JPH036285A - 合成樹脂研磨材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は合成樹脂研磨材に関する。更に詳しくは、水性
媒体中で懸濁重合させて得たゴム変性不飽和ポリエステ
ル樹脂からなる合成樹脂研磨材に関する。

〔従来の技術及びその問題点］ ＩＣやＬＥ１）等の半導体モールド成型品等（以下、単
にモールド成型品と称す）は、成型時にモールド樹脂の
パリが発生するが、この樹脂パリは通常、乾式法または
湿式法によるブラスト加工研磨によって除去されている
。

ブラスト加工研磨材にはアルミナ、ガラスピーズ、クル
ミ殻、合成樹脂等各種の素材からなる粒子が使用されて
いる。而して、上記各種の素材からなる研磨材粒子のう
ち、特に合成樹脂製のものは、モールド樹脂の材質に応
じて適当な硬度のものを選択できるという利点があるた
め、モールド成型品のブラスト加工研磨には、この合成
樹脂研磨材が多用されている。

しかし、モールド成型品のブラスト加工研磨にこの合成
樹脂研磨材を用いる場合、次のような問題があった。

即ち、従来の合成樹脂研摩材には、注型等によって硬化
させた合成樹脂を粗粉砕して得たものであるので、形状
が多角形で、しかも多数の鋭角の突起を有していた。

従って、このような形状の研磨材を使用して、ブラスト
加工研磨を行うと、モールド成型品に高速噴射された際
、その衝撃によって多数の鋭角の突起が欠損し、モール
ド成型品に付着して製品の美観を損ねるという問題があ
った。更には、上記鋭角の突起の欠損によって、研磨材
が早期に小粒化して当初の研磨能力を持続することが出
来ず、短期間のうちに新しい研磨材を補給せざるを得な
いといった問題があった。

上記の如き、多角形状の合成樹脂研磨材が抱えていた問
題を解決すべく、本発明者らは、先に不飽和ポリエステ
ル樹脂を水性媒体中で懸濁重合させて得た真球状の合成
樹脂研磨材を捷藁した（特開昭６３−３５１）。しかし
、本発明者らのその後の研究によれば、上記真球状の不
飽和ポリエステル樹脂研磨材は、これを水でスラリー化
してこのスラリーをモールド成型品に高速噴射する湿式
ブラスト加工研摩の場合には、従来の多角形状の合成樹
脂研磨材に比べてその形状に起因する利点を隋所に認め
ることが出来た。

しかしながら、最近の半導体分野における技術革新はめ
ざましく、モールド材の高級化、高品質化とともに半導
体の高集積化が長足の勢いで進行している。これに伴っ
てリードフレームのビン間距離はますます狭くなる傾向
にあり、成型時に発生した樹脂パリの強度は飛躍的に増
大している。

ビン間距離の縮小によって、従来と同し径の研磨材粒子
を使用するとビン間への詰まりを生じるため、ビン間距
離よりも小さな径の研磨材粒子を使用せざるを得なくな
るが、粒子の小径化は当然の事ながら研磨力の低下を招
くため、研磨力の更なる向上を余儀なくされているのが
実情である。

湿式プラスト加工研磨によって、より強固となった樹脂
パリを、より小さな粒径の研磨材を使用して効率良く除
去するための一つの手段として、モールド成型品への噴
射圧力を高めるという方法がある。しかし、この方法に
おいて採用できる最大噴射圧力は、モールド成型品表面
の…傷許容上限に制限される。また、噴射圧力の上昇は
、殆んどの場合において研磨材粒子の早期破壊を招くた
め必ずしも好ましい方法とはいえない。

また、もう一つの手段として、樹脂研磨材粒子にアルミ
ナやガラスピーズ等の無機質充填材を含有させることに
よって該研磨材粒子の質量と表面硬度を増大させ、噴射
による衝撃力を高める方法がある。しかし、上記無機充
填材を含有した樹脂研磨材粒子の内部組織は明らかに不
均質であり、耐衝撃性能の著しい低下は避けられない。

