JPH0359935A - モータ直結形回転対陰極 - Google Patents

モータ直結形回転対陰極

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JPH0359935A
JPH0359935A JP19535689A JP19535689A JPH0359935A JP H0359935 A JPH0359935 A JP H0359935A JP 19535689 A JP19535689 A JP 19535689A JP 19535689 A JP19535689 A JP 19535689A JP H0359935 A JPH0359935 A JP H0359935A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cathode
rotating
motor
rotating shaft
bearings
Prior art date
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Pending
Application number
JP19535689A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Komatsubara
小松原 岳雄
Akisuke Takahashi
高橋 章祐
Hideaki Uematsu
上松 英明
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NIPPON X-RAY KK
Original Assignee
NIPPON X-RAY KK
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Publication date
Application filed by NIPPON X-RAY KK filed Critical NIPPON X-RAY KK
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Publication of JPH0359935A publication Critical patent/JPH0359935A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は回転対陰極表面に電子線を照射してX線を発生
させるモータ直結形回転対陰極に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、銅、クロム、タングステン等から構成した回転対
陰極を高速で回転させ、電子線を照射してX線を発生さ
せる装置が医療用や工業用に使用されている。回転対陰
極を高速で回転させているのは電子線照射による局部的
な加熱による温度上昇を防止するためである。
医療用としては、容器内にX線管を収納し、外部からコ
イルで磁性体を回転させるか、モータ直結により回転対
陰極を回転させ、電子線を照射してパルス的にX線を発
生させるようにした非水冷形の回転対陰極X線管が提案
されている。
また、工業用としては、ベルト駆動で高速回転する回転
対陰極の内面を水冷し、これに電子線を照射してX線を
発生するようにした水冷形の回転対陰極X線管が提案さ
れている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、医療用の回転対陰極X線管は、非水冷形
であるためにX線出力が弱く、出力もパルス的にしか取
り出せないという問題があった。
また、従来の工業用の回転対陰極X線管は、ベルト駆動
であるために、偏荷重による回転軸の振動やプーリの僅
かな軸ずれによるベルトの振動が発生し、組み合わされ
た測定光学系の軸ずれの原因となるという問題があり、
さらにベルトの張力により回転対陰極X線管の回転軸が
直角方向に力を受け、そのため玉軸受がラジアル荷重を
受けて軸受の寿命を短くするとともに、水シールや真空
シールの寿命にも影響を与えるという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためのもので、回転対陰極
の回転軸の振動がなく、軸受の寿命を延長し、水漏れの
可能性を大幅に少なくすることができるモータ直結形回
転対陰極を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、真空室内に配置され、内面を冷却水により冷
却された回転対陰極に対して電子線を照射し、X線を発
生させるようにした回転対陰極X線発生装置において、
回転対陰極回転軸と同軸上にモータを装着し、回転対陰
極を直接モータ駆動するようにしたことを特徴とする。
〔作用〕
本発明は、ベルトを介することなく回転対陰極の回転軸
を直接モータ駆動することにより、振動を少なくし、か
つ回転軸に直角な力が作用するのを防止し、その結果軸
受にラジアル荷重がかかるのを防止することができるの
で、軸受の寿命を延長し、さらに真空シール、水シール
の寿命を延ばすことができる。
〔実施例〕
以下、実施例を説明する。
第1図は本発明のモータ直結形回転対陰極の実施例を示
す図である。図中、1は回転対陰極、2は磁気シール、
3.4は軸受、5はモータ、6は水シール、7は真空チ
ャンバ、8は回転センサ、9はケーブル、10は回転軸
、11は冷却水導管、12は流入口、13は排水口、■
4は陰極、15は窓、16は電子線、17はX線である
図において、真空チャンバ7内は図示しない真空排気装
置で常時排気され、チャンバ内に銅、クロム、タングス
テン等からなる回転対陰極lが設けられており、回転対
陰極周側面に対向して陰極14が配置されている。また
、真空チャンバ7にはX線取り出し用のベリリウム等か
らなる窓15が設けられている。回転対陰極1に接続さ
れた回転軸10にはモータ5として、例えば誘導電動機
が軸受3.4の間に装着され、モータの回転子が回転対
陰極の回転軸に直結されている。この場合、回転対陰極
の回転軸そのものをモータの回転子とすることも可能で
ある。そしてケーブル9を通して通電し、モータ5を駆
動することにより回転子と直結した回転軸10が直接駆
動される。対陰極の回転が低速となると対陰極表面が溶
解してしまうので、これを防止するために回転センサ8
