つのスペース
しか持たないことに特に注目されたい。前に述べたよう
に、これは非常に望まれる特性である。また、表現され
る記号文字あたりの一定数のバー及びスペースを持つと
いう望ましい特徴でさえ、ＢＢＣ３１のようなコードは
所有しないこともわかる。
本発明のシステムは、特に加工中の半導体ウェハに識別
番号をつけるのに応用できる。本発明によれば、読み取
り装置はバーの幅やバーの幅の比を認識せずに、バーの
存在又は不在だけを認識すればよいので、書込みも読み
取りも容易になり、コード密度も高くなる。シリコンウ
ェーハに適用し、１０あたり１２から６文字のコード密
度を用いた場合、バーの幅は、研磨前及び研磨後のマー
ク書込みでは、代表的には約０．１０ ｔｍ−０，０５
ｗａの間である。より高い分解能の読み取り機を使うな
ら、より高密度により狭くバーを書き込むことも可能で
ある。−例では、４ ｍ１ｌ（０，１０１６１１１）の
幅を持つバーを用いた。そのようなバーは、中心間の間
隔が１０ ｍ１ｌ（０，２５４ａｍ）になるように置か
れ、このとき隣接バーの間の幅即ちスペースは６ ｍｆ
ｌ（０，１５２４ｍｍ） ニなる。
番号をつけるのに応用できる。本発明によれば、読み取
り装置はバーの幅やバーの幅の比を認識せずに、バーの
存在又は不在だけを認識すればよいので、書込みも読み
取りも容易になり、コード密度も高くなる。シリコンウ
ェーハに適用し、１０あたり１２から６文字のコード密
度を用いた場合、バーの幅は、研磨前及び研磨後のマー
ク書込みでは、代表的には約０．１０ ｔｍ−０，０５
ｗａの間である。より高い分解能の読み取り機を使うな
ら、より高密度により狭くバーを書き込むことも可能で
ある。−例では、４ ｍ１ｌ（０，１０１６１１１）の
幅を持つバーを用いた。そのようなバーは、中心間の間
隔が１０ ｍ１ｌ（０，２５４ａｍ）になるように置か
れ、このとき隣接バーの間の幅即ちスペースは６ ｍｆ
ｌ（０，１５２４ｍｍ） ニなる。
できれば、ドツトマトリックスモードで動作する切り換
えＮｄ１ＹＡＧレーザを用いて、マークを半導体基板に
書き込むのが好ましい。高品質のバーが、重複ドツトな
しに、シリコンウェーハ上に製作される。エツチング及
び化学的機械的研磨操作が、マークをより連続的な線に
変える。
えＮｄ１ＹＡＧレーザを用いて、マークを半導体基板に
書き込むのが好ましい。高品質のバーが、重複ドツトな
しに、シリコンウェーハ上に製作される。エツチング及
び化学的機械的研磨操作が、マークをより連続的な線に
変える。
バーコードは、ＶＬＳ Ｉ加工方法の苛酷な環境によ（
耐えられることが望ましい。処理工程の間に付着される
一時的な被覆によってバーコードの一部が覆われたり、
コントラスト比が減少すると、バーコードの読み取りが
困難になる。このような場合はバーコード領域の被覆を
エツチングする必要がある。第３Ａ図及び第３Ｂ図は、
シリコン・ウェハに本発明のバーコードを書き込み、酸
及びアルカリの化学薬品でエツチングした結果を示して
おり、バーコードが残存することが確認された。
耐えられることが望ましい。処理工程の間に付着される
一時的な被覆によってバーコードの一部が覆われたり、
コントラスト比が減少すると、バーコードの読み取りが
困難になる。このような場合はバーコード領域の被覆を
エツチングする必要がある。第３Ａ図及び第３Ｂ図は、
シリコン・ウェハに本発明のバーコードを書き込み、酸
及びアルカリの化学薬品でエツチングした結果を示して
おり、バーコードが残存することが確認された。
次に、ウェーハ又は同様の基板上に置かれた、このよう
なマークを読み取ることのできるシステムについて説明
する。第４Ａ図において、光源及び反射検出器１０はウ
ェーハ１８の基板上へ、できればレーザ光のような光を
照射する。ウェーハ１８から反射した光は、機能的ブロ
ック１０の中の検出器によって、受は取られる。そして
、第４Ｂ図に示すような電気信号を発生する。この信号
は増幅器１２によって増幅され、ピーク検出器１４及び
比較器１６に送られると、ＢＯ２１２やＢＣ３１３のよ
うなバーコードの形で、ウェーハ１８上に現われる文字
の列を表わす２進の出力を発生する。
なマークを読み取ることのできるシステムについて説明
する。第４Ａ図において、光源及び反射検出器１０はウ
ェーハ１８の基板上へ、できればレーザ光のような光を
照射する。ウェーハ１８から反射した光は、機能的ブロ
ック１０の中の検出器によって、受は取られる。そして
、第４Ｂ図に示すような電気信号を発生する。この信号
は増幅器１２によって増幅され、ピーク検出器１４及び
比較器１６に送られると、ＢＯ２１２やＢＣ３１３のよ
うなバーコードの形で、ウェーハ１８上に現われる文字
の列を表わす２進の出力を発生する。
以上により、本発明によれば、すべての英数字文字セッ
トを表現でき、固有の自己クロッキング特性を示す、単
一幅のバーコードシステムを実現できることが理解され
よう。例示したバーコードは符号の先頭にタイミングバ
ーマークを有するが、中間部又は後部に位置することも