他方、研磨材粒子を直接モールド成型品に高速噴射する
乾式ブラスト加工研磨の場合、研磨材粒子及びモールド
成型品は共に、湿式ブラスト加工研磨に比べてはるかに
大きな衝撃を受けることになる。このため、研磨材粒子
の破壊速度やモールド成型品の表面の損傷は、従来の多
角形状の樹脂研磨材に比べれば大幅に改善されてはいる
ものの、未だ満足できる状況には至っていない。

〔問題を解決するための手段〕

本発明者らは上記の問題を解決するため鋭意検討を重ね
た結果、モールド成型品のブラスト加工研磨材として、
特定の添加物によって変性した特定の合成樹脂粒子を使
用すれば、モールド成型品の美観を損ねることなく、効
果的に樹脂パリを除去することが可能であり、しかも従
来の合成樹脂研磨材に比べてはるかに勝れた耐衝撃性を
付与できることを見い出し、本発明を完成するに至った
。

即ち、本発明は、水性媒体中で懸濁重合させて得たゴム
変性不飽和ポリエステル樹脂からなることを特徴とする
、新規な合成樹脂研磨材を提供するものである。

〔発明を実施するための具体的条件］ 以下、本発明の詳細な説明する。

本発明の研磨材が対象とする被研磨物は、上記説明の通
り、主としてモールド成型品である。而して、この成型
に使用される合成樹脂は、その多くがエポキシやフェノ
ール等の熱硬化型樹脂であり、通常はこれらの樹脂に強
度の向上や線膨張係数の低下を目的として無水ケイ酸等
の無機充填材を配合して使用される。従って、上記エポ
キシやフェノール等の樹脂をベースとしたモールド成型
品のパリを、ブラスト加工研磨によって除去するには、
ベースとなる樹脂の硬度に対応したものでなければなら
ない、また、良好な研磨性能を有するものでなければな
らない。更に、研磨材粒子が容易に破壊されないものが
好ましい。

本発明の目的とするところは、前述の如く、モールド成
型品の樹脂パリを効果的に除去することのできる新規な
研磨材を提供することにある。

通常、モールド成型品に発生する樹脂パリは、モールド
樹脂と同じ組成であり、モールド樹脂の選定は、成型品
の用途、性能、コスト等を勘案して決定される。

即ち、モールド成型品に発生した樹脂バリの機械的強度
は、その発生履歴、組成、形状、発生部位等において千
差万別であり、これを効率良く除去するための研磨材粒
子にもまた、それに相応した微妙な硬度と靭性のバラン
スが要求される。

例えば、ビン間距離の狭い多ピンタイプのＩＣやＬＳＩ
　フレームに発生した強固なダムバリやフランシュバリ
に対しては、研磨材粒子の靭性よりはむしろその硬度の
向上に重点を置くべきであり、逆に、ＬＥＤの封止樹脂
表面等に発生した薄い微小パリに対しては、封止樹脂表
面の損傷を極力抑制する必要性から靭性の向上に重点を
置く場合が多い。

上記の如く、除去の対象となる樹脂パリの状態を十分に
観察した上で、使用する研磨材の強度を判断すべきであ
り、不飽和ポリエステル樹脂にゴム質重合体を添加して
耐衝撃性を向上させる際に通常は考慮される、ゴム質重
合体の種類と添加量、ゴム粒子の粒径、ゴム相と連続相
の構造様式、グラフト比率、ゴム相の連続相への溶解等
の各事項のうち、ゴム質重合体の種類と添加量以外は厳
密に規定しなくても良い、ブラスト加工研磨において、
不飽和ポリエステル樹脂研磨材粒子に要求される硬度と
靭性のバランスは、通常、添加するゴム質重合体の種類
と添加量を適宜組み合わせることによって、はぼ満足で
きる程度に調整することが出来る。

