JPH0362905A - 超電導コイルの製造方法 - Google Patents
超電導コイルの製造方法Info
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- JPH0362905A JPH0362905A JP1198442A JP19844289A JPH0362905A JP H0362905 A JPH0362905 A JP H0362905A JP 1198442 A JP1198442 A JP 1198442A JP 19844289 A JP19844289 A JP 19844289A JP H0362905 A JPH0362905 A JP H0362905A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
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- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、酸化物超電導体を使用したtE電導コイルの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
(従来の技術)
1986年にBa−La−Cu−0系の層状ペロブスカ
イト型の酸化物が40に以上の高い臨界温度を有するこ
とが発表されて以来、酸化物系の超電導体が注目を集め
、新材料探索の研究が活発に行われている。
イト型の酸化物が40に以上の高い臨界温度を有するこ
とが発表されて以来、酸化物系の超電導体が注目を集め
、新材料探索の研究が活発に行われている。
その中でも、液体窒素温度以上の高い臨界温度を有する
Y−Ba−Cu−0系で代表される欠陥ペロブスカイト
型の酸化物超電導体や、I3 i −8r−Ca−Cu
−0系およびT l−Ra−Ca−Cu−0系の酸化物
超電導体は、冷媒として高価な液体ヘリウムに代えて、
安価な1ff1体窒素を利用できるため、工業的にも重
要な価値を有している。
Y−Ba−Cu−0系で代表される欠陥ペロブスカイト
型の酸化物超電導体や、I3 i −8r−Ca−Cu
−0系およびT l−Ra−Ca−Cu−0系の酸化物
超電導体は、冷媒として高価な液体ヘリウムに代えて、
安価な1ff1体窒素を利用できるため、工業的にも重
要な価値を有している。
このような酸化物超電導体のエネルギー分野への応用を
考えた場合、当然コイル化する必要が生じる。そこで、
各種方法を用いて酸化物超電導体を線材化し、それをコ
イル状に成形することによって超電導コイルを作製する
試みがなされている。
考えた場合、当然コイル化する必要が生じる。そこで、
各種方法を用いて酸化物超電導体を線材化し、それをコ
イル状に成形することによって超電導コイルを作製する
試みがなされている。
酸化物超電導体を用いた超電導線材の作製方法としては
、 (a) 金属管内に酸化物超電導体を封入し、これを
線引き加工することによって線材化する方法、 (b) 酸化物超電導体粉末と有機バインダとを混合
し、ノズルから押し出して線材化する方法、 (C) 金属テープ上に溶射法や各挿脱形成方法によ
って酸化物超電導体層を形成し、線材化する方法 などが知られている。
、 (a) 金属管内に酸化物超電導体を封入し、これを
線引き加工することによって線材化する方法、 (b) 酸化物超電導体粉末と有機バインダとを混合
し、ノズルから押し出して線材化する方法、 (C) 金属テープ上に溶射法や各挿脱形成方法によ
って酸化物超電導体層を形成し、線材化する方法 などが知られている。
そして、上記(a)や(b)の方法を適用した超電導線
材を用いて、実際に超電導コイルの試作が行われている
。
材を用いて、実際に超電導コイルの試作が行われている
。
たとえば、上記(a)方性を適用した超電導線材を用い
る場合には、巻き治具となる絶縁性円筒基材の周囲に、
たとえば螺旋状の満を形成してその湾内に超電導線材を
収容しつつ巻回することによって、金属管どうしが接触
しないよう隙間を開けながら巻回するか、もしくは絶縁
物を介在させながら巻回してコイル化し、この後酸素雰
