JPH0360008U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0360008U JPH0360008U JP12145389U JP12145389U JPH0360008U JP H0360008 U JPH0360008 U JP H0360008U JP 12145389 U JP12145389 U JP 12145389U JP 12145389 U JP12145389 U JP 12145389U JP H0360008 U JPH0360008 U JP H0360008U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- laser beam
- laser
- position detection
- detection element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図は本考案の実施例を示すものであつて、第１
図は電子部品の計測装置の斜視図、第２図は受光
部の斜視図、第３図は従来手段による観察中の側
面図である。 １……レーザ装置、３……受光部、４……集光
素子、５……位置検出素子、６……遮光部材、７
……スリツト。
図は電子部品の計測装置の斜視図、第２図は受光
部の斜視図、第３図は従来手段による観察中の側
面図である。 １……レーザ装置、３……受光部、４……集光
素子、５……位置検出素子、６……遮光部材、７
……スリツト。
Claims (1)
- 電子部品に向つてレーザ光を照射するレーザ装
置と、電子部品に反射されたレーザ光を受光する
受光部とを備え、この受光部を、集光素子と、こ
の集光素子に集光されたレーザ光が入射する位置
検出素子と、この位置検出素子の前部にあつて、
上記電子部品の計測エリアに反射されたレーザ光
だけを通過させるスリツトが形成された遮光部材
とから構成したことを特徴とする電子部品の計測
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12145389U JPH0360008U (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12145389U JPH0360008U (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360008U true JPH0360008U (ja) | 1991-06-13 |
Family
ID=31669485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12145389U Pending JPH0360008U (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0360008U (ja) |
-
1989
- 1989-10-17 JP JP12145389U patent/JPH0360008U/ja active Pending