JPH0359933A - 螢光表示管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は螢光表示管に係わジ、特にフェースガラスの反
射防止構造に関するものである。

〔従来の技術〕

通常、フェースガラス側から表示情報を観察するタイプ
の螢光表示管は、第４図に示すように例えばガラス基板
１上に導電層２．絶縁層３．アノード電極４１螢光体層
５．グリッド電極６およびフイラメン）７などの主要構
成部材を搭載した基板組立体８と、透光性フェースガラ
ス９にスペーサガラス１０を接着させたフェースガラス
組立体１１とを対向させ、７リツトガラス１２によシ封
着させた後、排気管１３から排気を行ない、内部を真空
状態に保持して排気管１３のチップオフを行なって製作
していた。オた、上述した透光性フェースガラス９の内
面側（真空側）には、静電気の帯電による螢光体層５の
発光不良を防止するために例えばネサ膜もしくはＩＴＯ
（Ｉｎｄｉｕｍ　−Ｔｉｎ　−０ｘｉｄｅ　）膜などの
透明導電膜１４が形成されている。ｉお、１５はリード
ビン、１６は導電パッドである。

このようにＳ威される螢光表示管は、ユーザが使用する
場合、フェースガラス９が透光性であることから、表示
領域以外に内部の構成部材が筏認できない程度に有色の
極めて濃いフィルタを用いて表示内容の鮮明度を出現さ
せるとともに外部光の反射による表示の視認性の低下を
軽減させていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の螢光表示管は、実際の使用におい
て、フィルタの使用が不可欠であるが、通常用いられる
低コストのプラスチック系のフィルタでは、紫外線、熱
線などによる退色や素材の脆化が発生するために例えば
公衆電話器などの屋外に常設される設備の表示素子とし
て使用できないという問題があった。

したがって本発明は、上述したプラスチック系フィルタ
の欠陥に起因する螢光表示管利用上の範囲の制約を改善
するためになされたもので、その目的は、紫外線や熱線
による退色や素材の劣化が極めて少ないフィルタ効果を
有する螢光表示管を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は透光性ガラスを通して表示情報を観察する螢光
表示管にかいて、この透光性ガラス面に耐熱性薄膜フィ
ルタを形成するものである。

〔作用〕

本発明における耐熱性薄膜フィルタは、紫外線や熱線力
どによる退色や素材の劣化を著しく低減させる。

〔実施例〕 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明による螢光表示管の一実施例を説明する
ためのフェースガラスの要部拡大断面図である。同図に
おいて、矢印Ａ方向から表示情報を観察する透光性フェ
ースガラス２０の真空容器の内側となる内面には金属も
しくは複合金属の低級酸化物からなる薄膜フィルタ２１
が形成されている。この薄膜フィルタ２１は、第２図に
示すようにスパッタリングターゲットとしてＡｔ板３０
にＷ酸化物３１を占有面積比で約２５％の割合で埋め込
んだ複合ターゲット３２を用いて通常のスパッタリング
法によシ透光性フェースガラス２０の真空容器の内側と
なる面上に約８０ＯＡ　の厚さに堆積してＡ　Ｌ　：　
ＷＯ３膜を形成する。この透光性フェースガラス２０に
薄膜フィルタ２１を形成したフェースガラスを用いて従
来と同様の螢光表示管製造工程によシ螢光表示管を製作
したところ、上記透光性フェースガラス２０面に薄膜フ
ィルタ２１を形成したフェースガラスの透過率は約３０
３ 嘩であった。この透過率の値は、フェースガラス２０に
薄膜フィルタ２１を形成した直後の値（約２２多）の約
１．５倍以内であシ、螢光表示管組立工程におけるフリ
ットガラス１２（第４図参照）の仮焼成工程（空気巾約
４１０℃）、封止工程（窒素巾約４５０℃）および排気
工程（真空巾約３５０℃）の各熱工程における透過率の
変化はそれぞれ僅かであｊｌ）　、Ａ　ｔ　：　Ｗ　Ｏ
３薄膜フイルタ２１は、螢光表示管製造の熱工程に対し
て充分な耐熱性を有することが判明した。着た、同時に
帯電防止機能が得られた。

なお、この薄膜フィルタの透過率は、Ａｔ板３０に対す
るＷ酸化物３１の占有面積比を変化させることにより（
酸化の程度を変化させることによシ）、５〜９０％の間
の任意の値を得ることが可能である。會た、内面に薄膜
フィルタ２１を形成したフェースガラス２０の表面から
見た外部光の反射率は、薄膜フィルタ２１の透過率によ
シ変るが、６〜２０％程度であり、通常の内面側に帯電
防止用透明導電膜１４を形成したフェースガラス９（第
４− ４図参照）の１３〜１４嘩に比較してほとんど遜色女＜
、条件によってはむしろ良い結果が得られた。