できる。また、本明細書では、本発明は特に半導体ウェ
ーハやチップの加工に関して説明されたが、一般にバー
コードを使用するどのようなシステムにおいても適用可
能である。さらに、本明細書における“基板”という用
語は、半導体物質とは限らず、直接マークを付けること
ができるか、又はマークを付けたものを受は取ることが
できるものであれば、木、紙、金属、プラスチックなど
でもよい。マークは、インクによって、あるいは表面の
性質や、電気的、磁気的性質などの他の物理的性質を変
えることによって付けられることができる。
トを表現でき、固有の自己クロッキング特性を示す、単
一幅のバーコードシステムを実現できることが理解され
よう。例示したバーコードは符号の先頭にタイミングバ
ーマークを有するが、中間部又は後部に位置することも
できる。また、本明細書では、本発明は特に半導体ウェ
ーハやチップの加工に関して説明されたが、一般にバー
コードを使用するどのようなシステムにおいても適用可
能である。さらに、本明細書における“基板”という用
語は、半導体物質とは限らず、直接マークを付けること
ができるか、又はマークを付けたものを受は取ることが
できるものであれば、木、紙、金属、プラスチックなど
でもよい。マークは、インクによって、あるいは表面の
性質や、電気的、磁気的性質などの他の物理的性質を変
えることによって付けられることができる。
本発明によって、高密度なバーコードシステム、特に半
導体製造工程におけるウェーハやチップの識別に使用す
るのに適する、高密度なバーコードシステムを提供する
ことができる０本発明は、単一１１のバーを使用し、し
かも自己クロッキング特性を有するバーコードシステム
を用いた情報表示方法を提供することができる。
導体製造工程におけるウェーハやチップの識別に使用す
るのに適する、高密度なバーコードシステムを提供する
ことができる０本発明は、単一１１のバーを使用し、し
かも自己クロッキング特性を有するバーコードシステム
を用いた情報表示方法を提供することができる。
第牛図は、本発明の好ましいバーコードシステムを示す
図、である。 第２Ａ図は、本発明によるタイミング・バーを含む２種
類の単一幅バーコードを示す図である。 第２Ｂ図はタイミング・バーを持たない３種類の単一幅
バーコードを示す図である。 第３Ａ図は、半導体基板上の酸エツチングされたバーコ
ードマークの平面図である。 第３Ｂ図は、アルカリエツチングされたバーコードマー
クの平面図である。 第４Ａ図は、本発明に従って作られたコードを読み取る
ことのできるシステムを示す図である。 第４Ｂ図は、第４Ａ図のバーコード読み取りシステムに
よって発生される信号の図である。 ＩＯ・・・光源及び反射検出器、１２・・・増幅器、１
４・・・ピーク検知器、１６・・・比較器、１８・・・
ウェーハ。
図、である。 第２Ａ図は、本発明によるタイミング・バーを含む２種
類の単一幅バーコードを示す図である。 第２Ｂ図はタイミング・バーを持たない３種類の単一幅
バーコードを示す図である。 第３Ａ図は、半導体基板上の酸エツチングされたバーコ
ードマークの平面図である。 第３Ｂ図は、アルカリエツチングされたバーコードマー
クの平面図である。 第４Ａ図は、本発明に従って作られたコードを読み取る
ことのできるシステムを示す図である。 第４Ｂ図は、第４Ａ図のバーコード読み取りシステムに
よって発生される信号の図である。 ＩＯ・・・光源及び反射検出器、１２・・・増幅器、１
４・・・ピーク検知器、１６・・・比較器、１８・・・
ウェーハ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定の間隔の整数倍に等しいスペースを持つように
選択的に間隔をあけて配置された同じ幅のバーマークを
含む固定長の符号によつて各文字記号が表わされ、かつ
各符号が一定の位置に上記バーマークを含むように符号
化されたバーコードを物体上に設けて情報を表示し、上
記バーコードを光学的読み取り装置で読み取ることを特
徴とする情報表示／読み取り方法。 ２、所定の間隔の整数倍に等しいスペースを持つように
選択的に間隔をあけて配置された同じ幅のバーマークを
含む固定長の符号によつて各文字記号が表わされ、かつ
各符号が一定の位置に上記バーコードを含むように符号
化されたバーコードによつて表わされた識別情報を有す
ることを特徴とする基板。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US35190289A | 1989-05-15 | 1989-05-15 | |
| US351902 | 1989-05-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH035893A true JPH035893A (ja) | 1991-01-11 |