本発明者らの研究によれば、このような研磨材は、ゴム
質重合体の存在下に、不飽和ポリエステル樹脂を水性媒
体中で懸濁重合させて得た、真球状粒子が最も好ましい
。

本発明の研磨材は通常衣の方法によって得ることができ
る。

即ち、まず不飽和二塩基酸とグリコール化合物とをエス
テル化反応させて不飽和エステルとする。

これを重合性ビニルモノマーに加えて混合し、溶解させ
たのち、この溶液にゴム質重合体を加えて十分に分散さ
せる。これを重合開始剤の存在下に、水性媒体中で懸濁
重合させれば球状の不飽和ポリエステル樹脂を含んだス
ラリーが得られるので、このスラリーを遠心分離機等に
より濾過すれば本発明の研磨材を得ることができる。

尚、この研磨材は濾過されたままでは水分が付着してい
るので、乾式研磨材として使用する場合には当然乾燥す
る必要がある。また、この研磨材は篩分などの方法によ
り粒径を調整して使用する場合もある。　本発明におい
ては前述の通り、まず不飽和二塩基酸とグリコール化合
物とから不飽和エステルを生成する必要がある。

不飽和二塩基酸としては例えば無水マレイン酸、イタコ
ン酸、シトラコン酸、メサコン酸、塩素化マレイン酸の
如きα、β−不飽和二塩基酸等が好適であり、これらの
一種以上が使用される。

更に、上記不飽和二塩基酸に無水フタル酸、イソフタル
酸、テレフタル酸、モノクロルフタル酸、ジクロルフタ
ル酸、トリクロルフタル酸、ヘット酸、テトラクロル無
水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、エンドメチレ
ンテトラヒドロ無水フタル酸、アジピン酸、コハク酸、
セパチン酸、グルタル酸、ピリジン酸等の如き飽和二塩
基酸を適量加えることも何等差支えない。

他方、グリコール化合物としては、エチレングリコール
、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプ
ロピレングリコール、トリエチレングリコール、１．３
プロピレングリコール、２．３ブチレングリコール、１
．４ブチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ヘ
キシレングリコール、オクチレングリコール、ビスフェ
ノールＡジオキシプロピルエーテル付加物、水添ビスフ
ェノールＡ１あるいはエチレンオキシド、プロピレンオ
キシド、ブチレンオキシドなどのアルキレンオキシド等
が好適であり、必要に応じてトリメチロールフロパン、
グリセリンなどの多価アルコールを併用しても差支えな
い。

不飽和二塩基酸とグリコール化合物のエステル化反応は
通常公知の方法で行われる。

次に、この不飽和エステルに重合性ビニルモノマーを加
えて十分に混合したのち、この混合液にゴム質重合体を
添加して高剪断力下に攪拌し、ゴム質重合体を微粒化す
るとともに混合液中に均一に分散させる。

本発明で使用可能な重合性ビニルモノマーとしては、例
えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、
ジアリルフタレート、酢酸ヒニル、メチルメタアクリレ
ート、グリシジルメタアクリレートなどが挙げられる。

本発明においては不飽和エステルと重合性ビニルモノマ
ーの混合割合は、不飽和エステル及び重合性ビニルモノ
マーのそれぞれの種類または要求する研磨材の性能によ
り大きく異なるため特に限定はできないが、通常は不飽
和ポリエステル１００重合部に対して重合性ビニルモノ
マー１０〜１５０重量部、好ましくは２０〜１００重量
部である。

本発明において使用可能なゴム質重合体としては、例え
ば、ブダジエンゴム、スチレン・ブダジェン共重合ゴム
、スチレン・ブダジェン・スチレン共重合ゴム、ブダジ
エン・アクリロニトリル共重合ゴム、イソプレンゴム、
クロロプレンゴム。

などであり、場合によっては上記ゴムと共重合可能なモ
ノマー、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル
アミド、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル等
を少量添加しても差支えない。

また、上記ゴム質重合体とは別に、２．４または２−６
−　）ルイレンジイソシアネートや４，４°−ジフェニ
ルメタンジイソシアネートに代表されるイソシアネート
基台′４を物質や、イソシアネート基台を物質とジオー
ル又は／及びポリオールとの反応生成物で、未反応のイ
ソシアネート基の残存しているものを使用しても、上記
ゴム質重合体と使用したものに比べて遜色のない結果を
得ることができる。