で回転速度を検出し、所定速度より低下した場合には装
置を停止するようになっている。軸受3.4の部分は大
気圧であり、真空チャンバ内との間は磁気シール2によ
り真空針じされ、チャンバ内は常に高真空に維持されて
いる。冷却系は、図の矢印Aから冷却水が導入され、回
転軸10と冷却水導管11との間を通して回転対陰極1
の内側の面を冷却し、冷却水導管11を通って矢印Bで
示すように排出される。なお、モータと矢印Aで示され
ろ水道人口との間は水シール6によりシールされている
。また、流入口12から冷却水を導き、磁気シール2、
モータ5を冷却して排水口13から排出して冷却するこ
とも可能になっている。
このような構成において、冷却系により回転対陰極1、
磁気シール2、モータ5を冷却し、陰極14に負の高電
圧を印加して回転対陰極■の周側面に電子線を照射する
と、回転対陰極周側面からはX線が発生してその一部は
窓15より外部へ取り出すことができる。このとき、回
転軸10は軸受3と4間に設けられたモータ5により直
接駆動されているのでベルト駆動の場合のように偏荷重
がかかることがなく、回転軸の振動の発生を防止するこ
とができる。また、回転軸に直角に荷重がかかることが
ないので軸受3.4に対してラジアル荷重がかからず、
軸受の寿命を大幅に延長するとともに、磁気シール、水
シールの寿命を延ばすことができる。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、水冷形の回転対陰極にお
いてモータにより回転対陰極の回転軸を直接駆動するの
で、ベルトが無くなるため当然ベルトのバタつきによる
振動がなくなって振動が減少し、また回転軸の偏荷重が
なくなって回転軸自体の振動を小さくでき、さらに、回
転軸に対してラジアル荷重がかかることがないので、軸
受の寿命や真空シール、水シールの寿命を大幅に延ばす
ことができる。また、ベルトを使用しないために外部モ
ータが不要となり、装置周辺のスペースが有効利用でき
るとともにベルトの危険防止対策が不要となり、回転対
陰極と陰極を装着された真空チャンバの設置状態が容易
に変えられ、X線を任意の方向に取り出すことが可能と
なる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のモータ直結形回転対陰極の一実施例を
示す図である。 1・・・回転対陰極、2・・・磁気シール、3.4・・
・軸受、5・・・モータ、6・・・水シール、7は真空
チャンバ、14・・・陰極、15・・・窓、16・・・
電子線、17・・・X線。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空室内に配置され、内面を冷却水により冷却さ
    れた回転対陰極に対して電子線を照射し、X線を発生さ
    せるようにした回転対陰極X線発生装置において、回転
    対陰極回転軸と同軸上にモータを装着し、回転対陰極を
    直接モータ駆動するようにしたことを特徴とするモータ
    直結形回転対陰極。
JP19535689A 1989-07-27 1989-07-27 モータ直結形回転対陰極 Pending JPH0359935A (ja)

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JP19535689A JPH0359935A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 モータ直結形回転対陰極

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JP19535689A JPH0359935A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 モータ直結形回転対陰極

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JPH0359935A true JPH0359935A (ja) 1991-03-14

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JP19535689A Pending JPH0359935A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 モータ直結形回転対陰極

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004104647A1 (de) * 2003-05-22 2004-12-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Einstellbares pinhole
JP2007217153A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2008156024A (ja) * 2006-12-21 2008-07-10 Nisca Corp 給紙装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61151956A (ja) * 1984-12-25 1986-07-10 Toshiba Corp 回転陽極型x線管

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61151956A (ja) * 1984-12-25 1986-07-10 Toshiba Corp 回転陽極型x線管

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004104647A1 (de) * 2003-05-22 2004-12-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Einstellbares pinhole
JP2007217153A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2008156024A (ja) * 2006-12-21 2008-07-10 Nisca Corp 給紙装置

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