囲気中で熱処理を行って超電導コイルを得ている。
る場合には、巻き治具となる絶縁性円筒基材の周囲に、
たとえば螺旋状の満を形成してその湾内に超電導線材を
収容しつつ巻回することによって、金属管どうしが接触
しないよう隙間を開けながら巻回するか、もしくは絶縁
物を介在させながら巻回してコイル化し、この後酸素雰
囲気中で熱処理を行って超電導コイルを得ている。
(発明が解決しようとする課題)
上述したように、超電導線材どうしが接触しないように
巻回する場合には、当然ながら超電導線材を密に巻回す
ることは不可能である。また、酸化物超電導体を用いた
超電導コイルは、上述したように巻回後に熱処理する必
要があるため、通常の有機絶縁物を絶縁材として用いる
ことはできない。
巻回する場合には、当然ながら超電導線材を密に巻回す
ることは不可能である。また、酸化物超電導体を用いた
超電導コイルは、上述したように巻回後に熱処理する必
要があるため、通常の有機絶縁物を絶縁材として用いる
ことはできない。
このように、超電導線材間を絶縁しつつ密に巻回する有
効な方法は得られていないのが現状であり、このため、
試作されている超電導コイルも発生磁場が数10ガウス
程度のものである。そこで、超電導線材間を絶縁しつつ
密に巻回することを可能にし、超電導コイルの発生磁場
の向上を図ることが強く望まれている。
効な方法は得られていないのが現状であり、このため、
試作されている超電導コイルも発生磁場が数10ガウス
程度のものである。そこで、超電導線材間を絶縁しつつ
密に巻回することを可能にし、超電導コイルの発生磁場
の向上を図ることが強く望まれている。
本発明は、このような課題に対処するためになされたも
ので、超電導線材間を有効に絶縁しつつ密に巻回するこ
とを可能にし、発生磁場の向上を図った超電導コイルの
製造方法を提供することを目的としている。
ので、超電導線材間を有効に絶縁しつつ密に巻回するこ
とを可能にし、発生磁場の向上を図った超電導コイルの
製造方法を提供することを目的としている。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
すなわち本発明の超電導コイルの製造方法は、外周面上
に易酸化性の金属層を有する銀または銀合金からなる金
属被覆管内に酸化物超電導体を充填して超電導線材を形
成する工程と、前記超電導線材を所望形状に巻回する工
程と、この巻回工程で得た巻回体に熱処理を施し、前記
易酸化性の金属層を酸化して絶縁性酸化物被膜を形成す
る工程とを有することを特徴としている。
に易酸化性の金属層を有する銀または銀合金からなる金
属被覆管内に酸化物超電導体を充填して超電導線材を形
成する工程と、前記超電導線材を所望形状に巻回する工
程と、この巻回工程で得た巻回体に熱処理を施し、前記
易酸化性の金属層を酸化して絶縁性酸化物被膜を形成す
る工程とを有することを特徴としている。
酸化物超電導体としては、多数のものが知られているが
、本発明においては希土類元素含有のペロブスカイト型
の酸化物超電導体や、B1−8r−Ca−Cu−0系酸
化物超電導体、T l−Ba−Ca−Cu−0系酸化物
超電導体などが適用される。
、本発明においては希土類元素含有のペロブスカイト型
の酸化物超電導体や、B1−8r−Ca−Cu−0系酸
化物超電導体、T l−Ba−Ca−Cu−0系酸化物
超電導体などが適用される。
希土類元素を含有しペロブスカイト型構造を有する酸化
物超電導体は、超電導状態を実現できるものであればよ
く、たとえばREMCuO系237−δ (REは、Y、I、aSScSNds 311% El
l、 Gds 07% 110%Er、 Tα、Yl)
SLuなどの希土類元素から選ばれた少なくとも 1種
の元素を、HはBa5Sr、Caから選ばれた少なくと
も IFfflの元素を、δは酸素欠陥を表し通常l以
下の数、Cuの一部はTI% V s Crs Mn1
Fe、 Co、 Nl、 Znなどで置換可能。)の酸
化物などが例示される。なお、希土類元素は広筏の定義
とし、5csYおよびLa系を含むものとする。
物超電導体は、超電導状態を実現できるものであればよ