本発明におけるゴム質重合体の添加量は使用するゴム質
の種類にもよるが、通常不飽和エステルと重合性ビニル
モノマーの合計１００容積部に対し、３〜２０容積部、
好ましくは５〜１５容積部である。

添加量が３容積部未満では添加の効果が薄く、逆に２０
容積部を越えると不飽和ポリエステル樹脂本来の剛性が
低下するため好ましくない。

添加したゴム質重合体の微粒化と分散は、通常デイスパ
ー、三本ロール等を使用して行われる。

微粒化したゴム質重合体の最適粒子径は通常２〜５μｍ
程度であるが、本発明においては前述したように上記ゴ
ム粒子径を厳密にコントロールする必要はない０分散し
たゴム粒子が二次凝集することなく安定化されていれば
、粒子径が上記最適範囲外であっても、最終的に不飽和
ポリエステル樹脂の持つ剛性を生かしつつ耐衝撃性を向
上させることができる。

本発明においては、ゴム質重合体の添加は、不飽和エス
テルと重合性ビニル七ツマ−を混合した後でも構わない
が、不飽和エステルの粘性が大きい場合には、予め重合
性とニルモノマーに添加して高剪断力下に十分に微粒化
し分散させた後、不飽和エステルと混合するか、または
、使用する重合性ビニルモノマーの一部を分取しておい
てこれに分散させたのち、不飽和エステルと残りの重合
性ビニルモノマーとの混合液に添加するか何れかの方法
が好ましい。

尚、本発明においてはゴム質重合体の分散粒子を安定化
させるために、適当な安定助剤を少量添加して差支えな
い。

本発明では、次に重合開始剤を加えて十分混合した後、
これを十分攪拌されている水性媒体中に滴下させ懸濁重
合させる。

本発明では、重合開始剤はメチルエチルケトンパーオキ
サイド、ジクミルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキ
サイド、ラウロイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオ
キサイドなどの有機過酸化物、アゾビスイソブチルニト
ル、アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等の
アゾ化合物、過酸化水素、過硫酸カリウムなどの水溶性
過酸化物等、通常公知のものが使用される。尚、この添
加量は原料である不飽和二塩基酸、グリコール化合物及
び重合性ビニルモノマーやゴム質重合体の種類、重合の
条件などによって若干異なるが、上記各原量の合計Ｎ１
００重量部に対して０．１〜１０重量部が好適である。

また、必要に応じてナフテン酸コバルト、Ｎ、Ｎ’−ジ
メチルアニリン、オクテン酸コバルトなどの硬化促進剤
を上記各原料の合計ｉ　ｔｏｏ重量部に対して、０．１
〜２．０重量部加えることは差支えない。

本発明では水系媒体では水そのものでも差支えないが、
懸濁重合物の重合中における粒子の変形、過度の成長、
或いは粒子の二次凝集の防止などのため懸濁安定剤を適
量添加したものが好ましい。

懸濁安定剤は特に限定されるものではな（、公知のもの
が使用できる。即ち、例えばポリビニルアルコール、メ
チルセルロース、ヒドロキシセルロース、ポリアクリル
酸のような水溶性高分子物質、酸化マグネシウム、リン
酸カルシウム等の水不溶性の無機塩、アルキルベンゼン
スルホン酸ソーダ、ポリオキシエチレンノニルフェノー
ルエーテル等の界面活性剤等が単独又は併用の形で用い
られる。そしてその添加量は上記原料の種類、重合の条
件等によって異なるが、上記原料の合計量１００重量部
に対して０．１〜３０重量部の範囲が好ましい。

本発明における懸濁重合時の重合温度、重合時間、水性
媒体の攪拌条件等は原料の種類や量、希望する重合物の
粒子径などによって適宜選択されるが、通常公知の方法
によって実施される９例えば重合温度は重合開始剤の種
類や添加量等によって変わるが通常的２０〜１００℃、
好ましくは６０〜９０℃の範囲であり、重合時間は通常
約２〜２０時間、好ましくは４〜１５時間の範囲におい
て採用させる。

