JPH02101206U - - Google Patents

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JPH02101206U
JPH02101206U JP1044789U JP1044789U JPH02101206U JP H02101206 U JPH02101206 U JP H02101206U JP 1044789 U JP1044789 U JP 1044789U JP 1044789 U JP1044789 U JP 1044789U JP H02101206 U JPH02101206 U JP H02101206U
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JP
Japan
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semiconductor device
displacement meter
laser displacement
setting jig
vertical laser
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JP1044789U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例に係るリード曲
がり検出装置の構成を示す図、第２図は本考案の
第２の実施例に係るリード曲がり検出装置の構成
を示す図、第３図は従来のＶ型レーザ変位計を使
用したリード曲がり検出装置の構成を示す図、第
４図は垂直型レーザ変位計を使用した従来のリー
ド曲がり検出装置の構成を示す図である。 １；セツト治具、２；半導体装置、３；リード
、４；Ｖ型レーザ変位計、５；レーザ光、６；垂
直型レーザ変位計、７；凹部、８；段部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 検査対象である半導体装置を所定の検査位置に
    セツトするセツト治具と、このセツト治具にセツ
    トされた半導体装置のリード直上からレーザ光を
    照射してその反射光に基づいてリード曲がりを検
    出する垂直型レーザ変位計とを備えた半導体装置
    のリード曲がり検出装置において、前記セツト治
    具は、前記レーザ光が照射される領域の面を前記
    垂直型レーザ変位計の有効動作範囲を超える位置
    まで前記垂直型レーザ変位計から離間させたもの
    であることを特徴とする半導体装置のリード曲が
    り検出装置。
JP1044789U 1989-01-31 1989-01-31 Pending JPH02101206U (ja)

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JP1044789U JPH02101206U (ja) 1989-01-31 1989-01-31

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JPH02101206U true JPH02101206U (ja) 1990-08-13

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