JPH0362941A - 集積回路素子実装用基材 - Google Patents
集積回路素子実装用基材Info
- Publication number
- JPH0362941A JPH0362941A JP1198685A JP19868589A JPH0362941A JP H0362941 A JPH0362941 A JP H0362941A JP 1198685 A JP1198685 A JP 1198685A JP 19868589 A JP19868589 A JP 19868589A JP H0362941 A JPH0362941 A JP H0362941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- lead
- conductive
- test
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/701—Tape-automated bond [TAB] connectors
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路素子の実装技術に用いられる実装用基
材に関し、特に、内部に自己診断用の試験回路が設けら
れたICチップを、TAB (TapeAutos+a
ted Bonding)方式により、例えばプリント
基板等の取付は基板に実装するために用いるフィルムキ
ャリアに適用して好適なものである。
材に関し、特に、内部に自己診断用の試験回路が設けら
れたICチップを、TAB (TapeAutos+a
ted Bonding)方式により、例えばプリント
基板等の取付は基板に実装するために用いるフィルムキ
ャリアに適用して好適なものである。
IC実装技術の1つとして、上記のTAB方式%式%
このTAB方式においては、従来、例えば第3図に示す
ようなフィルムキャリア1が用いられている(例えば、
日本半導体年ff11988年度版P403〜P404
、プレスジャーナル社発行参照)。このフィルムキャリ
アlは、ポリイミド樹脂等の絶縁材料からなる長尺フィ
ルムの基体10と、この基体10の上面に所定パターン
に形成された多数の導電性リード11とを備えている。
ようなフィルムキャリア1が用いられている(例えば、
日本半導体年ff11988年度版P403〜P404
、プレスジャーナル社発行参照)。このフィルムキャリ
アlは、ポリイミド樹脂等の絶縁材料からなる長尺フィ
ルムの基体10と、この基体10の上面に所定パターン
に形成された多数の導電性リード11とを備えている。
基体IOには、加工基準となるスプロケット孔101、
図示しないICチップ(半導体集積回路素子)を取り付
けるためのデバイス孔102及び導電性リード11のア
ウターリード部11bを規定するアウターリ−ド孔10
3が形成されている。そして、デバイス孔102とアウ
ターリード孔103との間にサポートリング104が形
成され、このサポートリング104の内側の部分の導電
性リードIIがフィンガー状のインナーリード部11a
となっている。
図示しないICチップ(半導体集積回路素子)を取り付
けるためのデバイス孔102及び導電性リード11のア
ウターリード部11bを規定するアウターリ−ド孔10
3が形成されている。そして、デバイス孔102とアウ
ターリード孔103との間にサポートリング104が形
成され、このサポートリング104の内側の部分の導電
性リードIIがフィンガー状のインナーリード部11a
となっている。
ICチップは、その上面に設けられた多数の突起電極(
バンプ)がこのインナーリード部11aに各々ボンディ
ングされて両者間が電気的に接続されるとともに、フィ
ルムキャリア1に保持される。
バンプ)がこのインナーリード部11aに各々ボンディ
ングされて両者間が電気的に接続されるとともに、フィ
ルムキャリア1に保持される。
上述した従来のTAB方式において、デバイス孔102
に取り付けられたICチップの各種電気テストは、フィ
ルムキャリア1に設けられた導電性リード11のテスト
用パッド部11c(第3図参照)を通じて行われている
。
に取り付けられたICチップの各種電気テストは、フィ
ルムキャリア1に設けられた導電性リード11のテスト
用パッド部11c(第3図参照)を通じて行われている
。
即ち、フィルムキャリア1に取り付けられたICチップ
は、周知の如くその内部状態が電気的にテストされなけ
ればならないが、その場合従来は、各導電性リード11
のテスト用パッド部11cに、順次、試験機のテストピ
ンを当ててテスト用の信号パターンを人出力させ、IC
チップの内部状態を診断していた。
は、周知の如くその内部状態が電気的にテストされなけ
ればならないが、その場合従来は、各導電性リード11
のテスト用パッド部11cに、順次、試験機のテストピ
ンを当ててテスト用の信号パターンを人出力させ、IC