更に、重合は一般の懸濁重合と同様に窒素、二酸化炭素
等の不活性ガス雰囲気にシールされた状態で、水性媒体
を攪拌しながら実施するのが好ましい。

Ｂ濁重合によって得られる本発明の不飽和ポリエステル
樹脂の形状は、微小な球状であるがその粒子径や粒径分
布は添加する懸濁安定剤の種類や量、攪拌速度、不飽和
ポリエステルと重合性ビニルモノマー及びゴム質重合体
との混合液の添加方法等によって、ある程度調整するこ
とができる。

更に、本発明では研磨材の研磨力を強化させる目的で、
不飽和エステルと重合性ビニルモノマー及びゴム質重合
体との混合液に、適量の無機充填材を加えて重合させる
こともできる。

無機充填材は研磨材の研磨力を強化させることのできる
ものであれば何れのものでも使用可能であるが、通常、
無水珪酸、酸化チタン、酸化ジルコニウム、炭酸カルシ
ウム、クレー、アスベスト、タルク、ガラスピーズ等が
好適に使用される。

無機充填材の添加量は、不飽和ポリエステルと重合性ビ
ニルモノマーの合計量１００重量部に対し、５〜１００
重量部が適量である。添加量が５重量部未満では研磨力
強化の効果が薄く、逆に１００重量部を越えると研磨材
が研磨時に破壊され易くなって、研磨材の微粉化傾向が
大きくなるのみならず、研磨時に被研磨物を損傷させる
場合もあるため好ましくない。

また、無機充填材を添加する際、必要に応じて分散剤、
沈降防止剤、各種カップリング荊等を添加したり、或い
は無機充填材の添加の回加にかかわらず、帯電防止剤、
界面活性剤等を不飽和ポリエステルと重合性ビニルモノ
マー及びゴム質重合体の混合液に添加することも可能で
ある。

Ｃ実施例及び比較例〕 以下、実施例及び比較例によって本発明を具体的に説明
する。尚、以下において部は明記しない限り全て重量部
を示す。

実施例１ 不飽和エステルをスチレンモノマーに溶解させた市販の
液状不飽和ポリエステル樹脂（三井東圧化学帽製　商品
名ニスター１ｌ−２３５４）　８８部に、予めスチレン
モノマー７部に液状ブタジェン・アクリロニトリルゴム
（宇部興産■製　商品名ＨＹＣＡＲＶＴＢＮＸ　１３０
０Ｘ２３）　５部を溶解させた溶液を加えて、ゴム質重
合体の含有率を約５．５容量％に調整したのち、デイス
パーを用いて高剪断力下に攪拌し、ゴム質重合体を十分
に微粒化して分散させた。

次いで、この混合液に重合開始剤としてアゾビスイソブ
チロニトリル１．５部を加え再び十分に混合した。

内容積５０２の攪拌機、ガス吹き込み管、還流コンデン
サーを備えた重合槽に、イオン交換水３００部に懸濁安
定剤としてポリビニルアルコール（電気化学工業■製　
商品名デンカポバールＢ−２０Ｆ　）を２部溶解させた
水溶液を仕込み、水性媒体として撹拌下に、この水性媒
体中に上記重合開始剤を添加した混合液を２分間で滴下
し、液滴として分散させ、７５°Ｃで２時間次いで８５
°Ｃで３時間懸濁重合を行なった。該重合中は１４２部
ｗｉｎの窒素ガスを重合槽内に流し、窒素ガス雰囲気中
で重合を行なった。

重合完了後、生成したゴム変性不飽和ポリエステル樹脂
粒子を含むスラリーを小型遠心分離器にて分離し、十分
に水洗したのち、８０″Ｃで５時間乾燥して平均粒子径
１５０μｍの淡黄色不透明な真球状粒子からなる研磨材
■を得た。