く、たとえばREMCuO系237−δ (REは、Y、I、aSScSNds 311% El
l、 Gds 07% 110%Er、 Tα、Yl)
SLuなどの希土類元素から選ばれた少なくとも 1種
の元素を、HはBa5Sr、Caから選ばれた少なくと
も IFfflの元素を、δは酸素欠陥を表し通常l以
下の数、Cuの一部はTI% V s Crs Mn1
Fe、 Co、 Nl、 Znなどで置換可能。)の酸
化物などが例示される。なお、希土類元素は広筏の定義
とし、5csYおよびLa系を含むものとする。
また、旧−3r−Ca−Cu−0系の酸化物超電導体は
、化学式: B105r2Ca2Cu30x −
−(I ):B12(Sr、Ca)3Cu20x −
(II)(式中、B1の一部はpbなどで置換可能。)
などで表されるものであり、Tl−Ba−Ca−Cu−
0系酸化物超電導体は、 化学式: Tl2 Ba2 Ca2 Cu30x
・−(III):Tl2(Ba、Ca)3Cu20x
−−−(IV)などで表されるものである。
、化学式: B105r2Ca2Cu30x −
−(I ):B12(Sr、Ca)3Cu20x −
(II)(式中、B1の一部はpbなどで置換可能。)
などで表されるものであり、Tl−Ba−Ca−Cu−
0系酸化物超電導体は、 化学式: Tl2 Ba2 Ca2 Cu30x
・−(III):Tl2(Ba、Ca)3Cu20x
−−−(IV)などで表されるものである。
本発明に使用される超電導線材は、金属被覆管内に酸化
物超電導体を充填封入したものである。
物超電導体を充填封入したものである。
なお、充填する酸化物超電導体としては、仮焼を施すこ
とによって予め結晶晶化したものに限らず、酸化物超電
導体の出発原料の混合物を用いることも可能である。
とによって予め結晶晶化したものに限らず、酸化物超電
導体の出発原料の混合物を用いることも可能である。
上記超電導線材の金属被覆管としては、銀または銀合金
からなる管状基体の外周面上に、後述する熱処理によっ
て容易に絶縁性酸化物を形成し得る金属層を形成したも
のが用いられる。
からなる管状基体の外周面上に、後述する熱処理によっ
て容易に絶縁性酸化物を形成し得る金属層を形成したも
のが用いられる。
上記絶縁性酸化物を形成する金属としては、Mg。
Al5St、Ca、 TI、 Cr、Nis 5rXY
s Zr、 Nb580%In%Sn、 Ba5Ta
% W 、あるいはこれらの合金が挙げられる。、これ
ら金属の層を鎖管の外周面上に形成する方法としては、
メツキ法、蒸着法、液体被覆性などの薄膜形成法や、上
記金属の管材内に鎖管を押入し、線引きするなどによっ
て金属層を形成する機城加工法など、各種の方法を採用
することが可能である。
s Zr、 Nb580%In%Sn、 Ba5Ta
% W 、あるいはこれらの合金が挙げられる。、これ
ら金属の層を鎖管の外周面上に形成する方法としては、
メツキ法、蒸着法、液体被覆性などの薄膜形成法や、上
記金属の管材内に鎖管を押入し、線引きするなどによっ
て金属層を形成する機城加工法など、各種の方法を採用
することが可能である。
また、上記金属による被覆層の厚さは、余り薄いと絶縁
効果が充分に得られず、余り厚すぎると熱処理■!jに
酸化物超電導体への酸素供給が不十分となるため、数μ
m〜数1数100桿 2μm − tooμm程度)とすることが好ましい
。
効果が充分に得られず、余り厚すぎると熱処理■!jに
酸化物超電導体への酸素供給が不十分となるため、数μ
m〜数1数100桿 2μm − tooμm程度)とすることが好ましい
。
そしてこの金属層は、コイル形状への巻回後に実施され
る熱処理によって絶縁性酸化物被膜となり、超電導線材
間を絶縁するものである。
る熱処理によって絶縁性酸化物被膜となり、超電導線材
間を絶縁するものである。
本発明の超電導コイルは、たとえば以下のようにして作
製される。
製される。
まず、上記したような外周面上に易酸化性の金属層を形
成した超電導線材を適当な巻き治具に巻回して所望形状
の巻回体を作製する。次いで、この巻回体に熱処理、す
なわち酸素含有雰囲気中でのアニーリング行う。
成した超電導線材を適当な巻き治具に巻回して所望形状
の巻回体を作製する。次いで、この巻回体に熱処理、す