チップの内部状態を診断していた。
しかしながら、ICチップの端子数が、例えば150個
以上と多くなると、特にリードパターン形成のスペース
上の問題から、テスト用パッド部の大きさや形成位置が
著しく制限されてしまう。このため、微細なテスト用パ
ッド部に正確にテストビンを当てることが困難になると
ともに、テスト用パッド部の数も増えるので、そのテス
ト操作が非常に面倒になり、テストミスを生じ易くなっ
ていた。
以上と多くなると、特にリードパターン形成のスペース
上の問題から、テスト用パッド部の大きさや形成位置が
著しく制限されてしまう。このため、微細なテスト用パ
ッド部に正確にテストビンを当てることが困難になると
ともに、テスト用パッド部の数も増えるので、そのテス
ト操作が非常に面倒になり、テストミスを生じ易くなっ
ていた。
一方、最近、ICチップ自体に自己診断用のテスト構造
即ち試験回路を組み込んで、上述したような電気テスト
を簡便にしたものが開発されている。このICチップは
、その内部に、制御用論理回路にループ状に接続された
ラッチ群を有しており、各ラッチに、チップ内の診断の
対象となる回路が接続されている。そして、これらのラ
ッチ群の状態検出を行うことにより、ICチップの全て
の内部状態が診断できるようになっている。なお、この
内部状態の診断に際してテスト用の信号パターンは、制
御用論理回路に接続された特定の端子のみから入出力さ
れる。
即ち試験回路を組み込んで、上述したような電気テスト
を簡便にしたものが開発されている。このICチップは
、その内部に、制御用論理回路にループ状に接続された
ラッチ群を有しており、各ラッチに、チップ内の診断の
対象となる回路が接続されている。そして、これらのラ
ッチ群の状態検出を行うことにより、ICチップの全て
の内部状態が診断できるようになっている。なお、この
内部状態の診断に際してテスト用の信号パターンは、制
御用論理回路に接続された特定の端子のみから入出力さ
れる。
本発明は、上述したような自己診断用の試験回路が設け
られたICチップをTAB方式により基板に実装する場
合に用いて好適な実装用基材を提供することをその目的
とするものである。
られたICチップをTAB方式により基板に実装する場
合に用いて好適な実装用基材を提供することをその目的
とするものである。
第1図に例示するように、上記の目的を達成するための
本発明の集積回路素子実装用基材7は、多数の接続端子
を有し且つ内部に自己診断用の試験回路が設けられた集
積回路素子を実装するための絶縁性の基体70と、 この基体70上に上記集積回路素子の接続端子と接続す
るために所定の形状に形成され、且つ、上記集積回路素
子の上記接続端子と接続されない側に第1の大きさの端
子部71dを有する第1の導線71と、 この第1の導線71の上記第1の大きさの端子部71d
よりも大きな第2の大きさの端子部71Cを一端側に有
し、且つ、他端側において上記集積回路素子の上記試験
回路に接続された接続端子と接続されるべく上記基体7
0上に所定の形状に形成された第2の導線71′とを備
えている。
本発明の集積回路素子実装用基材7は、多数の接続端子
を有し且つ内部に自己診断用の試験回路が設けられた集
積回路素子を実装するための絶縁性の基体70と、 この基体70上に上記集積回路素子の接続端子と接続す
るために所定の形状に形成され、且つ、上記集積回路素
子の上記接続端子と接続されない側に第1の大きさの端
子部71dを有する第1の導線71と、 この第1の導線71の上記第1の大きさの端子部71d
よりも大きな第2の大きさの端子部71Cを一端側に有
し、且つ、他端側において上記集積回路素子の上記試験
回路に接続された接続端子と接続されるべく上記基体7
0上に所定の形状に形成された第2の導線71′とを備
えている。
絶縁性の基体70は、ポリイミド樹脂、ガラスエポキシ
樹脂、BTレジン、ポリエステル樹脂等から例えばフィ
ルム状に構成することができる。
樹脂、BTレジン、ポリエステル樹脂等から例えばフィ
ルム状に構成することができる。
第1の導線71及び第2の導線71’は、例えば、基体
70である絶縁材フィルム上に形成された導電性り−・
ドであり、その絶縁材フィルム上に接着した銅箔を所定
パターンにフォトエツチングすることにより形成するこ
とができる。また、無電解めっき等のめっき法や電着法
により形成してもよい。導電性リード71の材料も銅銀
外であってよく、例えばコバールを用いてもよい。
70である絶縁材フィルム上に形成された導電性り−・
ドであり、その絶縁材フィルム上に接着した銅箔を所定
パターンにフォトエツチングすることにより形成するこ
とができる。また、無電解めっき等のめっき法や電着法
により形成してもよい。導電性リード71の材料も銅銀
外であってよく、例えばコバールを用いてもよい。
本発明の実装用基材7には、従来と同様の手順によって
集積回路素子をインナーリードボンディソゲすることが
