JPS62199664U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62199664U JPS62199664U JP8913786U JP8913786U JPS62199664U JP S62199664 U JPS62199664 U JP S62199664U JP 8913786 U JP8913786 U JP 8913786U JP 8913786 U JP8913786 U JP 8913786U JP S62199664 U JPS62199664 U JP S62199664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light beam
- inspected
- lens system
- condensing lens
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である表面欠陥検
査装置の概略の正面図、第２図はその装置の概略
の斜視図、第３図および第４図はアルミ圧延板の
光学的特性についての説明図、第５図は正反射光
受光方式による従来例の概略の斜視図、第６図お
よび第７図は第５図の従来例による受光の状態を
示す説明図、第８図は正反射光・散乱光の両方を
受光する方式による従来例の概略の斜視図である
。 １７…球面集光レンズ、１７ａ…スリツト、１
８…レーザー発振器、１９…回転ミラー、２０…
ミラー、２１…光電子増倍管。
査装置の概略の正面図、第２図はその装置の概略
の斜視図、第３図および第４図はアルミ圧延板の
光学的特性についての説明図、第５図は正反射光
受光方式による従来例の概略の斜視図、第６図お
よび第７図は第５図の従来例による受光の状態を
示す説明図、第８図は正反射光・散乱光の両方を
受光する方式による従来例の概略の斜視図である
。 １７…球面集光レンズ、１７ａ…スリツト、１
８…レーザー発振器、１９…回転ミラー、２０…
ミラー、２１…光電子増倍管。
Claims (1)
- 被検査体表面に対して垂直に光線を照射する投
光手段と、前記光線の通過を許容する隙間を一部
に有し被検査体表面での上記光線の散乱光を所定
位置に集光する集光レンズ系と、この集光レンズ
系により集光した光を受光して表面欠陥の有無を
検知する信号を出力する受光手段とを備えた表面
欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8913786U JPS62199664U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8913786U JPS62199664U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199664U true JPS62199664U (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=30947848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8913786U Pending JPS62199664U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199664U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292770A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Siemens Ag | 平滑面における点状、線状又は面状の欠陥の検出のための光センサ |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP8913786U patent/JPS62199664U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292770A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Siemens Ag | 平滑面における点状、線状又は面状の欠陥の検出のための光センサ |
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