なわち酸素含有雰囲気中でのアニーリング行う。
この熱処理は、使用する酸化物超電導体によっても異な
るが、おおよそ400℃〜900℃捏度の温度条件下で
行い、また酸素加圧下で行うなど、各種条件下で実施す
ることが可能である。
るが、おおよそ400℃〜900℃捏度の温度条件下で
行い、また酸素加圧下で行うなど、各種条件下で実施す
ることが可能である。
そしてこの熱処理によって、酸化物超電導体内に酸素を
導入して超電導特性を向上させると共に、超電導線材の
外周面上に設けられた金属層を酸化して絶縁性酸化物被
膜を自己形成させることにより、超電導線材間を絶縁し
て所望の超電導コイルが得られる。
導入して超電導特性を向上させると共に、超電導線材の
外周面上に設けられた金属層を酸化して絶縁性酸化物被
膜を自己形成させることにより、超電導線材間を絶縁し
て所望の超電導コイルが得られる。
なお、上記超電導線材の外周面上に設けられた金属層は
、容易に酸化されて酸化物となると共に、絶縁効果が得
られる程度に薄くしているため、熱処理時に金属被覆管
内部の酸化物超電導体に酸素を供給することができる。
、容易に酸化されて酸化物となると共に、絶縁効果が得
られる程度に薄くしているため、熱処理時に金属被覆管
内部の酸化物超電導体に酸素を供給することができる。
(作 用)
本発明においては、超電導線材の外周面上に予め易酸化
性の金属層を形成し、この状態で巻回体を作製した後、
熱処理を施すことによって絶縁性酸化物被膜を自己形成
させ、超電導線材間の絶縁を行っている。したがって、
超電導線材を密に巻回した状態でも、起電導線材間を確
実に絶縁することが可能となる。また、巻四時には金属
状態であるため、巻回に伴う変形を妨げることがなく、
所望形状の巻回体の作製が可能である。さらに、絶縁性
酸化物被膜の形成を酸化物超電導体に対する熱処理と同
時に行うことができるため、従来の製造工程に比べ別途
絶縁化工程を行うことも必要としない。
性の金属層を形成し、この状態で巻回体を作製した後、
熱処理を施すことによって絶縁性酸化物被膜を自己形成
させ、超電導線材間の絶縁を行っている。したがって、
超電導線材を密に巻回した状態でも、起電導線材間を確
実に絶縁することが可能となる。また、巻四時には金属
状態であるため、巻回に伴う変形を妨げることがなく、
所望形状の巻回体の作製が可能である。さらに、絶縁性
酸化物被膜の形成を酸化物超電導体に対する熱処理と同
時に行うことができるため、従来の製造工程に比べ別途
絶縁化工程を行うことも必要としない。
(実施例)
次に、本発明の実施例について説明する。
実施例1
第1図は、本発明により得られる一実施例の超電導コイ
ルの構成を模式的に示す断面図である。
ルの構成を模式的に示す断面図である。
この超電導コイル1は、超電導線材2を絶縁性円筒状基
材からなる巻き治具3に巻回することによって構成され
ている。
材からなる巻き治具3に巻回することによって構成され
ている。
上記超電導線材2は、第2図(a)に示すように、銀製
の金属被覆管4内に酸化物超電導体5が充填され、さら
に全屈被覆管4の外周面上に絶縁性酸化物被JJ! 6
が形成されたものであり、この絶縁性酸化物被膜6は、
第2図(b)に示すように、予め銀製の金属披葭菅4の
表面に形成された易酸化性の金属層7を巻回後の熱処理
によって酸化し、これにより自己形成されたものである
。
の金属被覆管4内に酸化物超電導体5が充填され、さら
に全屈被覆管4の外周面上に絶縁性酸化物被JJ! 6
が形成されたものであり、この絶縁性酸化物被膜6は、
第2図(b)に示すように、予め銀製の金属披葭菅4の
表面に形成された易酸化性の金属層7を巻回後の熱処理
によって酸化し、これにより自己形成されたものである
。
そして、絶縁性酸化物被膜6によって巻回された超電導
線材2間が絶縁されている。
線材2間が絶縁されている。
上記構成の超電導コイルを以下に示す製造方法にしたが
って作製した。
って作製した。
まず、Y2 0 3 、BaCO3およびCuOの各粉
末を所定量秤量し、これを充分に混合した後、この混合
粉を空気中で700℃×48時間の条件で焼成し、この