できる。そして、実装用基材7に支持された集積回路素
子は、従来と同様にして、例えばトランスファーモール
ド法又はポツティング法により樹脂封止されてよい。
集積回路素子をインナーリードボンディソゲすることが
できる。そして、実装用基材7に支持された集積回路素
子は、従来と同様にして、例えばトランスファーモール
ド法又はポツティング法により樹脂封止されてよい。
集積回路素子の内部状態の診断は、上述した何れの段階
においても、実装用基材7の第2の導線71’に設けら
れた第2の大きさの端子部71cを通じて行うことがで
きる。
においても、実装用基材7の第2の導線71’に設けら
れた第2の大きさの端子部71cを通じて行うことがで
きる。
また、第1の大きさの端子部71d及び第2の大きさの
端子部71cを用いて第1の導線71及び第2の導線7
1′と集積回路素子との間の接続状態を検査する電気テ
ストを行うこともできる。
端子部71cを用いて第1の導線71及び第2の導線7
1′と集積回路素子との間の接続状態を検査する電気テ
ストを行うこともできる。
そして、内部状態の診断が行われた集積回路素子は、例
えば、各導線71.71′のアウターリード部71bの
先端部分で実装用基材7から切り離された後、プリント
基板等の取付は基板に実装される。
えば、各導線71.71′のアウターリード部71bの
先端部分で実装用基材7から切り離された後、プリント
基板等の取付は基板に実装される。
以下、第1図及び第2図を参照して、本発明の詳細な説
明する。
明する。
第1図は本発明の一実施例によるICチップ実装用フィ
ルムキャリアの要部平面図である。同図において、集積
回路素子実装用基材であるフィルムキャリア7は、ポリ
イミド樹脂からなる絶縁材フィルム70と、この絶縁材
フィルム70上に接着した銅箔を、従来周知の如くにフ
ォトエツチングして所定パターンに形成した多数の導電
性リード71.71′とを有している。
ルムキャリアの要部平面図である。同図において、集積
回路素子実装用基材であるフィルムキャリア7は、ポリ
イミド樹脂からなる絶縁材フィルム70と、この絶縁材
フィルム70上に接着した銅箔を、従来周知の如くにフ
ォトエツチングして所定パターンに形成した多数の導電
性リード71.71′とを有している。
絶縁材フィルム70には、従来と同様のスプロケット孔
701、デバイス孔702及びアウターリード孔703
がパンチング等により形成されている。そして、デバイ
ス孔702とアウターリード孔703との間にサポート
リング704が形成されている。
701、デバイス孔702及びアウターリード孔703
がパンチング等により形成されている。そして、デバイ
ス孔702とアウターリード孔703との間にサポート
リング704が形成されている。
各導電性リード71.71’は、このサポートリング7
04の内側に設けられ、後述するICチップ8の上面に
形成された多数の突起電極(バンプ)に各々ボンディン
グされるインナーリード部71aと、サポートリング7
04の外側で且つアウターリード孔703により規定さ
れるアウターリード部71bとに分別される。
04の内側に設けられ、後述するICチップ8の上面に
形成された多数の突起電極(バンプ)に各々ボンディン
グされるインナーリード部71aと、サポートリング7
04の外側で且つアウターリード孔703により規定さ
れるアウターリード部71bとに分別される。
本実施例においては、図示の如く、絶縁材フィルム70
上に形成される多数の導電性リード71.71′のうち
の7本の導電性リード71’が下方に比較的長く延長さ
れ、それらの先端に導電性リード71′の線幅よりも太
く、大面積のテスト用パッド部(第2の大きさの端子部
)71cが一体的ば設けられている。そして、これらの
7本の導電性リード71′以外の導電性リード71は、
それらと同じ線幅の先端部(第1の大きさの端子部)7
1dがアウターリード孔703の外周部に掛かった状態
で終焉されている。
上に形成される多数の導電性リード71.71′のうち
の7本の導電性リード71’が下方に比較的長く延長さ
れ、それらの先端に導電性リード71′の線幅よりも太
く、大面積のテスト用パッド部(第2の大きさの端子部
)71cが一体的ば設けられている。そして、これらの
7本の導電性リード71′以外の導電性リード71は、
それらと同じ線幅の先端部(第1の大きさの端子部)7
1dがアウターリード孔703の外周部に掛かった状態
で終焉されている。
導電性リード71′に設けられたテスト用パッド部71
cは、フィルムキャリア7の一方の縁に沿ってほぼ等間
隔に配置されている。
cは、フィルムキャリア7の一方の縁に沿ってほぼ等間
隔に配置されている。
第2図は、このフィルムキャリア7に取り付けられたL
SIチップからなるICチップ8(集積回路素子)を示
すもので、ICチップ8の内部には制御用論理回路81
が設けられている。この制御用論理回路81は、テスト