第３図は本発明による螢光表示管の他の実施例を説明す
るための７エースガラス基板の要部拡大断面図である。

同図に訃いて、矢印Ａ方向から表示情報を観察する透光
性フェースガラス２０の真空容器の内側となる内面には
誘電体（Ｚｒ０２）をスパッタリング法によシ約８０Ｏ
Ａの厚さに堆積して誘電体薄膜２２が形成され、さらに
この誘電体薄膜２２上にはＡｔ板にＴｉ酸化物の小片を
占有面積比で約２５嘩の割合で埋め込んだ複合ターゲッ
トを用いてスパッタリング法によう約６０ＯＡの厚さの
Ａ　Ｌ　：　Ｔ　ｉ　Ｏｚ膜２３が堆積されて透光性フ
ェースガラス２０面上に誘電体薄膜２２とＡｔ：　Ｔ　
ｉＯＺ膜２３との２層構造からなる薄膜フィルタ２４が
形成されている。この２層構造の薄膜フィルタ２４にお
いても、その透過率はＡ４板に対するＴｉ酸化物の占有
面積比を変化させることにより、５〜９０％の間の任意
の値を得ることが可能であり、ｔた、このフェースガラ
ス２ｏの表面側から見た外部光の反射率は５〜６％と低
減させることができるとともに反射率のばらつきを最小
限に抑えることができた。

このように透光性フェースガラス２０の内面に薄膜フィ
ルタ２１．２４を形成した螢光表示管では、従来の帯電
防止用透明導電膜１４（第４図参照）を形成した螢光表
示管と比較すると、高温度（＋８５℃）での螢光体層５
の輝度劣化がほとんどなく、螢光表示管自体の耐環境性
を大幅に向上させることができた。

寸た、発明者らの実験によれば、上記フェースガラス２
００代シに通常のブラウン管に用いるノングレアガラス
を用しることによシ、上述した各実施例におして、反射
率をさらに４０〜５０％程度に低減が可能となった。さ
らに通常用いられているようにフェースガラス２０の表
面側にＭｇＦ２をコーティングすることによシ、内面側
に薄膜フィルタ２１もしくは薄膜フィルタ２４を形成し
たフェースガラス２００反射率の内のフェースガラ２２
０表面からの反射率成分約４％を、約１．５嘩に低減、
すなわち上記各実施例において、さらに約２．５％程度
の反射率を低減させることができた。

豊た、薄膜フィルタの材料としてＳｔもしくはＳｌの低
級酸化物（ＳｉＯｘ）　を用いることにょｂ１ガラス基
板側から表示情報を観察する構成の螢光表示管において
も、ガラス基板の内面への薄膜フィルタの形成が可能で
ある。なお、ガラス基板側から表示情報を観察する構成
の螢光表示管では、その構造上、薄膜フィルタは帯電防
止機能を兼用する必要性がないので、薄膜フィルタは真
空容器の外側となるガラス基板面に形成し°Ｃも良い。

なか、上述した実施例においては、耐熱導電性薄膜フィ
ルタとして金属もしくは複合金属の低級酸化物のみにつ
いて説明したが、金属もしくは複合金属の低級窒化膜に
おいても導電性を有することが知られているので、これ
らについても螢光表示管の製造上の熱工程に耐え得るも
のであれば、上記実施例で説明した帯電防止用膜を兼用
する薄膜フィルタとして用いることが可能である。さら
に上述した螢光表示管の製造工程における熱工程に耐え
得るものであれば、金属もしくは複合金属の炭化物も薄
膜フィルタとして用いることができることは言う笠でも
ない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明による螢光表示管は、表示情
報を観察する透光性ガラス面に耐熱性薄膜フィルタを形
成したことにより、従来螢光表示管の利用が阻せれてい
た戸外での螢光表示管の使用が可能となり、螢光表示管
の利用範囲の拡大とともに螢光表示管自体の耐環境性を
大幅に向上できるなどの極めて優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による螢光表示管の一実施例を説明する
ためのフェースガラスの要部拡大断面図、第２図（ａ）
、　（ｂ）は耐熱導電性薄膜フィルタを形成する複合タ
ーゲットを示すその平面図、そのＢ−Ｂ’線断面図、第
３図は本発明による螢光表示管の他の実施例を説明する
ためのフェースガラスの要部拡大断面図、第４図は従来
の螢光表示管を示す断面図である。 ２０・・・・透光性フェースガラス、２１・・・・薄膜
フィルタ、２２・・・・誘電体薄膜、２３◆・・・Ａ　
Ｚ　：　Ｔ　ｓ　Ｏ２膵、２４・・・・薄膜フィルタ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透光性ガラスを通して表示情報を観察する螢光表示管に
   おいて、上記透光性ガラス面に耐熱性薄膜フィルタを形
   成したことを特徴とする螢光表示管。