JPH0359635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0359635U JPH0359635U JP11967189U JP11967189U JPH0359635U JP H0359635 U JPH0359635 U JP H0359635U JP 11967189 U JP11967189 U JP 11967189U JP 11967189 U JP11967189 U JP 11967189U JP H0359635 U JPH0359635 U JP H0359635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- lifting pin
- spinner
- baking device
- gripping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例を示すレジストコーテ
イング工程を示す側面図、第２図はそのレジスト
コーテイング工程を示す平面図、第３図は本考案
の実施例を示すスピナの斜視図、第４図はそのス
ピナのノズルの断面図、第５図は従来のレジスト
コーテイング工程を示す側面図、第６図はそのレ
ジストコーテイング工程を示す平面図である。 ３……半導体基板、２１，２８……ベーク用ヒ
ータ、２２，２９……ヒータヘツド、２３，３０
……昇降ピン、２４……スピナ、２５……コーテ
イングヘツドピン、２６……支持体、２７……真
空ライン、３１，３２……アームロボツト。
イング工程を示す側面図、第２図はそのレジスト
コーテイング工程を示す平面図、第３図は本考案
の実施例を示すスピナの斜視図、第４図はそのス
ピナのノズルの断面図、第５図は従来のレジスト
コーテイング工程を示す側面図、第６図はそのレ
ジストコーテイング工程を示す平面図である。 ３……半導体基板、２１，２８……ベーク用ヒ
ータ、２２，２９……ヒータヘツド、２３，３０
……昇降ピン、２４……スピナ、２５……コーテ
イングヘツドピン、２６……支持体、２７……真
空ライン、３１，３２……アームロボツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) (a) ベーク装置と、 (b) 該ベーク装置に設けられる昇降ピンと、 (c) 該昇降ピンの上昇した半導体基板を把持
し、該半導体基板を吸着するスピナへ移載する搬
送用アームロボツトと、 (d) 昇降ピンが設けられたベーク装置と、 (e) 前記スピナ上の半導体基板を把持し、該
半導体基板を前記昇降ピンの上昇位置に移載する
搬送用アームロボツトとを具備するレジスト処理
装置。 (2) 請求項１記載のレジスト処理装置において
、前記スピナは真空吸着可能な３本以上のピンを
有することを特徴とするレジスト処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11967189U JPH0359635U (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11967189U JPH0359635U (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0359635U true JPH0359635U (ja) | 1991-06-12 |
Family
ID=31667781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11967189U Pending JPH0359635U (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0359635U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031603A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | xi-wu Jiang | ロック装置 |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP11967189U patent/JPH0359635U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031603A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | xi-wu Jiang | ロック装置 |