用パッド部71cが設けられた7本の導電性リード71
’のインナーリード部71aに、図示しない突起電極(
バンプ)を介して接続されるとともに、チップ内におい
ては、内部論理回路のチエツクポイントとなる全てのラ
ッチ回路82にループ状に接続されている。
SIチップからなるICチップ8(集積回路素子)を示
すもので、ICチップ8の内部には制御用論理回路81
が設けられている。この制御用論理回路81は、テスト
用パッド部71cが設けられた7本の導電性リード71
’のインナーリード部71aに、図示しない突起電極(
バンプ)を介して接続されるとともに、チップ内におい
ては、内部論理回路のチエツクポイントとなる全てのラ
ッチ回路82にループ状に接続されている。
テストを行う場合は、テスト用パッド部71cに自動テ
ストパターン発生器を含むテスト装置を接続し、所定の
テストパターン信号を制御用論理回路81に送り込む。
ストパターン発生器を含むテスト装置を接続し、所定の
テストパターン信号を制御用論理回路81に送り込む。
制御用論理回路81は、テストパターンに応じて、ルー
プ状に接続されたラッチ回路82を順次にスキャンする
。これにより、内部論理回路の状態に応じたデータを各
ラッチ回路82から得ることができ、このデータを外部
に取り出して分析することにより、ICチップ8の内部
状態の診断を行うことができる。
プ状に接続されたラッチ回路82を順次にスキャンする
。これにより、内部論理回路の状態に応じたデータを各
ラッチ回路82から得ることができ、このデータを外部
に取り出して分析することにより、ICチップ8の内部
状態の診断を行うことができる。
本実施例においては、ICチップ8の内部に設けられた
制御用論理回路81に接続された突起電極(バンプ)に
接続される7本の導電性リード71′にのみテスト用パ
ッド部71cを設けているので、これらのテスト用パッ
ド部71cの配置スペースを比較的自由に選定すること
ができ、また、各テスト用パッド部71cの大きさもか
なり大きく設定することができる。
制御用論理回路81に接続された突起電極(バンプ)に
接続される7本の導電性リード71′にのみテスト用パ
ッド部71cを設けているので、これらのテスト用パッ
ド部71cの配置スペースを比較的自由に選定すること
ができ、また、各テスト用パッド部71cの大きさもか
なり大きく設定することができる。
例えば、図示の例では、7個のテスト用パッド部71
cをフィルムキャリア7の一方の縁に沿ってほぼ等間隔
に1列に配置している。このように構成すると、必要な
テスト用パッド部71 cをクリップ状の接続端子で挟
み込む等により、テスト装置との接続を簡単に行うこと
ができる。
cをフィルムキャリア7の一方の縁に沿ってほぼ等間隔
に1列に配置している。このように構成すると、必要な
テスト用パッド部71 cをクリップ状の接続端子で挟
み込む等により、テスト装置との接続を簡単に行うこと
ができる。
なお、上記実施例においては、ICチップ8の一隅に設
けられた制御用論理回路81に接続される7本の導電性
リード71’にのみテスト用パッド部71cを設けたが
、この特定の導電性リードの引き出し位置及び本数は上
記実施例のものに限られることはなく、実装されるIC
チップの内部試験回路に応じて適宜変更が可能である。
けられた制御用論理回路81に接続される7本の導電性
リード71’にのみテスト用パッド部71cを設けたが
、この特定の導電性リードの引き出し位置及び本数は上
記実施例のものに限られることはなく、実装されるIC
チップの内部試験回路に応じて適宜変更が可能である。
また、実装するICチップの内部試験回路も、上記実施
例で示したもの以外のものであってもよい。
例で示したもの以外のものであってもよい。
また、フィルムキャリア7は、サポートリング704が
設けられていないものであってもよい。
設けられていないものであってもよい。
以上説明したように、本発明によれば、絶縁性の基体上
に形成される導線のうち、実装する集積回路素子の内部
に設けられた自己診断用の試験回路に接続される特定の
導線に対し他の導線の端子部よりも大きな面積の端子部
を設けるようにしている。
に形成される導線のうち、実装する集積回路素子の内部
に設けられた自己診断用の試験回路に接続される特定の
導線に対し他の導線の端子部よりも大きな面積の端子部
を設けるようにしている。
従って、全ての導線に大きな端子部を設けるようにした
場合に比べてテスト用端子部の形成位置の自由度が大き
くなり、且つ、各テスト用端子部の面積もかなり大きく
することができる。
場合に比べてテスト用端子部の形成位置の自由度が大き
くなり、且つ、各テスト用端子部の面積もかなり大きく
することができる。
この結果、集積回路素子の内部状態の診断テストを、よ
り簡単且つ正確に実行することが可能となる。
り簡単且つ正確に実行することが可能となる。