実施例２ 液状ブタジェン・アクリロニトリルゴムの使用量を１０
部とし、液状不飽和ポリエステル樹脂とスチレンモノマ
ーの使用量を夫々８３．４部、６．６部に変更した他は
全て実施例１と同様の操作によって重合を行い、平均粒
子径１５５μＩの淡黄色不透明な真球状粒子からなる研
磨材■を得た。

実施例３ 実施例１の液状ブタジェン・アクリロニトリルゴムに変
えて、イソシアネート基含有物質としてヘキサメチレン
ジイソシアネート水アダクト体（三井東圧化学■製　商
品名ＮＰ−１１００）を５部使用した他は、全て実施側
型と同様の操作で重合を行い、平均粒子径１４０　ｐ　
ｍの淡黄色不透明な真球状粒子からなる研磨材■を得た
。

実施例４ 実施例１と同じ市販の液状不飽和ポリエステル樹脂６８
部に、予め、スチレンモノマー７部に液状ブタジェン・
アクリロニトリルゴム（実施例１と同じのもの）５部を
溶解させた溶液を加えて、高剪断力下に攪拌し、ゴム質
重合体を十分に微粒化して分散させた。次いでこの混合
液に予め、４０μ請以下の粒子径を有するガラスピーズ
（東芝バロティー二−製　商品名　東芝ガラスピーズＧ
ｌ？３１Ｍ）をシランカップリング剤（東芝シリコーン
■製　商品名　ＴＳＣ８３１１）水溶液で表面処理した
のち乾燥してなる無機充填材２０部を加え、再度、高剪
断力下に混合した０次にこのガラスピーズ入り混合液に
重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル１．２部
を加え再び十分に混合した。以下、実施例１と同じ水性
媒体を用いて同じ操作で重合を行い、平均粒子径２００
μ肩の白色不透明な真球状粒子からなる研磨材■を得た
。

比較例１ 液状ブタジェン・アクリロニトリルゴムを使用せず、液
状不飽和ポリエステル樹脂とスチレンモノマーとの使用
量を夫々９２．６部、７．４部に変更した他は全て実施
例１と同様の操作で重合を行い、平均粒子径１３０μ蒙
淡黄色透明な真球状粒子からなる研磨材■を得た。

比較例２ 液状ブタジェン・アクリロニトリルゴムを使用せず、液
状不飽和ポリエステル樹脂とスチレンモノマーとの使用
量を夫々７１．６部、７．４部に変更した他は全て実施
例３と同様の操作で重合を行い、平均粒子径１９０μ鰯
白色不透明な真球状粒子からなる研磨材■を得た。

試験例１〜６ 実施例１〜３、及び比較例１〜３で得られた各研磨材を
用いて湿式ブラスト研磨試験を行い、各研磨材の性能評
価を行った。各研磨材は評価の比較を容易なせしめるた
め篩分により整粒し、１０５〜２５０μ鯖の粒径に揃え
たものを試験に供した。

湿式ブラスト試験は■不二精機製造所製の液体ホーニン
グ機（Ｌｌ−５型）を用いて行った。

試験方法は次の通りである。即ち、各研磨材は水でスラ
リー化し、スラリー４変は夫々３０重量％に調整した。

このスラリーを投射圧力４　ｋｇ／ｃ＋ｍ”−Ｇ、投射
距離５０＋ｕ＋にて、まず最初にアクリル樹脂板の重量
減少量を初期研磨量とした０次いでブリキ板を用い、上
記と同様の圧力、距離にて１時間プラストしたのち、再
度アクリル樹脂板を１分間プラストした。アクリル樹脂
板とブリキ板のブラストを交互に繰返し行い、アクリル
樹脂板の研＠量の経時変化を測定した。その結果を表−
１に示す。

更に、上記ブラスト研磨において５〜１０時間おきに研
磨材スラリーを一部採取し、目開き１０５μ糟のＪＩＳ
　ｉ！！を用いて湿式分級し、篩下の微粒子の割合を測
定してこれを微粉発生率とした。その結果を表−２に示
す。