焼成物をボールミルで粉砕、混合を繰返し行い、組成が
YBa Cu OのY系酸化物超電導237−δ 体粉末を作製した。
末を所定量秤量し、これを充分に混合した後、この混合
粉を空気中で700℃×48時間の条件で焼成し、この
焼成物をボールミルで粉砕、混合を繰返し行い、組成が
YBa Cu OのY系酸化物超電導237−δ 体粉末を作製した。
次に、このY系酸化物超電導体粉末を銀管内に充填し、
これに減面加工を施して外径1IIfflの線材を作製
した。次いで、この線材の外表面にメツキ法によって、
易酸化性の金属層として厚さ 3μmのN1層を形成し
た。
これに減面加工を施して外径1IIfflの線材を作製
した。次いで、この線材の外表面にメツキ法によって、
易酸化性の金属層として厚さ 3μmのN1層を形成し
た。
このようにして得られた線材をアルミナ製の円筒状巻き
治具に8重に巻回してコイル化した。
治具に8重に巻回してコイル化した。
この後、この巻回体を1気圧の酸素雰囲気中で800℃
〜900℃の温度で8時間保持し熱処理を行って、目的
の超電導コイルを得た。
〜900℃の温度で8時間保持し熱処理を行って、目的
の超電導コイルを得た。
熱処理後の超電導線材表面の状態を調べたところ、Ni
メツキ層は酸化され、NiOが形成されていることを確
認した。また、超電導線材間の絶縁性をテスタにより測
定したところIMΩ以上であり、超電導線材間が良好に
絶縁されていることを確認した。ちなみに、得られた超
電導コイルの臨界温度および臨界電流密度を測定したと
ころ、86に14500A/c7と良好な結果が得られ
た。このことから、絶縁性酸化物被膜がH在しても、酸
化物超電導体の熱処理に悪影響を及ぼさないことを確認
した。
メツキ層は酸化され、NiOが形成されていることを確
認した。また、超電導線材間の絶縁性をテスタにより測
定したところIMΩ以上であり、超電導線材間が良好に
絶縁されていることを確認した。ちなみに、得られた超
電導コイルの臨界温度および臨界電流密度を測定したと
ころ、86に14500A/c7と良好な結果が得られ
た。このことから、絶縁性酸化物被膜がH在しても、酸
化物超電導体の熱処理に悪影響を及ぼさないことを確認
した。
実施例2
実施例1で作製したYBa Cu O組成のY23
7−δ 系酸化物超電導体粉末をまず銀管内に充填し、さらにこ
の鎖管をアルミニウム管内に抑大した後、線引き加工を
行って外径11の線材を得た。この時、鎖管表面のアル
ミニウム層の厚さは10μmであった。
7−δ 系酸化物超電導体粉末をまず銀管内に充填し、さらにこ
の鎖管をアルミニウム管内に抑大した後、線引き加工を
行って外径11の線材を得た。この時、鎖管表面のアル
ミニウム層の厚さは10μmであった。
次いで、この超電導線材を実施例1と同一条件でアルミ
ナ製巻き治具に巻回し、コイル化した。
ナ製巻き治具に巻回し、コイル化した。
この後、この巻回体をまず10気圧の酸素雰囲気中にお
いて400℃〜500℃の温度で8時間保持した後、続
いて800℃〜900℃の温度で8時間保持して熱処理
を行った。なお、熱処理温度を2段階に分けたのは、ア
ルミニウムは高温での熱処理によって銀に固溶し、融点
が低下することにより酸化物波膜の形成が困難となるた
めである。このような金属を用いる際には、予め酸化可
能な温度でアルミニウムをアルミナに変化させた後、酸
化物ffl電導体の特性向上のための熱処理を行うこと
によって、超電導線材間の絶縁を確実に行うことが可能
となる。
いて400℃〜500℃の温度で8時間保持した後、続
いて800℃〜900℃の温度で8時間保持して熱処理
を行った。なお、熱処理温度を2段階に分けたのは、ア
ルミニウムは高温での熱処理によって銀に固溶し、融点
が低下することにより酸化物波膜の形成が困難となるた
めである。このような金属を用いる際には、予め酸化可
能な温度でアルミニウムをアルミナに変化させた後、酸
化物ffl電導体の特性向上のための熱処理を行うこと
によって、超電導線材間の絶縁を確実に行うことが可能
となる。
熱処理後の超電導線材表面の状態を調べたところ、アル
ミニウム層は酸化され、アルミナが形成されていること
を確認した。また、超電導線材間の絶縁性をテスタによ