第1図は本発明の一実施例によるrcチップ実装用フィ
ルムキャリアの要部平面図、第2図は上記実施例のフィ
ルムキャリアにより実装されるICチップの内部テスト
構造を示す模式図、第3図は従来のICチップ実装用フ
ィルムキャリアの平面図である。 なお、図面に用いた符号において、 ■、7 ・・・・・・・・・・・・ フィルムキャリア
(基材)8 ・・・・・・・・・・・・ ICチップ
10.70 ・・・・・・・・・ 絶縁材フィルム(基
体)11.71.71′ ■ lc。 1 2 である。 Ic、7 ■ 導電性リード(導線) 端子部 制御用論理回路 ラッチ回路
ルムキャリアの要部平面図、第2図は上記実施例のフィ
ルムキャリアにより実装されるICチップの内部テスト
構造を示す模式図、第3図は従来のICチップ実装用フ
ィルムキャリアの平面図である。 なお、図面に用いた符号において、 ■、7 ・・・・・・・・・・・・ フィルムキャリア
(基材)8 ・・・・・・・・・・・・ ICチップ
10.70 ・・・・・・・・・ 絶縁材フィルム(基
体)11.71.71′ ■ lc。 1 2 である。 Ic、7 ■ 導電性リード(導線) 端子部 制御用論理回路 ラッチ回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 多数の接続端子を有し且つ内部に自己診断用の試験回路
が設けられた集積回路素子を実装するための絶縁性の基
体と、 この基体上に上記集積回路素子の接続端子と接続するた
めに所定の形状に形成され、且つ、上記集積回路素子の
上記接続端子と接続されない側に第1の大きさの端子部
を有する第1の導線と、この第1の導線の上記第1の大
きさの端子部よりも大きな第2の大きさの端子部を一端
側に有し、且つ、他端側において上記集積回路素子の上
記試験回路に接続された接続端子と接続されるべく上記
基体上に所定の形状に形成された第2の導線とを備えた
集積回路素子実装用基材。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198685A JPH0362941A (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 集積回路素子実装用基材 |
| US07/553,082 US5150047A (en) | 1989-07-21 | 1990-07-17 | Member for use in assembly of integrated circuit elements and a method of testing assembled integrated circuit elements |
| EP90307973A EP0414378B1 (en) | 1989-07-21 | 1990-07-20 | An adapter for integrated circuit elements and a method using the adapter for testing assembled elements |
| DE69019436T DE69019436T2 (de) | 1989-07-21 | 1990-07-20 | Adapter für integrierte Schaltkreiselemente und Verfahren unter Verwendung des Adapters zur Prüfung von zusammengebauten Elementen. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198685A JPH0362941A (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 集積回路素子実装用基材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0362941A true JPH0362941A (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=16395346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1198685A Pending JPH0362941A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-31 | 集積回路素子実装用基材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0362941A (ja) |
-
1989
- 1989-07-31 JP JP1198685A patent/JPH0362941A/ja active Pending
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