別に、新しい研磨材１〜■を使用して未研磨のＩＣ封止
モールド成型品の湿式ブラスト研磨を行い、樹脂パリ除
去性能及びモールド材表面の汚れ、荒れについて観察し
た。研磨方法は次の方法によった。即ち、各研磨材のス
ラリー濃度は３０１１１％とし、投射圧力４　ｋｇ／ａ
ｍ”−Ｇ、投射距離５Ｃ１で、研磨時間はＩＣ封止モー
ルド成型品の１チツプ当たり２秒間であった。研磨結果
は１０段階で評価し、最も良いものを１０、実用上許容
できる程度のものを５、最も悪いものを１とした。その
結果を表−３に示す。

以上、試験例が示す如（、本発明の研磨材は従来の研磨
材に比べ、モールド成型品等に噴射された際の耐衝撃性
が著しく優れており、初期の研摩力を長期間にわたって
維持することが可能である。

また、微粉の発生率が極めて少ないことも本研磨材の優
れた点であり、このことは研１カを長時間持続し得ると
共にブラスト加工研磨時のモールド成型品の汚れ防止に
も効果がある。更に、本研磨材を使用してモールド成型
品を研磨すれば、モールド材表面の荒れも皆無に近いも
のを得ることが出来る。

本発明の研磨材の、上記の如き多くの利点は、既に詳細
に説明した通り、ゴム質重合体の存在下に懸濁重合して
得た真球状の不飽和ポリエステル粒子からなるのもので
あって、従来の合成樹脂研摩材に比べてその硬度と靭性
の良好なバランスに基づくものと推定されるが、いずれ
にしても本発明の研磨材は上記説明の通り、モールド成
型品のブラスト加工研磨材として極めて優れたものであ
る。

第１表 第２表 第 ３ 表 〔発明の効果］ 本発明は以上詳細に説明の通り、ゴム質重合体の存在下
に不飽和ポリエステル樹脂を水性媒体中で懸濁重合させ
て得た新規な合成樹脂研磨材であるので、従来の合成樹
脂研摩材に比べてその耐衝撃性能は格段に向上している
。また、本発明の研磨材は、樹脂に添加するゴム質重合
体の種類と添加量を適宜変更することによって、研磨材
粒子の硬度と靭性の微妙なバランスを広範囲で誦整する
ことができる。

このため、半導体の高集積化及びモールド材の高品質化
によって余儀なくされる研磨材粒子の小径化と、それに
伴う研磨力の低下に対しては、可能な範囲で研磨材の水
スラリーの噴射圧力を高めることによって対応すること
ができる。また、研磨材粒子に無機充填材を添加して高
研磨力化する場合においても、従来の合成樹脂研磨材の
ように早期に破壊されることはなく、研磨時の補給量を
大幅に削減することが可能である。更に、ＬＥＤのよう
な封止樹脂表面の損傷を極端に嫌う成型品に対しても、
ゴム弾力性の付与効果によって封止樹脂表面を傷めるこ
となく、効率良くパリを除去することができる。

また更に、湿式ブラスト加工研磨に比べてはるかに強い
衝撃を受ける乾式ブラスト加工研磨においても、モール
ド樹脂表面を損傷することなく、パリの除去が可能であ
り、加えて従来の合成樹脂研磨材粒子のような早期破壊
と破壊粒子のモールド成型品への付着といった問題に対
しては、それを大幅に改善することが可能である。

本発明は、以上述べた如くブラスト加工研磨材として多
くの利点を有しており、その経済的効果は大なるものが
ある。

更に付言するならば、本発明の研磨材はブラスト加工に
よるモールド成型品の研磨用のみに限定されるものでは
なく、金属の表面研磨やクリーニング等に使用しても優
れた研磨能力を発揮する。

また更に、本発明の研磨材はブラスト加工法に限定され
るものではなく、バレル法等の広範囲な研磨法において
も優れた研磨材である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）水性媒体中で懸濁重合させて得たゴム変性不飽和ポ
   リエステル樹脂からなることを特徴とする合成樹脂研磨
   材。