り測定したところIMΩ以上あり、超電導線材間が良好
に絶縁されていることを確認した。
ミニウム層は酸化され、アルミナが形成されていること
を確認した。また、超電導線材間の絶縁性をテスタによ
り測定したところIMΩ以上あり、超電導線材間が良好
に絶縁されていることを確認した。
比較例1
上記実施例1と超電導線材の表面にNlメツキ層を形成
しない以外は、同一条件で超電導コイルを作製した。そ
して、熱処理後に同様に超電導線材間の絶縁性をテスタ
により測定したところ、10wΩ以下であり、また外観
上からも銀どうしが融着して導通していることが確認で
きた。
しない以外は、同一条件で超電導コイルを作製した。そ
して、熱処理後に同様に超電導線材間の絶縁性をテスタ
により測定したところ、10wΩ以下であり、また外観
上からも銀どうしが融着して導通していることが確認で
きた。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、超電導線材を密に
巻回した上で、各超電導線材間を確実に絶縁することが
可能となる。しかも、酸化物超電導体の超電導特性を向
上させるための熱処理O,′jに、同性に絶縁性被覆を
形成できることから、製造効率も高く、工業的に有効な
方性である。
巻回した上で、各超電導線材間を確実に絶縁することが
可能となる。しかも、酸化物超電導体の超電導特性を向
上させるための熱処理O,′jに、同性に絶縁性被覆を
形成できることから、製造効率も高く、工業的に有効な
方性である。
第1図は本発明の一実施例の超電導コイルの17+′。
成を模式的に示す断面図、第2図(a)はその超電導線
材の拡大断面を示す図、第2図(b)は熱処理前の超電
導線材の拡大断面を示す図である。 1・・・・・・超電導コイル、2・・・・・・超電導線
材、3・・・・・・巻き治具、4・・・・・・銀製の金
属彼葭管、5・・・・・・酸化物超電導体、6・・・・
・・絶縁性酸化物被膜、7・・・・・・易酸化性の金属
間。
材の拡大断面を示す図、第2図(b)は熱処理前の超電
導線材の拡大断面を示す図である。 1・・・・・・超電導コイル、2・・・・・・超電導線
材、3・・・・・・巻き治具、4・・・・・・銀製の金
属彼葭管、5・・・・・・酸化物超電導体、6・・・・
・・絶縁性酸化物被膜、7・・・・・・易酸化性の金属
間。
Claims (1)
- (1)外周面上に易酸化性の金属層を有する銀または銀
合金からなる金属被覆管内に酸化物超電導体を充填して
超電導線材を形成する工程と、前記超電導線材を所望形
状に巻回する工程と、この巻回工程で得た巻回体に熱処
理を施し、前記易酸化性の金属層を酸化して絶縁性酸化
物被膜を形成する工程と を有することを特徴とする超電導コイルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198442A JP3015389B2 (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 超電導コイルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198442A JP3015389B2 (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 超電導コイルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0362905A true JPH0362905A (ja) | 1991-03-19 |
| JP3015389B2 JP3015389B2 (ja) | 2000-03-06 |
Family
ID=16391157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1989
- 1989-07-31 JP JP1198442A patent/JP3015389B2/ja not_active Expired - Fee Related
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