| JPH0776982B2 JPH0776982B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=23382914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2121407A Expired - Fee Related JPH0776982B2 (ja) | 1989-05-15 | 1990-05-14 | バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5552591B1 (ja) |
| EP (1) | EP0397989A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0776982B2 (ja) |
| CA (1) | CA2011296A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| USRE38758E1 (en) * | 1990-07-31 | 2005-07-19 | Xerox Corporation | Self-clocking glyph shape codes |
| JPH0775028B2 (ja) * | 1990-08-15 | 1995-08-09 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | バーコードによる基板のマーク方法、その方法によってマークされた基板及び識別情報を有する基板 |
| FR2691547B1 (fr) * | 1992-05-19 | 1997-01-17 | Matra Transport | Procede et dispositif de detection optique d'obstacle mobile. |
| US6321986B1 (en) | 1993-11-05 | 2001-11-27 | Intermec Ip Corporation | Robust machine-readable symbology and method and apparatus for printing and reading same |
| US6422476B1 (en) | 1993-11-05 | 2002-07-23 | Intermec Ip Corp. | Method, apparatus and character set for encoding and decoding data characters in data carriers, such as RFID tags |
| US6149059A (en) | 1993-11-05 | 2000-11-21 | Intermec Ip Corporation | Bar code symbology capable of encoding bytes, words, 16-bit characters, etc. and method and apparatus for printing and reading same |
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| GB9919333D0 (en) * | 1999-08-16 | 1999-10-20 | Flying Null Ltd | Information bearing label codes |
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- 1990-03-21 EP EP19900105306 patent/EP0397989A3/en not_active Withdrawn
- 1990-05-14 JP JP2121407A patent/JPH0776982B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-02-22 US US08021298 patent/US5552591B1/en not_active Expired - Lifetime
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- 1996-06-18 US US08/668,049 patent/US6179207B1/en not_active Expired - Lifetime
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| US6179207B1 (en) | 2001-01-30 |
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| CA2011296A1 (en) | 1990-11-15 |
| US5552591B1 (en) | 2000-05-02 |
| US5552591A (en) | 1996-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |