JPH0265341U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0265341U JPH0265341U JP14349388U JP14349388U JPH0265341U JP H0265341 U JPH0265341 U JP H0265341U JP 14349388 U JP14349388 U JP 14349388U JP 14349388 U JP14349388 U JP 14349388U JP H0265341 U JPH0265341 U JP H0265341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- processing stage
- rotation processing
- transfer arm
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案のウエハ回転処理装置の実施
例としてのウエハ周辺露光装置の概略説明図、第
２図は、第１図のウエハ回転処理ステージの斜視
外観図、第３図は、第１図のウエハ回転処理ステ
ージにウエハ搬送アームがウエハを載置した状態
をしめす側断面図、第４図及び第５図は従来のウ
エハ回転処理装置の概略図である。 図中、Ｗ……ウエハ、１，１′……ウエハ搬送
アーム、２，２′……ウエハ回転処理ステージ、
１′ａ……ウエハ搬送アームの真空吸着孔、２′
ａ……ウエハ回転処理ステージの真空吸着孔、２
′ｂ……側面、１８……凹部を示す。
例としてのウエハ周辺露光装置の概略説明図、第
２図は、第１図のウエハ回転処理ステージの斜視
外観図、第３図は、第１図のウエハ回転処理ステ
ージにウエハ搬送アームがウエハを載置した状態
をしめす側断面図、第４図及び第５図は従来のウ
エハ回転処理装置の概略図である。 図中、Ｗ……ウエハ、１，１′……ウエハ搬送
アーム、２，２′……ウエハ回転処理ステージ、
１′ａ……ウエハ搬送アームの真空吸着孔、２′
ａ……ウエハ回転処理ステージの真空吸着孔、２
′ｂ……側面、１８……凹部を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空吸着孔を備えたウエハ回転処理ステージと
真空吸着孔を備えウエハの裏面において支持しウ
エハを該ウエハ回転処理ステージに搬送するウエ
ハ搬送アームとを有し、 ウエハ回転処理ステージの側面は、ウエハが前
記ウエハ処理ステージ上に載置された際にウエハ
搬送アームの退避スペースとなる凹部を有するこ
とを特徴とするウエハ回転処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988143493U JP2532708Y2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | ウエハ回転処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988143493U JP2532708Y2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | ウエハ回転処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265341U true JPH0265341U (ja) | 1990-05-16 |
| JP2532708Y2 JP2532708Y2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=31410371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988143493U Expired - Lifetime JP2532708Y2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | ウエハ回転処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2532708Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199245A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Yaskawa Electric Corp | プリアライナ装置を備えたウェハ搬送システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121930U (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 |
-
1988
- 1988-11-04 JP JP1988143493U patent/JP2532708Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121930U (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199245A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Yaskawa Electric Corp | プリアライナ装置を備えたウェハ搬送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2532708Y2 (ja) | 1997-04-16 |